一种线材类金刚石涂层加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种线材类金刚石涂层加工装置，包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体，该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套，所述磁靴环上装配多组磁铁，所述磁靴转动齿固定在磁靴环上，外接传动结构可转动磁靴环。本发明专利技术不仅可在高真空下对微型尺寸件、线材件表面磁控溅射PECVD沉积类金刚石涂层，而且还可在低真空下利用环形管气体放电，在微型尺寸件、线材件产生大束流高离化喷涂类金刚石涂层。

【技术实现步骤摘要】
一种线材类金刚石涂层加工装置
本专利技术属于真空镀膜
，具体是指线材类金刚石涂层加工装置。
技术介绍
固体材料的摩擦磨损普遍存在于生产和生活的各个领域中，凡是相对运动的部件都存在着摩擦磨损。国内外的统计资料显示，由摩擦而导致消耗掉的能源占全世界1/3的一次能源，约有80%的机械零部件因为不断的磨损而最终失效，约有50%以上的机械装备恶性事故发生是起因于润滑失效和过度磨损。材料表面的物理、化学和力学性质对材料的摩擦学性能产生重要的影响。将固体材料表面进行预处理后，再经过表面涂覆、表面改性或多种表面工程技术复合处理，改变固体表面的形态、化学成分、组织结构、机械强度和应力状态等，可以获得更好的力学与摩擦学性能。尤其，在表面工程技术中将薄膜材料应用于固体块状材料的减摩抗磨取得了许多重要的工业应用价值。因此，降低摩擦磨损的损耗，积极开发及使用新型的减摩抗磨润滑薄膜材料具有极其重要的价值和意义。类金刚石薄膜(Diamond-likecarbonfilm)由于具有许多优异的物理、化学性能，如高硬度、低摩擦系数、优良的耐磨性、高介电常数、高击穿电压、宽带隙、化学惰性和生物相容性等。经过多年的发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线材类金刚石涂层加工装置，其特征在于：包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体，该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套，所述的靶材为环形靶材，该环形靶材的轴向一端为线材进线口，环形靶材的轴向另一端为线材出线口，环形靶材的内部空腔构成气体电离区，所述环形靶材是由多组金属基片瓦表面复合石墨片构成，所述的水冷套环形套设于环形靶材的外侧并构成热交换连接，绝缘套管套接设置于水冷套的外侧，所述的磁靴环转动套设于绝缘套管的外侧，且该磁靴环内装配有多组磁铁，还包括有用于...

【技术特征摘要】
1.一种线材类金刚石涂层加工装置，其特征在于：包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体，该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套，所述的靶材为环形靶材，该环形靶材的轴向一端为线材进线口，环形靶材的轴向另一端为线材出线口，环形靶材的内部空腔构成气体电离区，所述环形靶材是由多组金属基片瓦表面复合石墨片构成，所述的水冷套环形套设于环形靶材的外侧并构成热交换连接，绝缘套管套接设置于水冷套的外侧，所述的磁靴环转动套设于绝缘套管的外侧，且该磁靴环内装配有多组磁铁，还包括有用于驱动磁靴环在绝缘套管上转动的磁靴环转动驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种线材类金刚石涂层加工装置，其特征在于：所述的磁靴环转动驱动机构包括有联动套设固定于磁靴环上的磁靴转动齿，该磁靴转动齿外接传动动力单元实现磁靴环的转动驱动。3.根据权利要求1所述的一种线材类金刚石涂层加工装置，其特征在于：所述靶材的金属基片瓦为钛、铬、钨中的一种或其合金。4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：郎文昌，王向红，刘伟，
申请(专利权)人：温州职业技术学院，
类型：发明
国别省市：浙江,33