半导体器件及其制造方法技术

公开了一种半导体器件及其制造方法。该方法包括：在衬底上形成栅极绝缘层和栅极；在所述栅极两侧分别形成间隔件；以所述栅极和所述间隔件为掩模来刻蚀所述衬底以形成凹槽；在所述间隔件两侧分别形成伪侧墙；以所述栅极、所述间隔件和所述伪侧墙为掩模来刻蚀所述衬底以形成凹部，所述凹部具有比所述凹槽更深的深度；去除所述伪侧墙；以及在所述凹槽和所述凹部中填充SiGe，从而形成所述半导体器件的源漏扩展区和源极/漏极区；其中，在所述填充SiGe的步骤之前，还包括对所述衬底进行加热以使得所述衬底的材料回流从而至少改变所述凹槽的接近栅极一侧的侧壁的形状的步骤。

【技术实现步骤摘要】
半导体器件及其制造方法本申请是于2011年5月12日提交的、申请号为201110121643.8、专利技术名称为“半导体器件及其制造方法”的申请之分案申请。
本专利技术涉及半导体器件及其制造方法，具体来说，涉及具有嵌入式硅锗(SiGe)的源极/漏极结构的半导体器件及其制造方法。
技术介绍
提高沟道区的载流子迁移率能够增大场效应晶体管的驱动电流，提高器件的性能。而提高载流子迁移率的一种有效机制是在沟道中产生应力。尽管已经提出了各种沟道应力技术，但是对于pMOSFET而言，嵌入式SiGe技术能最有效地提升应力。嵌入式SiGe技术已经被广泛地用在现代CMOS技术中，以用于提高pMOSFET的性能。N.Yasutake等人的论文“AHighPerformancepMOSFETwithTwo-stepRecessedSiGe-S/DStructurefor32nmnodeandBeyond”(Solid-StateDeviceResearchConference,2006,Proceedingofthe36thEuropean,IEEE,pp.77～80)中公开了一种两级凹进式SiGe的源极/漏极结构，其极大地改善了pMOSFET中的短沟道效应和源极/漏极电阻问题，并且实现了多于80％的电流增大。从该论文中可知，SiGe与沟道的接近程度对于增大沟道应变和实现高性能pMOSFET而言是主导参数，并且对于减小源漏扩展区(SDE)电阻而言也是关键参数。然而，对于现有的两级凹进式SiGe的源极/漏极结构，如图1所示，从栅极101的边缘到SiGe顶端的距离由偏移间隔件102的宽度限定，这限制了SiGe与沟道的接近程度。鉴于上述问题，期望提出一种半导体器件制造方法以使得作为源极/漏极结构的SiGe与栅极边缘尽可能地接近，从而实现更高性能的半导体器件。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提高作为源极/漏极结构的SiGe与栅极边缘的接近程度，从而提高半导体器件的性能。根据本专利技术的第一方面，提供了一种制造半导体器件的方法，包括：在衬底上形成栅极绝缘层和栅极；在该栅极两侧分别形成间隔件；以该栅极和该间隔件为掩模来刻蚀该衬底以形成凹槽；在该间隔件两侧分别形成伪侧墙；以该栅极、该间隔件和该伪侧墙为掩模来刻蚀该衬底以形成凹部，该凹部具有比该凹槽更深的深度；去除该伪侧墙；以及在该凹槽和该凹部中填充SiGe，从而形成该半导体器件的源漏扩展区和源极/漏极区；其中，在该填充SiGe的步骤之前，还包括对该衬底进行加热以使得该衬底的材料回流从而至少改变该凹槽的接近栅极一侧的侧壁的形状的步骤。优选地，对该衬底进行加热的步骤是在形成凹槽的步骤之后并且在形成伪侧墙的步骤之前进行的。优选地，对该衬底进行加热的步骤是在去除伪侧墙的步骤之后进行的。优选地，对该衬底进行加热的步骤是在氢气氛中进行的。优选地，对该衬底进行加热的温度在750℃到850℃的范围内，加热的时间为30秒到5分钟。优选地，该填充SiGe的步骤包括外延生长SiGe的步骤。优选地，在外延生长SiGe的同时对SiGe进行原位掺杂。优选地，在该形成栅极的步骤之后且在该形成间隔件的步骤之前，对该衬底进行晕圈注入。优选地，在该填充SiGe的步骤之后，进行低温尖峰式快速热退火。优选地，刻蚀该衬底的步骤均使用干法刻蚀工艺。优选地，该衬底为硅衬底。优选地，该形成栅极绝缘层和栅极的步骤包括通过热氧化工艺形成二氧化硅层以作为栅极绝缘层。优选地，通过上述方法制造的半导体器件是pMOSFET。优选地，在对该衬底进行加热的步骤之后，该凹槽的接近栅极一侧的开口边缘与该栅极的侧壁对齐。根据本专利技术的第二方面，提供了一种半导体器件，包括：在衬底上的栅极绝缘层和栅极；在该栅极两侧的间隔件；在该衬底中的由SiGe形成的一体化的源极扩展区和源极区以及由SiGe形成的一体化的漏极扩展区和漏极区；该源极扩展区和该漏极扩展区的接近栅极一侧的边缘上端位于该间隔件下方。优选地，该半导体器件是pMOSFET。优选地，该衬底为硅衬底。优选地，该栅极绝缘层是二氧化硅层。优选地，该源极扩展区和该漏极扩展区的接近栅极一侧的边缘上端分别与该栅极的对应一侧的侧壁对齐。本专利技术的一个优点在于，两级凹进式SiGe能够使半导体器件的尺寸进一步按比例缩小。通过优化结构还能够极大地改善短沟道效应。本专利技术的另一个优点在于，与现有技术相比，使得作为源极/漏极结构的SiGe能够更接近沟道，从而提升沟道中的应力，提高半导体器件的性能。本专利技术的另一个优点在于，通过加热使衬底材料回流的工艺具有很好的工艺兼容性并且成本较低。而且，无需使用复杂的刻蚀工艺就能实现SiGe与栅极边缘的极端接近。因此，半导体器件的性能得到了显著的提高。通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得更为清楚。附图说明参照附图，根据下面的详细描述，可以更加清楚地理解本专利技术。为了清楚起见，图中各个层的相对厚度以及特定区域的相对尺寸并没有按比例绘制。在附图中：图1是现有技术中的具有两级凹进式SiGe的源极/漏极结构的半导体器件的示意图；以及图2A－2G是根据本专利技术实施例的半导体器件在其制造过程中的各个阶段处的示意性截面图。具体实施方式现在将参照附图来详细描述本专利技术的各种示例性实施例。专利技术人注意到，在特定气氛(例如，氢气氛)下，在远低于熔点的温度下会发生硅原子的表面迁移。为了使总表面能最小化，硅原子的迁移不仅改善了表面粗糙度，而且改变了硅结构的形状，例如产生圆角。这种效果类似于玻璃或聚合物的回流工艺，即，也可以称为硅的回流。但是与玻璃或聚合物的回流工艺不同，这种机制仅仅依赖于表面原子的移动，而保持晶体结构。具体分析可参见Ming-ChangM.Lee等人的论文“ThermalAnnealinginHydrogenfor3-DProfileTransformationonSilicon-on-InsulatorandSidewallRoughnessReduction”(J.Microelectromech.Syst.,vol.15,no.2,pp.338-343,2006年4月)，其全部内容通过引用而被并入于此。基于上述原理，提出了本专利技术。以下对示例性实施例的描述仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。本领域中公知的技术可以被应用于没有特别示出或描述的部分。(第一实施例)在本实施例中，提出了一种具有两级凹进式SiGe的源极/漏极结构的半导体器件及其制造方法，其中在第一次刻蚀衬底之后，对硅衬底进行加热，使得发生硅的回流，至少改变凹槽的接近栅极一侧的侧壁的形状，从而使凹槽的前端更接近栅极边缘、甚至与栅极边缘对齐。下面将更详细地描述该制造方法。首先，如图2A所示，在衬底201上形成栅极绝缘层202和栅极203，并且在栅极203两侧分别形成有间隔件204。间隔件204的厚度可以为5nm到10nm。间隔件204可以是例如硅氮化物、硅氧化物等材料。可以利用例如化学气相沉积(CVD)的方法来沉积间隔件204的材料。可选地，在形成栅极203之后并且在形成间隔件204之前，对衬底进行晕圈(halo)离子注入，这有助于控制短沟道效应。接下来，如图2B所示，以栅极203和间隔件204本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造半导体器件的方法，包括：在衬底上形成栅极绝缘层和栅极；在所述栅极两侧分别形成间隔件；以所述栅极和所述间隔件为掩模来各向异性地刻蚀所述衬底以形成凹槽，所述凹槽的接近栅极一侧的侧壁与所述间隔件的侧壁基本齐平，并且所述凹槽的所述侧壁的上端具有角部；在所述间隔件两侧分别形成伪侧墙；对所述衬底进行加热以使得所述衬底的材料回流从而至少改变所述角部的形状，并使得所述角部相对于所述侧壁的其余部分更接近所述栅极的边缘；在所述回流之后，以所述栅极、所述间隔件和所述伪侧墙为掩模来刻蚀所述衬底以形成凹部，所述凹部具有比所述凹槽更深的深度；去除所述伪侧墙；以及在所述凹槽和所述凹部中填充SiGe，从而形成所述半导体器件的源漏扩展区和源极/漏极区；其中对所述衬底进行加热的步骤是在氢气氛中进行的，并且对所述衬底进行加热的温度在750℃到850℃的范围内，加热的时间为30秒到5分钟。

【技术特征摘要】
1.一种制造半导体器件的方法，包括：在衬底上形成栅极绝缘层和栅极；在所述栅极两侧分别形成间隔件；以所述栅极和所述间隔件为掩模来各向异性地刻蚀所述衬底以形成凹槽，所述凹槽的接近栅极一侧的侧壁与所述间隔件的侧壁基本齐平，并且所述凹槽的所述侧壁的上端具有角部；在所述间隔件两侧分别形成伪侧墙；对所述衬底进行加热以使得所述衬底的材料回流从而至少改变所述角部的形状，并使得所述角部相对于所述侧壁的其余部分更接近所述栅极的边缘；在所述回流之后，以所述栅极、所述间隔件和所述伪侧墙为掩模来刻蚀所述衬底以形成凹部，所述凹部具有比所述凹槽更深的深度；去除所述伪侧墙；以及在所述凹槽和所述凹部中填充SiGe，从而形成所述半导体器件的源漏扩展区和源极/漏极区；其中对所述衬底进行加热的步骤是在氢气氛中进行的，并且对所述衬底进行加热的温度在750℃到850℃的范围内，加热的时间为30秒到5分钟。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李凡，张海洋，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31