有机发光显示装置、有机电致发光器件及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种有机发光显示装置、有机电致发光器件及其制备方法，所述有机电致发光器件包括：导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；有机发光层，所述有机发光层形成于所述氧化铟锡膜层上；阴极层，所述阴极层形成于所述有机发光层上。位于导电反射层的上层的氧化铟锡膜层能够防止银膜层大面积裸露在空气中而氧化，铝膜层具有较高的反射率，能够提高导电反射层的反射率，有效提高有机发光器件的反射率，并有效降低器件的功耗，铝膜层具有较高的导电率，而铝膜层作为下层膜层可提高膜层粘附力，能够更好地与下层的平坦化层连接。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示装置、有机电致发光器件及其制备方法
本专利技术涉及有机发光显示制造
，特别是涉及有机发光显示装置、有机电致发光器件及其制备方法。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示屏具有自发光、超轻薄、响应速度快、视角宽、功耗低等优点，被认为是最具有潜力的显示器件。AMOLED(Active-matrixorganiclightemittingdiode，有源矩阵有机电致发光器件)能够充分发挥OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)工艺简单、发光效率高、轻薄、色彩丰富以及视角宽等诸多优点，既可以在大尺寸显示器方面有所应有，也可以在微显示器方面发挥潜力。传统的AMOLED中的有机发光器件的导电反射膜层(阳极)使用ITO(氧化铟锡)/Ag(银)/ITO(氧化铟锡)的叠层结构，该导电反射膜层刻蚀采用湿法刻蚀的方式进行，使用HNO3/CH3COOH/H2O/H3PO4的混合溶液体系，被腐蚀的ITO膜层和Ag膜层是在溶液环境中同时发生化学反应，但该溶液对ITO膜层和Ag膜层的刻蚀选择比高，约1:1000，而由于工艺需求下层ITO膜层无刻蚀残留，需延长刻蚀时间，导致Ag膜层刻蚀量远大于ITO膜层刻蚀量，Ag膜层后退严重。叠合膜层中处于中间位置的Ag膜层会后退，被刻蚀基板部分位置的上层ITO膜层会失去支持而塌陷，对Ag膜层的侧壁起到包裹的作用，影响溶液对Ag膜层的进一步作用，而部分位置上层ITO无塌陷，Ag膜层裸露并被进一步腐蚀，所以导致基板不同位置的Ag膜层的刻蚀量不均一，刻蚀后图形线宽均匀性差，结果宏观表现为发光亮度不均匀，影响有机发光器件的显示效果。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种有机发光显示装置、有机电致发光器件及其制备方法。一种有机电致发光器件，包括：导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；有机发光层，所述有机发光层形成于所述氧化铟锡膜层上；阴极层，所述阴极层形成于所述有机发光层上。在其中一个实施例中，所述铝膜层的厚度为80～120nm。在其中一个实施例中，所述银膜层的厚度为5～15nm。在其中一个实施例中，所述氧化铟锡膜层的厚度为5～15nm。一种有机电致发光器件的制备方法，包括：制备导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；在所述氧化铟锡膜层上形成有机发光层；在所述有机发光层上形成阴极层。在其中一个实施例中，所述制备导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层步骤包括：依次沉积形成层叠的所述铝膜层、所述银膜层和所述氧化铟锡膜层；采用干法刻蚀工艺依次对所述氧化铟锡膜层、所述银膜层和所述铝膜层进行刻蚀。在其中一个实施例中，所述采用干法刻蚀工艺依次对所述氧化铟锡膜层、所述银膜层和所述铝膜层进行刻蚀的步骤包括：采用甲烷气体依次对所述氧化铟锡膜层和所述银膜层进行干刻蚀。在其中一个实施例中，所述采用干法刻蚀工艺依次对所述氧化铟锡膜层、所述银膜层和所述铝膜层进行刻蚀的步骤包括：采用含有氯气的气体对所述铝膜层进行刻蚀。在其中一个实施例中，所述使用含有氯气的气体对所述铝膜层进行刻蚀的步骤之后还包括：采用四氟化碳气体对氯气刻蚀过程中产生的氯化银进行置换反应。一种有机发光显示装置，包括上述任一实施例中所述的有机电致发光器件。上述有机发光显示装置、有机电致发光器件及其制备方法，位于导电反射层的上层的氧化铟锡膜层能够防止银膜层大面积裸露在空气中而氧化，铝膜层具有较高的反射率，能够提高导电反射层的反射率，有效提高有机发光器件的反射率，并有效降低器件的功耗，铝膜层具有较高的导电率，而铝膜层作为下层膜层可提高膜层粘附力，能够更好地与下层的平坦化层连接。附图说明图1为一个实施例的有机电致发光器件的局部剖面结构示意图；图2为一个实施例的有机发光显示装置的制备方法的流程示意图；图3为一个实施例的有机发光显示装置的局部剖面结构示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施方式。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本专利技术的公开内容理解的更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。例如，一种有机电致发光器件，包括：导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；有机发光层，所述有机发光层形成于所述氧化铟锡膜层上；阴极层，所述阴极层形成于所述有机发光层上。本实施例中，位于导电反射层的上层的氧化铟锡膜层能够防止银膜层大面积裸露在空气中而氧化，铝膜层具有较高的反射率，能够提高导电反射层的反射率，有效提高有机发光器件的反射率，并有效降低器件的功耗，铝膜层具有较高的导电率，而铝膜层作为下层膜层可提高膜层粘附力，能够更好地与下层的平坦化层连接。在一个实施例中，如图1所示，提供一种有机电致发光器件10，包括：导电反射层100，所述导电反射层100包括依次层叠的铝膜层110、银膜层120和氧化铟锡膜层130；有机发光层200，所述有机发光层200形成于所述氧化铟锡膜层130上；阴极层300，所述阴极层300形成于所述有机发光层200上。具体地，该导电反射层100为阳极层，即该导电反射层100作为有机电致发光器件10的阳极，例如，该导电反射层100形成于平坦化层400上，例如，铝(Al)膜层、银(Ag)膜层和氧化铟锡(ITO)膜层依次层叠形成于平坦化层400上。例如，该银膜层120包括银合金膜层，例如，银膜层120中掺杂了其他的金属材质，例如，掺杂了金属锌，因此，该银膜层120也可以称为银合金膜层。例如，该铝膜层110包括铝合金膜层，例如，铝膜层110中掺杂了其他的金属材质，例如，掺杂了金属锌，因此，该铝膜层110也可以称为铝合金膜层。上层的氧化铟锡膜层能够对银膜层起到保护作用，防止银膜层大面积裸露在空气中而氧化、该氧化铟锡膜层为透明膜层，该氧化铟锡膜层用于透射光线，该氧化铟锡膜层的透光率为90％左右。银膜层作为第一反射膜层，铝膜层作为第二反射膜层。具体地，有机发光层的发出的光线经过氧化铟锡膜层透射至银膜层和铝膜层上，在银膜层和铝膜层上反射，再次经过氧化铟锡膜层反射至阴极层外侧。铝膜层具有较高的反射率，能够提高导电反射层的反射率，有效提高有机发光器件的反射率，并有效降低器件的功耗，铝膜层具有较高的导电率，此外，铝膜层与下层的平坦化层粘合度较高，相较于银膜层与平坦化层粘合度更高，铝膜层可有效增加提高导电反射层与平坦化层之间的粘附力。例如，所述有机发光层形成于导电反射层的发光区域上。值得一提的是，该有机电致发光器件中还包括其他功能层，比如平坦化层、钝化层以及保护层，有机发光层包括空穴层、电子传输层等，例如，有机电致发光器件包括第一有机绝缘层、形成于第一有机绝缘层上的平坦化层、形成于平坦化层上的导电反射层、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括：导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；有机发光层，所述有机发光层形成于所述氧化铟锡膜层上；阴极层，所述阴极层形成于所述有机发光层上。

【技术特征摘要】
1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括：导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；有机发光层，所述有机发光层形成于所述氧化铟锡膜层上；阴极层，所述阴极层形成于所述有机发光层上。2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述铝膜层的厚度为80～120nm。3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述银膜层的厚度为5～15nm。4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述氧化铟锡膜层的厚度为5～15nm。5.一种有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括：制备导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层；在所述氧化铟锡膜层上形成有机发光层；在所述有机发光层上形成阴极层。6.根据权利要求5所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，所述制备导电反射层，所述导电反射层包括依次层叠的铝膜层、银膜层和氧化铟锡膜层...

【专利技术属性】
技术研发人员：冼伟材，铃木浩司，张毅先，任思雨，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44