The utility model discloses a diffusion pump heating and temperature control device on a vacuum heat treatment device, including a heating and temperature control device corresponding to a diffusion pump, which comprises a power regulator, a temperature sensor, a heating element and a temperature control instrument; the heating element and a temperature sensor are installed on the diffusion pump. The purpose of the utility model is to provide a diffusion pump heating and temperature controlling device on a vacuum heat treatment equipment, which has a reasonable design, adds a temperature sensor, a power regulator and a temperature controlling instrument, and can adjust the heating power of the heating element according to the actual situation, saves electric energy, reduces costs, and at the same time avoids overheating temperature. High, resulting in excessive diffusion pump oil temperature into the vacuum pipeline, practical, suitable for promotion.
【技术实现步骤摘要】
一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置
本技术属于真空热处理炉领域，更具体地说，涉及一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置。
技术介绍
真空热处理炉设备上设置有真空机组，其中油扩散泵用于抽高真空，而扩散泵需要泵油达到一定温度方能工作。常规操作仅对扩散泵油加热而不进行温度控制，一直满功率负荷加热，消耗大量电能，且加热丝使用寿命短，设备能耗高，成本高。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，设计合理，增加了温度传感器、功率调节器、控温仪表，能够根据实际情况调整加热元件的加热功率，节省电能，降低成本，同时又避免加热温度过高，导致扩散泵油温过高挥发到真空管道中，实用性强，适于推广。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，与扩散泵相对应，其特征在于：包括与扩散泵相对应的加热控温装置，加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表；所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。作为一种优化的技术方案，所述加热元件安装在扩散泵下部，设置有加热炉丝与耐火保温材料，通过电源...
【技术保护点】
1.一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，与扩散泵相对应，其特征在于：包括与扩散泵相对应的加热控温装置，加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表；所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。
【技术特征摘要】
1.一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，与扩散泵相对应，其特征在于：包括与扩散泵相对应的加热控温装置，加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表；所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。2.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置，其特征在于：所述加热元件安装在扩散泵下部，设置有加热炉丝与耐火保温材料，通过电源线与功率调节器连接。3.根据权利要求2所述的一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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