下载激光装置和电子器件的制造方法的技术资料

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激光装置具有:第1种子激光器,其输出具有第1振荡波长的连续振荡的第1种子激光;第2种子激光器,其输出具有第2振荡波长的连续振荡的第2种子激光;光开关,其依次选择第1种子激光和第2种子激光中的一个,作为选择激光进行输出;第1脉冲化部,其使选择...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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