The invention discloses a crucible furnace bracket for the production of silicon carbide, including the right support bar group, the base and the left support bar group. The top surface of the base is vertically installed with the left support bar group and the right support bar group. The left support bar group and the right support bar group are uniformly installed at the four side angles of the top surface of the base by the bolts. The left support is made. The left lifting frame and the right lifting frame are respectively arranged on the bar group and the right supporting rod group. The invention can be moved and fixed by the moving wheel, and the left and right support bar groups keep the horizontal and stable level when the left and right lifts and lifts are raised, and the left and right elevating frames can adjust the height of the crucible to adjust the height of the crucible with the screw rod, thus adjusting the distance between the crucible and the heating body, and the telescopic cylinder is moving according to the different control splints of the crucible size inch. The support has a wider application range, reduces the cost of replacing the crucible, and the guide rail penetrates both ends of the splint horizontally to improve the stability of the splint movement.
【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅生产用坩埚炉支架
本专利技术涉及硅生产设备
,具体为一种碳化硅生产用坩埚炉支架。
技术介绍
目前碳化硅在生产加工的时候需要放在坩埚内加热,使晶体膨胀变成晶棒。由于生产规模不同,因此坩埚的尺寸也存在差异,目前的坩埚炉支架是根据坩埚尺寸定做的,当更换坩埚时需要同时更换坩埚支架,灵活性差,成本高,坩埚支架的高度恒定,无法调节坩埚底面与发热体的距离。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种碳化硅生产用坩埚炉支架,解决了现有坩埚炉支架根据坩埚尺寸定做,当更换坩埚时需要同时更换坩埚支架,灵活性差,成本高,坩埚支架的高度恒定,无法调节坩埚底面与发热体的距离的问题。为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:一种碳化硅生产用坩埚炉支架,包括右支撑杆组、底座和左支撑杆组,所述底座的顶面垂直安装有左支撑杆组和右支撑杆组,所述左支撑杆组和右支撑杆组通过螺栓均匀安装在底座顶面的四个边角处,所述左支撑杆组和右支撑杆组上分别套设有左升降架和右升降架,所述左升降架和右升降架上相向的侧面均安装有伸缩气缸,所述伸缩气缸上设有伸缩杆,所述左升降架与右升降架之间通过导向轨固定连接,所述导向轨上套设有夹板,所述夹板与伸缩气缸通过伸缩杆连接,所述夹板上背离伸缩气缸的一面设有夹槽,所述夹槽的表面设有耐磨垫,所述底座顶面的中心处安装有液压泵,所述液压泵上设有推杆,所述推杆的顶端与托板固定连接优选的,所述底座的底面安装有移动轮,所述移动轮共安装有四个,且移动轮上设有脚闸。优选的,所述左支撑杆组和右支撑杆组的顶部均设有封堵头,所述封堵头与左支撑杆组和右支撑杆组通过螺纹旋合连接。优选 ...
【技术保护点】
1.一种碳化硅生产用坩埚炉支架,包括右支撑杆组(4)、底座(9)和左支撑杆组(14),其特征在于:所述底座(9)的顶面垂直安装有左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4),所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)通过螺栓均匀安装在底座(9)顶面的四个边角处,所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)上分别套设有左升降架(13)和右升降架(5),所述左升降架(13)和右升降架(5)上相向的侧面均安装有伸缩气缸(1),所述伸缩气缸(1)上设有伸缩杆(2),所述左升降架(13)与右升降架(5)之间通过导向轨(12)固定连接,所述导向轨(12)上套设有夹板(3),所述夹板(3)与伸缩气缸(1)通过伸缩杆(2)连接,所述夹板(3)上背离伸缩气缸(1)的一面设有夹槽(31),所述夹槽(31)的表面设有耐磨垫(17),所述底座(9)顶面的中心处安装有液压泵(6),所述液压泵(6)上设有推杆(8),所述推杆(8)的顶端与托板(7)固定连接。
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅生产用坩埚炉支架,包括右支撑杆组(4)、底座(9)和左支撑杆组(14),其特征在于:所述底座(9)的顶面垂直安装有左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4),所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)通过螺栓均匀安装在底座(9)顶面的四个边角处,所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)上分别套设有左升降架(13)和右升降架(5),所述左升降架(13)和右升降架(5)上相向的侧面均安装有伸缩气缸(1),所述伸缩气缸(1)上设有伸缩杆(2),所述左升降架(13)与右升降架(5)之间通过导向轨(12)固定连接,所述导向轨(12)上套设有夹板(3),所述夹板(3)与伸缩气缸(1)通过伸缩杆(2)连接,所述夹板(3)上背离伸缩气缸(1)的一面设有夹槽(31),所述夹槽(31)的表面设有耐磨垫(17),所述底座(9)顶面的中心处安装有液压泵(6),所述液压泵(6)上设有推杆(8),所述推杆(8)的顶端与托板(7)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架,其特征在于,所述底座(9)的底面安装有移动轮(10),...
【专利技术属性】
技术研发人员:俞海强,
申请(专利权)人:湖州归谷信息科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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