用于电镀机的传送系统技术方案

本申请公开了一种用于电镀机的传送系统（１０），该系统包括至少两行处理槽（１８ａ、１８ｂ、２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ），其执行相同处理过程并且彼此平行布置，第一穿梭单元（２６），其在处理槽（１８、，１８ｂ、２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ）的上游，以用于选择性地将衬底传送到两行处理槽（１８ａ、１８ｂ、２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ）的任意一个，和第二穿梭单元（２８），其在处理槽（１８ａ、１８ｂ、２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ）的下游，以用于选择性地接收在两行处理槽（１８ａ、１８ｂ、２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂ）的任意一个中被处理的衬底。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于电镀机的传送系统，其特征在于包括：至少两个处理槽，其彼此平行布置并且适于执行相同处理过程；第一传送单元，其在所述处理槽的上游并且适于选择性地将衬底传送到所述至少两个处理槽的任意一个；和第二传送单元，其在所述处理槽的下游并且适于选择性地接收在所述至少两个处理槽的任意一个中被处理的衬底。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志荣，李家立，陈嘉文，
申请(专利权)人：亚洲电镀器材有限公司，
类型：实用新型
国别省市：HK[中国|香港]