一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构制造技术

本实用新型专利技术涉及激光领域，具体涉及一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构。包括：脉冲式激光器、分光片、反光组件和补偿片；所述脉冲式激光器发射激光光束并入射至分光片，部分激光光束经过分光片向外射出，部分激光光束经过分光片并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片并入射回分光片，且再次经过分光片向外射出以及分光至反光组件。本实用新型专利技术通过设计一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，利用延时效应和光学原理降低脉冲峰值要的同时延长脉冲宽度，可根据工艺需求调节反光组件的两镜片的距离来控制脉冲峰值和脉冲宽度的范围。

An optical path structure for prolonging pulse laser pulse width

The utility model relates to the field of laser, in particular to an optical path structure for prolonging pulse laser pulse width. It includes a pulse laser, a splitter, a reflective component and a compensator. The laser beam is transmitted by the laser beam and is incident to the splitter. Some of the laser beams are emitted through the splitter, and some of the laser beams pass through the splitter to the reflective component, and the reflector is reflected through the reflector and the incident light. The light splitter is returned and transmitted again through the spectroscope, and the light is reflected to the reflective component. The utility model can reduce the pulse peak value at the same time to extend the pulse width by using the delay effect and optical principle. The range of the pulse peak and pulse width can be controlled by adjusting the distance of the two lens of the reflective component according to the process demand.

【技术实现步骤摘要】
一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构
本技术涉及激光领域，具体涉及一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构。
技术介绍
激光的脉冲宽度，通常是指激光功率维持在一定值时所持续的时间。不同的激光器，其脉冲宽度可以在很大范围内变化，常见的有准连续激光器,脉宽在几十上百个微秒左右，调Q脉冲激光器,脉宽在ns量级,锁模脉宽在ps,fs甚至更短,显然脉宽越短,它包含的频谱分量就越丰富。目前，根据设备需求和技术方面的原因，对激光脉冲宽度的要求各不相同。如对激光焊接而言，所需激光脉冲宽度不宜太长，否则会影响产品良率。而对于激光退火技术，所需激光脉冲宽度需较长且脉冲峰值不太高。根据需求不同，市面上现有一些设备用于控制激光脉冲宽度，或缩短或延长。在缩短激光脉冲宽度领域，已有激光调Q技术；在延长激光脉冲宽度领域，现有一些装置和技术，如一种“利用固体倍频激光器倍频激光同时输出的泵浦激光，聚焦后在空气和铜靶上产生等离子体，控制倍频激光的脉宽，可使激光连续可调且保持稳定”。对于准分子激光设备的纳秒激光而言，需要一种通用性更广且更加简单易操作的脉冲宽度延长装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，解决现有缺少通用性更广且更加简单易操作的脉冲宽度延长装置的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，包括：脉冲式激光器、分光片、反光组件和补偿片；所述脉冲式激光器发射激光光束并入射至分光片，部分激光光束经过分光片向外射出，部分激光光束经过分光片并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片并入射回分光片，且再次经过分光片向外射出以及分光至反光组件。其中，较佳方案是：所述脉冲式激光器为准分子激光器，并发射出纳秒级激光光束。其中，较佳方案是：所述反光组件包括设置在两侧的第一反光镜片和第二反光镜片，所述分光片的分光方向朝向第一反光镜片设置；其中，所述激光光束通过分光片分光至第一反光镜片的第一反光位置，并依次反射经过第二反光镜片的第二反光位置、第一反光镜片的第二反光位置、第二反光镜片的第一反光位置、补偿片，入射至分光片。其中，较佳方案是：所述第一反光镜片和第二反光镜片平行设置，两者的间距与射出光路结构的激光光束的脉冲宽度相匹配。其中，较佳方案是：所述分光片的设置在第一反光镜片和第二反光镜片之间，且与水平面呈135°。其中，较佳方案是：所述补偿片设置在第二反光镜片与分光片之间，且与水平面呈45°。其中，较佳方案是：所述补偿片与分光片的位置相对于垂直方向呈1＇20＂的夹角。其中，较佳方案是：所述分光片位于第一反光镜片的第一反光位置的正上方，所述补偿片位于第二反光镜片的第一反光位置的正上方，所述第一反光镜片的第二反光位置和第二反光镜片的第二反光位置处于同一垂直线上，所述激光光束通过分光片垂直分光至第一反光镜片的第一反光位置，并依次反射经过第二反光镜片的第二反光位置、第一反光镜片的第二反光位置、第二反光镜片的第一反光位置、补偿片，入射至分光片。本技术的有益效果在于，与现有技术相比，本技术通过设计一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，利用延时效应和光学原理降低脉冲峰值要的同时延长脉冲宽度，可根据工艺需求调节反光组件的两镜片的距离来控制脉冲峰值和脉冲宽度的范围；以及，在分光片上方一定距离处设置补偿片，增加反射率；以及，延长准分子激光器的纳秒级激光脉冲宽度，便于后期使用中进行工艺调节。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术的光路结构的示意图；图2A是本技术从脉冲式激光器发射的初始激光光束脉冲波形图；图2B是本技术延长后激光光束101脉冲波形图。具体实施方式现结合附图，对本技术的较佳实施例作详细说明。如图1所示，本技术提供一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构的优选实施例。一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，包括：脉冲式激光器10、分光片20、反光组件和补偿片40；所述脉冲式激光器10发射激光光束101并入射至分光片20，部分激光光束101经过分光片20向外射出，部分激光光束101经过分光片20并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片40并入射回分光片20，且再次经过分光片20向外射出以及分光至反光组件。具体地，分光片20、反光组件和补偿片40构成延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构的延长部分，所述脉冲式激光器10设置在延长部分的外侧，并向延长部分发射激光光束101，经过延长部分延长后向外发射延长后激光光束101。并参考图2，A为从脉冲式激光器10发射的初始激光光束101脉冲波形图，图B为延长后激光光束101脉冲波形图。相对于初始激光光束101，延长后激光光束101具有较宽的脉冲宽度和较低的脉冲峰值。可延长脉冲式激光器10射出的纳秒激光脉冲宽度，便于使用，且其中设置有补偿片40，提高激光的反射率，且便于使用中进行工艺调节。在本实施例中，所述脉冲式激光器10为准分子激光器，并发射出纳秒级激光光束101。其中，准分子激光器，以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束(能量大于200千电子伏特)或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。在本实施例中，所述反光组件包括设置在两侧的第一反光镜片31和第二反光镜片32，所述分光片20的分光方向朝向第一反光镜片31设置；其中，所述激光光束101通过分光片20分光至第一反光镜片31的第一反光位置(靠左侧)，并依次反射经过第二反光镜片32的第二反光位置(靠右侧)、第一反光镜片31的第二反光位置(靠右侧)、第二反光镜片32的第一反光位置(靠左侧)、补偿片40，入射至分光片20。进一步地，所述第一反光镜片31和第二反光镜片32平行设置，两者的间距与射出光路结构的激光光束101的脉冲宽度相匹配。在本实施例中，所述分光片20的设置在第一反光镜片31和第二反光镜片32之间，且与水平面呈135°。以及，所述补偿片40设置在第二反光镜片32与分光片20之间，且与水平面呈45°。进一步地，所述补偿片40与分光片20的位置相对于垂直方向呈1＇20＂的夹角。其中，补偿片40可对分散的激光进行整合，进一步提高反射率。在本实施例中，所述分光片20位于第一反光镜片31的第一反光位置的正上方，所述补偿片40位于第二反光镜片32的第一反光位置的正上方，所述第一反光镜片31的第二反光位置和第二反光镜片32的第二反光位置处于同一垂直线上，所述激光光束101通过分光片20垂直分光至第一反光镜片31的第一反光位置，并依次反射经过第二反光镜片32的第二反光位置、第一反光镜片31的第二反光位置、第二反光镜片32的第一反光位置、补偿片40，入射至分光片20。在本技术中，本方案具有以下优势，1、利用延时效应和光学原理降低脉冲峰值要的同时延长脉冲宽度，可根据工艺需求调节镜片的距离来控制脉冲峰值和脉冲宽度的范围；2、在分光片20上方一定距离处设置compensAtor(补偿片40)，增加反射率；3、延长准分子激光器的纳秒级激光脉冲宽度，便于后期使用中进行工艺调节。以上所述者，仅为本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，其特征在于，包括：脉冲式激光器、分光片、反光组件和补偿片；所述脉冲式激光器发射激光光束并入射至分光片，部分激光光束经过分光片向外射出，部分激光光束经过分光片并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片并入射回分光片，且再次经过分光片向外射出以及分光至反光组件。

【技术特征摘要】
1.一种延长脉冲式激光脉冲宽度的光路结构，其特征在于，包括：脉冲式激光器、分光片、反光组件和补偿片；所述脉冲式激光器发射激光光束并入射至分光片，部分激光光束经过分光片向外射出，部分激光光束经过分光片并分光至反光组件，通过反光组件的反射再经过补偿片并入射回分光片，且再次经过分光片向外射出以及分光至反光组件。2.根据权利要求1所述的光路结构，其特征在于：所述脉冲式激光器可发射出纳秒级激光光束。3.根据权利要求1所述的光路结构，其特征在于：所述反光组件包括设置在两侧的第一反光镜片和第二反光镜片，所述分光片的分光方向朝向第一反光镜片设置；其中，所述激光光束通过分光片分光至第一反光镜片的第一反光位置，并依次反射经过第二反光镜片的第二反光位置、第一反光镜片的第二反光位置、第二反光镜片的第一反光位置、补偿片，入射至分光片。4.根据权利要求3所述的光路结构，其特征在于：所述第一反光镜片和第二反光镜片平...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓辉，潘太发，杜枘，李海桥，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44