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本发明的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成。本发明的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉通过在硅棒外侧套圆台形冷却夹套，使得夹套下端气体流速慢且硅棒与冷却夹套之间的空间大，有利于保温...
该专利属于宁波工程学院所有，仅供学习研究参考，未经过宁波工程学院授权不得商用。

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