可调节晶圆定位组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节晶圆定位组件,其包括：环形阵列布置于机台的承载平台上的四个定位块(1)，所述定位块表面设置有刻度结构(2)，所述机台为曝光机台和涂胶显影机台之间的Relay机台，所述承载平台环形阵列设置有四个与定位块配合的矩形安装槽(3)，所述定位块滑动安装于所述矩形安装槽中，所述矩形安装槽的长度等于定位块的长度加上N个安装于矩形安装槽中且用于固定定位块的方形调节块(4)的整体厚度，N个方形调节块的厚度相同。其能够根据晶圆的尺寸进行前后位置调节。 1

【技术实现步骤摘要】
可调节晶圆定位组件
本技术涉及半导体集成电路制作领域，尤其是涉及一种可调节晶圆定位组件。
技术介绍
公开号为CN204243021U的技术专利公开了一种晶圆定位组件，包括尺寸相同的第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块，所述第一定位块、第二定位块、第三定位块、第四定位块均设置于同一圆周上；所述第一定位块设置于12点钟方向；所述第二定位块设置于3点钟方向；所述第三定位块设置于6点钟方向；所述第四定位块设置于9点钟方向；其中，所述第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块的表面均设置有刻度。针对relay的承载台上的晶圆的承载方式，在晶圆下部的承载平台上进行设置，通过其上具有的刻度可以直接在涂胶显影机的机械手臂把晶圆送到relay上时就测得传送的误差，减少两个机台校准时的步骤，省时省力。然而，四个定位块在安装就位后，无法再跟进晶圆的尺寸进行位置。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决上述问题，提供一种可调节晶圆定位组件，其能够根据晶圆的尺寸进行前后位置调节。为解决上述技术问题，本技术的实施方式提供了一种可调节晶圆定位组件,其包括：环形阵列布置于机台的承载平台上的四个定位块(1)，所述定位块表面设置有刻度结构(2)，所述机台为曝光机台和涂胶显影机台之间的Relay机台，所述承载平台环形阵列设置有四个与定位块配合的矩形安装槽(3)，所述定位块滑动安装于所述矩形安装槽中，所述矩形安装槽的长度等于定位块的长度加上N个安装于矩形安装槽中且用于固定定位块的方形调节块(4)的整体厚度，N个方形调节块的厚度相同。进一步，所述定位块的上表面与承载平台的上表面齐平。进一步，所述N的取值为10，当定位块安装于矩形安装槽中部时，矩形安装槽的前部空余部分和后部空余部分分别设置有五个方形调节块。进一步，所述方形调节块为铁块。本技术具有如下有益效果：定位块可以在矩形安装槽中前后滑动，当定位块向前滑动，则在矩形安装槽的前部取出相应数量的方形调节块，并对应移动到矩形安装槽的后部空余部分，反之，同理，整个调节过程可以以取走调节块的数量快速调整四个定位块的位置，调节效率高。附图说明图1为可调节晶圆定位组件示意图；图2为可调节晶圆定位组件调整后的状态图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本技术。本技术的第一实施方式提供了一种可调节晶圆定位组件,其包括：环形阵列布置于机台的承载平台上的四个定位块1，所述定位块表面设置有刻度结构2，所述机台为曝光机台和涂胶显影机台之间的Relay机台。前述结构以及如何进行晶圆定位可以参考公开号为CN204243021U的技术专利。继续参见图1，所述承载平台环形阵列设置有四个与定位块配合的矩形安装槽3，所述定位块滑动安装于所述矩形安装槽中，所述矩形安装槽的长度A等于定位块的长度L加上N个安装于矩形安装槽中且用于固定定位块的方形调节块4的整体厚度，N个方形调节块的厚度相同。例如，图1所述N的取值为10，则方形调节块4包括第一方形调节块a、第二方形调节块b、第三方形调节块c、第四方形调节块d、第五方形调节块e、第六方形调节块f、第七方形调节块g、第八方形调节块h、第九方形调节块i、第十方形调节块j，其中，第一方形调节块a、第二方形调节块b、第三方形调节块c、第四方形调节块d、第五方形调节块e安装于矩形安装槽的前部空余部分，第六方形调节块f、第七方形调节块g、第八方形调节块h、第九方形调节块i、第十方形调节块j位于矩形安装槽的后部空余部分，矩形安装槽靠近晶圆中心方形界定为前方。每个方形调节块的厚度是一致的。当定位块安装于矩形安装槽中部时，矩形安装槽的前部空余部分和后部空余部分分别设置有五个方形调节块。当需要晶圆尺寸较大，则将定位块朝向远离晶圆中心方形调整，例如，将矩形安装槽后部空余部分的方形调节块取出2个，即取出第九方形调节块f、第十方形调节块g，并安装到安装槽前部空余部分，状态参见图2。四个矩形安装槽对应取出相同数量的方形调节块以达到同步调整的目的，不用借助外部测量工具即可完成相同的前后距离调整。值得一提的是，所述定位块的上表面与承载平台的上表面齐平，如此可以最大限度降低定位块对于原工位的影响。方形调节块的高度可以略高于矩形安装槽的深度，如此则可以裸露部分在外面，以便于操作人员取拿方形调节块，而取拿方形调节块可以借助于镊子等工具，当然，所述方形调节块为铁块，此时，此时可以借助前部安装磁铁的工具进行吸附取拿作业。图1中示出了三个PIN撑起的晶圆T。需要注意的是，矩形安装槽的前端部不要过于靠近三根针(PIN)S，特殊情况下，可以靠近其中一根针进行布置，例如图示上方的针。此组件可以根据需要调整定位块的周径，也可以根据需要调整刻度结构的零度线与晶圆对齐的位置。本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本技术的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本技术的精神和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节晶圆定位组件,其包括：环形阵列布置于机台的承载平台上的四个定位

【技术特征摘要】
1.一种可调节晶圆定位组件,其包括：环形阵列布置于机台的承载平台上的四个定位块(1)，所述定位块表面设置有刻度结构(2)，所述机台为曝光机台和涂胶显影机台之间的Relay机台，其特征在于，所述承载平台环形阵列设置有四个与定位块配合的矩形安装槽(3)，所述定位块滑动安装于所述矩形安装槽中，所述矩形安装槽的长度等于定位块的长度加上N个安装于矩形安装槽中且用于固定定位块的方形调节块(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡韬，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31