一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉制造技术

本发明专利技术的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成。本发明专利技术的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉通过在硅棒外侧套圆台形冷却夹套，使得夹套下端气体流速慢且硅棒与冷却夹套之间的空间大，有利于保温和提高反应气体的停留时间，加快下端生长速率，使得夹套上端气体流速快且硅棒与冷却夹套之间的空间小，有利于散热和减小反应气体的停留时间，减小下端生长速率，进而保证了硅棒上下端生长的均匀性；采用特殊设计的气体进出管有利于原料气体SiH4的均匀分布，降低SiH4局部浓度过高的风险，减少夹套外的均相分解，减少无定型硅的生成。

A silane thermal decomposition furnace with a round table cooling jacket

The methylsilane thermal decomposition furnace of the invention is composed of a bell cover, a bottom plate, a gas inlet and outlet pipe, a graphite electrode, a circular cooling jacket and a silicon rod. A round-table cooling jacket of the methylsilane thermal decomposition furnace of the invention makes the gas flow at the lower end of the jacket slow and the space between the silicon rod and the cooling jacket large by sleeving a round-table cooling jacket on the outer side of the silicon rod, which is advantageous to heat preservation and improving the residence time of the reaction gas, speeding up the growth rate of the lower end, and making the gas flow at the upper end of the jacket Fast speed and small space between the silicon rod and the cooling jacket can help to dissipate heat and reduce the residence time of the reaction gas, reduce the growth rate of the lower end, thus ensuring the uniformity of the growth of the silicon rod upper and lower ends. It can reduce the homogeneous decomposition outside the jacket and reduce the formation of amorphous silicon.

【技术实现步骤摘要】
一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉
本专利技术涉及甲硅烷热分解制多晶硅生产领域，尤其涉及一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉。
技术介绍
多晶硅（polycrystallinesilicon）是单质硅中的一种特殊形态，在过冷的条件下，熔融状态的单质硅发生凝固现象，凝固后的硅原子以金刚石晶格的形态排列成许多晶核，而且这些晶核生长成的晶粒晶面取向不同，当这些晶面取向不同的晶粒结合在一起时就是多晶硅。多晶硅可以用来生产单晶硅，在现代工业中有着广泛的应用，是光伏技术、电子信息技术的重要原材料，直接关系着信息领域和能源领域的发展。根据纯度高低，多晶硅可以分为冶金级多晶硅、太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。随着光伏行业和半导体行业的快速发展，对多晶硅的需求量也日益增大，大力发展太阳能级以及电子级多晶硅的生产技术，增加多晶硅企业的生产能力、保证和提高多晶硅的质量、以及提高生产效率成为多晶硅行业的主要目标。多晶硅的生产技术主要以三氯氢硅（SiHCl3，简称TCS）或甲硅烷（SiH4）为前体，通过化学气相沉积（ChemicalVaporDeposition，CVD）在钟罩式反应器或流化床反应器中进行。上述两本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉，其特征在于所述的热分解炉由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成；所述的钟罩为带有冷却水夹套的双层结构，其下部为圆筒型上部为椭圆形型；所述的底板为带冷却水夹套的双层结构，为圆盘形；所述的钟罩扣在底板上所形成的内部腔体即为甲硅烷热分解炉腔体；所述的气体进出管由尾气收集口、内管和套管构成，所述的尾气收集口呈圆台形，一端为大口，另一端为小口，所述的尾气收集口的小口与内管的上端连通，大口为气体收集口；所述的套管套在内管外，且两者的中心轴重合，所述的内管的上端伸出套管上端的距离为H3、下端伸出套管的下端为尾气出口；所述的套管的上端与内管之间的环...

【技术特征摘要】
1.一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉，其特征在于所述的热分解炉由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成；所述的钟罩为带有冷却水夹套的双层结构，其下部为圆筒型上部为椭圆形型；所述的底板为带冷却水夹套的双层结构，为圆盘形；所述的钟罩扣在底板上所形成的内部腔体即为甲硅烷热分解炉腔体；所述的气体进出管由尾气收集口、内管和套管构成，所述的尾气收集口呈圆台形，一端为大口，另一端为小口，所述的尾气收集口的小口与内管的上端连通，大口为气体收集口；所述的套管套在内管外，且两者的中心轴重合，所述的内管的上端伸出套管上端的距离为H3、下端伸出套管的下端为尾气出口；所述的套管的上端与内管之间的环隙封闭，下端与内管之间的环隙为原料气进口；所述的套管的上段侧面开有圆孔为原料气进入甲硅烷热分解炉腔体的口，套管的开孔段长度为H4；所述的底板上设有气体进出管和...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈剑，
申请(专利权)人：宁波工程学院，
类型：发明
国别省市：浙江,33