激光装置和电子器件的制造方法制造方法及图纸

激光装置具有：第1种子激光器，其输出具有第1振荡波长的连续振荡的第1种子激光；第2种子激光器，其输出具有第2振荡波长的连续振荡的第2种子激光；光开关，其依次选择第1种子激光和第2种子激光中的一个，作为选择激光进行输出；第1脉冲化部，其使选择激光脉冲化而输出第1脉冲激光；波长转换部，其使用第1脉冲激光而将输出激光输出，波长转换部通过使用了第1振荡波长的波长转换而输出具有第1转换波长的输出激光，通过使用了第2振荡波长的波长转换而输出具有第2转换波长的输出激光；以及处理器，其对光开关依次选择第1种子激光和第2种子激光中的一个的时机进行控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及激光装置和电子器件的制造方法。

技术介绍

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowing module：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化激光装置。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：美国专利申请公开第2013/02本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光装置，其具有：

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

7.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

9.根据权利要求8所述的激光装置，其中，

10.根据权利要求9所述的激光装置，其中，

11.根据权利要求10所述的激光装置，其中，</p>

12.根...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种激光装置，其具有：

2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

7.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，

9.根据权利要求8所述的激光装置，其中，

10.根据权利要求9所述的激光装置，其中，

11.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：薮隆之，三浦泰祐，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：