掩膜对准装置用基板升降装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板升降装置，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

【技术实现步骤摘要】
掩膜对准装置用基板升降装置
本专利技术涉及掩膜对准装置中的利用于升降基板的基板升降装置。
技术介绍
一般而言，液晶显示装置(LCD,LiquidCrystalDisplay)、有机发光显示装置(OLED,OrganicLightEmittingDiodes)、等离子显示板(PDP,PlasmaDisplayPanel)、电泳显示装置(EPD,ElectrophoreticDisplay)等显示装置以及太阳能电池等的产品经过各种工艺制造而成。在所述制造工艺包括：在基板沉积薄膜的沉积工艺；蚀刻在基板沉积的薄膜的蚀刻工艺。通过沉积工艺、蚀刻工艺等在基板形成所需形状的薄膜的过程中，将利用掩膜(Mask)。对此，在基板以及掩膜相互贴合的状态下对基板进行沉积工艺、蚀刻工艺等。在此，在对准基板和掩膜之间的位置来贴合基板和掩膜的工艺中，利用掩膜对准装置。掩膜对准装置包括基板升降装置，以用于对准基板和掩膜之间的位置。对于掩膜对准装置的
技术介绍
公开于韩国公开专利公报第10-2014-0021832号(2014年2月21日公开)。图1是现有技术的基板升降装置的概略性平面图；图2以及图3是示例性示出一般的基板与掩膜的概略性仰视图。参照图1至图3，现有技术的基板升降装置100包括：通过升降单元(未示出)升降的销板110以及结合于所述销板110的升降销120。所述升降销120支撑所述基板200。所述升降销120在支撑所述基板200的状态下，所述升降销120随着所述销板110升降一同升降，同时升降所述基板200。在所述销板110结合多个所述升降销120。多个所述升降销120结合于所述销板110以位于相互不同的位置，进而支撑所述基板200的相互不同的位置。在此，在所述基板200中由所述升降销120支撑的部分不能用作有效区域。因此，为了在所述基板200中增大有效区域的大小，使多个所述升降销120支撑在所述基板200中被所述掩膜300覆盖的部分。但是如图2以及图3所示，在所述基板200中有效区域取决于产品的种类、大小等。据此，贴合于所述基板200的掩膜300的形状也会改变，因此应该改变所述升降销120的位置，以对应于所述有效区域以及所述掩膜200的形状的变化。为此，现有技术的基板升降装置100可使多个所述升降销120可拆卸于所述销板110。但是，现有技术的基板升降装置100需操作员直接手动执行升降销110的拆卸作业以应对位置变化。例如，如图2所示，若对准基板200与掩膜300之间的位置，则操作员应直接手动地在所述销板110的第一区域111结合升降销120。然后，变成如图3所示的基板200与掩膜300，则操作员直接手动地从所述销板110的第一区域111分离升降销120，并在所述销板110的第二区域112结合升降销120。因此，对于现有技术的基板升降装置100，不仅很难改变所述升降销120的位置的更改作业，还因为在更改所述升降销120位置的作业所需时间的增加，存在开工率下降的问题。
技术实现思路
(要解决的问题)本专利技术是为了解决如上所述的问题而提出的，目的在于提供能够消除改变基板支撑位置的位置改变作业的困难的掩膜对准装置用基板升降装置。本专利技术还提供如下的掩膜对准装置用基板升降装置：缩短对改变基板支撑位置的作业的所需时间，进而减少开工率降低程度。(解决问题的手段)为了解决如上所述的问题，本专利技术可包括下述的结构。本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置可包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。(专利技术效果)本专利技术的效果如下：本专利技术实现可变升降销可变动地支撑基板，进而可提高对改变基板支撑位置的作业的容易度。本专利技术能够缩短在改变基板支撑位置的所需时间，因此通过提高开工率可增加贴合基板和掩膜的基板组装体的生产率。附图说明图1是现有技术的基板升降装置的概略性平面图。图2以及图3是示例性示出一般的基板与掩膜的仰视图。图4是本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置的概略性侧视图。图5是本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中的销板、升降销以及可变升降销的概略性平面图。图6是本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中的切换部的概略性侧视图。图7是本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中的切换部以及销板的概略性侧视图。图8是本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中切换至解除模式的切换部件的概略性平面图。图9是本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中切换至支撑模式的切换部件的概略性平面图。图10是示出在本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中切换凸起沿着第一诱导面旋转而插入于支撑槽的运作关系的概念图。图11是示出在本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中切换凸起沿着第二诱导面旋转而插入于通过孔的运作关系的概念图。图12是示出在本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中的切换部件以及变动部件的概略性侧视图。图13以及图14是示出本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置中升降凸起沿着旋转面旋转的运作关系的概念图。图15至图28是用于说明本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置的运作关系的概念图。(附图标记说明)1：掩膜对准装置用基板升降装置2：升降销3：销板4：升降部5：可变升降销6：切换部31：通过孔32：支撑部件41：平台42：升降单元61：切换部件62：结合部件63：变动部件64：升降工具321：支撑槽322：第一诱导部件323：第一诱导面324：第二诱导部件325：第二诱导面326：第一限制面327：第二限制面611：切换凸起612：升降凸起613：升降槽631：变动凸起632：变动槽633：旋转面641：升降部件642：引导部件具体实施方法在以下，参照附图详细说明根据本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置的实施例。参照图4，本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置1设置在掩膜对准装置，所述掩膜对准装置对准基板200和掩膜300的位置来贴合所述基板200和所述掩膜300。本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置1在所述掩膜对准装置中执行支撑并升降所述基板200的功能。本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置1可包括销板3、升降部4、可变升降销5以及切换部6。本专利技术的掩膜对准装置用基板升降装置1根据需要还可包括升降销2。以下，参照附图对所述升降销2、所述销板3、所述升降部4、所述可变升降销5以及所述切换部6进行详细说明。参照图4以及图5，所述升降销2支撑所述基板200。所述升降销2可结合于所述销板3。据此，所述升降销2随着所述销板3升降而一同进行升降。所述升降销2可结合于所述销板3，以向所述销板3的上侧凸出。所述升降销2插入于形成在所述掩膜300的贯通孔(未示出)可支撑位于所述掩膜300上侧的基板200。所述升降销2可固定地结合于所述销板3，进而当所述销板3升降时一同进行升降。所述升降销2可支撑在所述基板200中未被所述掩膜300遮挡的部分(以下，称为非有效区域)。所述非有效区域是无法用作有效区域的部分。例如，所述非有效区域可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。

【技术特征摘要】
2016.12.09 KR 10-2016-01676851.一种掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，包括：可变升降销，用于支撑基板；可升降的销板；升降部，用于升降所述销板；以及切换部，结合所述可变升降销；所述切换部包括切换部件，所述切换部件切换于支撑模式以及解除模式之间，其中所述支撑模式是由所述销板支撑所述切换部，进而通过所述销板升降所述可变升降销进行升降来支撑所述基板；所述解除模式是解除对所述销板的支撑，以使所述销板对所述可变升降销单独进行升降。2.根据权利要求1所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，包括：升降销，用于支撑基板；所述升降销结合于所述销板；所述可变升降销位于从所述升降销间隔的位置。3.根据权利要求1或2所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，包括：所述切换部包括可旋转地结合于所述切换部件的结合部件；若所述切换部件切换至所述支撑模式，则由所述销板支撑所述切换部件，以与所述销板一同升降的同时升降所述结合部件；所述可变升降销结合于所述结合部件，以与所述结合部件一同升降。4.根据权利要求1或2所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，包括：所述切换部包括：切换凸起，从所述切换部件凸出形成；以及变动部件，旋转所述切换部件，以改变所述切换凸起面向的方向；所述销板包括：支撑部件，用于支撑所述切换凸起；以及通过孔，用于使所述切换凸起通过；所述变动部件切换至所述支撑模式，旋转所述切换部件，以使所述支撑部件支撑所述切换凸起；所述变动部件切换至所述解除模式，旋转所述切换部件，以使所述切换凸起插入于所述通过孔。5.根据权利要求4所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述销板分别包括多个所述支撑部件以及多个所述通过孔，以所述切换部件的旋转轴为中心交替配置所述支撑部件以及所述通过孔。6.根据权利要求4所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述支撑部件包括：支撑槽，插入所述切换凸起；第一诱导部件，诱导所述切换凸起插入于所述支撑槽；其中，所述支撑部件支撑插入于所述支撑槽的切换凸起；所述第一诱导部件包括第一诱导面，所述第一诱导面倾斜形成，越向所述支撑槽侧延伸高度越低；所述变动部件旋转所述切换部件，以使所述切换凸起安装在所述第一诱导面；若所述切换凸起安装在所述第一诱导面，则所述切换凸起沿着所述第一诱导面下降的同时进行旋转，进而插入于所述支撑槽。7.根据权利要求6所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述第一诱导部件包括用于支撑所述切换凸起的第一限制面；所述切换部件被支撑所述切换凸起的第一限制面限制旋转的同时上升，直至所述切换凸起位于比所述第一限制面更高的位置；所述变动部件使所述切换部件上升之后旋转所述切换部件，使所述切换凸起安装在所述第一诱导面，直至所述切换凸起位于比所述第一限制面更高的位置。8.根据权利要求4所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述支撑部件包括第二诱导部件，所述第二诱导部件诱导所述切换凸起插入于所述通过孔；所述第二诱导部件包括第二诱导面，所述第二诱导面倾斜形成，越向所述通过孔侧延伸高度越低；所述变动部件旋转所述切换部件，以使所述切换凸起安装在所述第二诱导面；若所述切换凸起安装在所述第二诱导面，则所述切换凸起沿着所述第二诱导面下降的同时进行旋转，进而插入于所述通过孔。9.根据权利要求8所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述第二诱导部件包括第二限制面，所述第二限制面用于支撑所述切换凸起；所述切换部件被支撑所述切换凸起的第二限制面限制旋转的同时上升，直至所述切换凸起位于比所述第二限制面更高的位置；所述变动部件是使所述切换部件上升之后旋转所述切换部件，以使所述切换凸起安装在所述第二诱导面，直至所述切换凸起位于比所述第二限制面更高的位置。10.根据权利要求4所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述支撑部件包括：第一诱导部件，诱导切换至所述支撑模式；以及第二诱导部件，诱导切换至所述解除模式；其中，所述第一诱导部件包括第一诱导面，所述第一诱导面倾斜形成，越向所述第二诱导部件侧延伸高度越低；所述变动部件旋转所述切换部件，以使所述切换凸起安装在所述第一诱导面；若所述切换凸起安装在所述第一诱导面，则所述切换凸起沿着所述第一诱导面下降的同时进行旋转，进而由所述第二诱导部件支撑所述切换凸起。11.根据权利要求10所述的掩膜对准装置用基板升降装置，其特征在于，所述第二诱导部件包括第二限制面，所述第二限制面用于支撑所述切换凸起；所述切换凸起沿着所述第一诱导面下降的同时进行旋转，进而由所述第二限制面支撑所述切换凸起，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金镇喆，裵莹宰，韩庆准，徐汉基，
申请(专利权)人：亚威科股份有限公司，DAS株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR