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本实用新型公开了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,包括与包括与扩散泵相对应的加热控温装置,加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表;所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。本实用新型的目的在于提供了一种真空热处理设...该专利属于青岛精诚华旗微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛精诚华旗微电子设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置,包括与包括与扩散泵相对应的加热控温装置,加热控温装置包括功率调节器、温度传感器、加热元件、控温仪表;所述加热元件与温度传感器安装在扩散泵上。本实用新型的目的在于提供了一种真空热处理设...