一种红外传感器以及红外信号强度的检测方法技术

本发明专利技术揭示一种红外传感器以及红外信号强度的检测方法。所述红外传感器包括：金属层；铁电材料层，设置于所述金属层的一侧；石墨烯材料层，设置于所述铁电材料层的远离所述金属层的一侧；电极层，设置于所述石墨烯材料层的远离所述铁电材料层的一侧；红外吸收层，设置于所述电极层远离所述石墨烯材料层的一侧；热传导层，设置于所述铁电材料层、石墨烯材料层以及电极层的外侧，且分别连接所述红外吸收层和所述金属层。该红外传感器可以有效地提高红外信号强度检测的灵敏度以及准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种红外传感器以及红外信号强度的检测方法
本专利技术涉及半导体领域，特别涉及一种红外传感器以及使用该红外传感器进行红外信号强度的检测方法。
技术介绍
红外传感器是用红外线为介质的测量系统，按探测机理可分成为光子探测和热探测。红外传感技术已经在现代科技、国防和工农业等领域获得了广泛的应用。现有利用热探测的方式进行红外信号强度检测的红外传感器中，通常具有灵敏度不高等问题，容易影响最终红外强度检测的准确性。目前，石墨烯材料由于其具有较高的载流子迁移率以及优异的光学特性而受到广泛的关注，本专利技术希望提供一种利用石墨烯材料制成的红外传感器，通过利用石墨烯材料的特性来提高红外传感器检测的灵敏度和准确度。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种红外传感器以及使用该红外传感器进行红外信号强度的检测方法。该红外传感器可以有效地提高红外信号强度检测的灵敏度以及准确度。根据本专利技术的一个方面提供一种红外传感器，所述红外传感器包括：金属层；铁电材料层，设置于所述金属层的一侧；石墨烯材料层，设置于所述铁电材料层的远离所述金属层的一侧；电极层，设置于所述石墨烯材料层的远离所述铁电材料层的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外传感器，其特征在于，所述红外传感器包括：金属层；铁电材料层，设置于所述金属层的一侧；石墨烯材料层，设置于所述铁电材料层的远离所述金属层的一侧；电极层，设置于所述石墨烯材料层的远离所述铁电材料层的一侧；红外吸收层，设置于所述电极层远离所述石墨烯材料层的一侧；热传导层，设置于所述铁电材料层、石墨烯材料层以及电极层的外侧，且分别连接所述红外吸收层和所述金属层。

【技术特征摘要】
1.一种红外传感器，其特征在于，所述红外传感器包括：金属层；铁电材料层，设置于所述金属层的一侧；石墨烯材料层，设置于所述铁电材料层的远离所述金属层的一侧；电极层，设置于所述石墨烯材料层的远离所述铁电材料层的一侧；红外吸收层，设置于所述电极层远离所述石墨烯材料层的一侧；热传导层，设置于所述铁电材料层、石墨烯材料层以及电极层的外侧，且分别连接所述红外吸收层和所述金属层。2.如权利要求1所述的红外传感器，其特征在于，所述电极层包括第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极设置于所述石墨烯材料层远离所述铁电材料层的一侧表面，且分别位于所述石墨烯材料层的两端。3.如权利要求1所述的红外传感器，其特征在于，所述金属层的面积大于等于所述铁电材料层的面积，且所述金属层的厚度均匀。4.如权利要求1所述的红外传感器，其特征在于，所述热传导层对所述红外吸收层形成支撑，所述红外吸收层和所述金属层之间形成一空腔，所述铁电材料层、石墨烯材料层以及电极层容置于所述空腔内。5.如权利要求1所述的红外传感器，其特征在于，所述热传导层和所述金属层一体...

【专利技术属性】
技术研发人员：康晓旭，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31