一种基板支撑结构及蒸镀设备制造技术

本发明专利技术公开了一种基板支撑结构及蒸镀设备，涉及显示面板制造技术领域，可解决现有技术中在基板偏移时会导致破片而影响正常生产的问题。该基板支撑结构包括支撑件，所述支撑件用于支撑基板的边缘，所述支撑件上设有滑动件和定位件，所述滑动件与所述支撑件沿竖直方向滑动连接，所述定位件用于对所述滑动件进行定位，以使所述滑动件的顶端高于所述支撑件的支撑面，当所述滑动件向下挤压所述定位件时，所述定位件可允许所述滑动件向下滑动，随着所述滑动件的向下滑动，所述滑动件的顶端可低于或平齐于所述支撑件的支撑面。本发明专利技术用于支撑基板。

A substrate support structure and evaporation equipment

The invention discloses a substrate support structure and a steam plating device, which relates to the technical field of the display panel manufacturing, and can solve the problem that the broken piece will be caused by the offset of the substrate in the existing technology and affects the normal production. The base plate support structure includes a support part, which is used to support the edge of the substrate. The support part is provided with a sliding piece and a positioning piece. The sliding piece is connected in a vertical direction along the vertical direction, which is used for positioning the sliding piece so that the top of the slider is higher than the support. When the sliding piece is squeezed downward, the position piece may allow the sliding piece to slide down, and the tip of the slide part can be lower or flat on the support surface of the supporting part as the slide part slides downward. The present invention is used to support the base plate.

【技术实现步骤摘要】
一种基板支撑结构及蒸镀设备
本专利技术涉及显示面板制造
，尤其涉及一种基板支撑结构及蒸镀设备。
技术介绍
在OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示屏背板的制作过程中，通过机械手搬运基板的工艺较多，单单蒸镀方面就有很多的有机腔室，需要通过机械手将基板搬运进去，有机腔室内设有多个基板支撑结构，多个基板支撑结构用于支撑基板的一周，机械手将基板放上来之后，多个基板支撑结构带动基板上升，使基板贴在上方的散热板(CoolingPlate)上，然后再进行蒸镀工艺。现有技术中的基板支撑结构如图1和图2所示，参照图1，支撑面01用于支撑基板02的边缘，阻挡面03用于阻挡基板02的侧面，以对基板02在水平方向上进行限位；然而，在机械手搬运基板02的过程中，基板02因多种原因有可能会发生偏移，致使基板02会搭在基板支撑结构的顶面04上，参照图2，随后基板支撑结构带动基板02上升就会导致基板02与上方的散热板碰撞，进而导致破片，进而造成掩膜版损伤，影响正常生产。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种基板支撑结构及蒸镀设备，可解决现有技术中在基板偏移时会导致破片而影响正常生产的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：本专利技术实施例提供了一种基板支撑结构，包括支撑件，所述支撑件用于支撑基板的边缘，所述支撑件上设有滑动件和定位件，所述滑动件与所述支撑件沿竖直方向滑动连接，所述定位件用于对所述滑动件进行定位，以使所述滑动件的顶端高于所述支撑件的支撑面，当所述滑动件向下挤压所述定位件时，所述定位件可允许所述滑动件向下滑动，随着所述滑动件的向下滑动，所述滑动件的顶端可低于或平齐于所述支撑件的支撑面。进一步的，所述定位件为弹簧，所述弹簧一端与所述滑动件连接，另一端与所述支撑件连接，当所述弹簧呈原长状态时，所述弹簧可对所述滑动件进行定位，当所述滑动件向下挤压所述弹簧时，所述弹簧可发生弹性形变，以允许所述滑动件向下滑动。进一步的，所述支撑面上开设有安装槽，所述弹簧沿竖直方向设于所述安装槽内，所述弹簧的底端与所述安装槽连接，顶端与所述滑动件连接。进一步的，所述滑动件包括竖直板和水平板，所述竖直板位于所述支撑面上的支撑位置和所述水平板之间，所述水平板与所述竖直板的顶端连接。进一步的，所述弹簧的顶端与所述水平板的下表面连接，所述支撑面上对应所述竖直板的位置开设有避让槽。进一步的，所述水平板与所述竖直板的顶端通过斜板连接。进一步的，所述支撑面上对应所述竖直板的位置设有凹陷部。进一步的，所述弹簧为方形螺旋弹簧。进一步的，所述支撑件和所述滑动件均由ESDPEEK材料制作。本专利技术实施例还提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有多个上述任一技术方案所述的基板支撑结构，多个所述基板支撑机构用于支撑所述基板的一周。本专利技术实施例提供的基板支撑结构及蒸镀设备，由于包括支撑件，所述支撑件用于支撑基板的边缘，所述支撑件上设有滑动件和定位件，所述滑动件与所述支撑件沿竖直方向滑动连接，所述定位件用于对所述滑动件进行定位，以使所述滑动件的顶端高于所述支撑件的支撑面，因此可使所述滑动件能够阻挡基板的侧面，以对基板在水平方向上进行限位；又由于当所述滑动件向下挤压所述定位件时，所述定位件可允许所述滑动件向下滑动，随着所述滑动件的向下滑动，所述滑动件的顶端可低于或平齐于所述支撑件的支撑面，因此当基板因偏移而搭在滑动件上，且基板在基板支撑结构的带动下上升而与上方的散热板碰撞时，基板会向下挤压滑动件，从而使滑动件向下挤压定位件，此时定位件会允许滑动件向下滑动，直至滑动件的顶端低于或平齐于支撑件的支撑面，进而使基板下落至支撑件的支撑面(基板正常搭载的位置)上，进而避免了破片，也就避免了掩膜版损伤而影响正常生产的问题。附图说明图1为基板未偏移时现有技术中的基板支撑结构支撑基板的示意图；图2为基板偏移时现有技术中的基板支撑结构支撑基板的示意图；图3为本专利技术实施例基板支撑结构的剖视图；图4为本专利技术实施例基板支撑结构的俯视图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。参照图3和图4，本专利技术实施例提供了一种基板支撑结构，包括支撑件1，支撑件1用于支撑基板(图中未示出)的边缘，支撑件1上设有滑动件2和定位件3，滑动件2与支撑件1沿竖直方向滑动连接，定位件3用于对滑动件2进行定位，以使滑动件2的顶端高于支撑件1的支撑面A，当滑动件2向下挤压定位件3时，定位件3可允许滑动件2向下滑动，随着滑动件2的向下滑动，滑动件2的顶端可低于或平齐于支撑件1的支撑面A。本专利技术实施例提供的基板支撑结构，由于包括支撑件1，支撑件1用于支撑基板的边缘，支撑件1上设有滑动件2和定位件3，滑动件2与支撑件1沿竖直方向滑动连接，定位件3用于对滑动件2进行定位，以使滑动件2的顶端高于支撑件1的支撑面A，因此可使滑动件2能够阻挡基板的侧面，以对基板在水平方向上进行限位；又由于当滑动件2向下挤压定位件3时，定位件3可允许滑动件2向下滑动，随着滑动件2的向下滑动，滑动件2的顶端可低于或平齐于支撑件1的支撑面A，因此当基板因偏移而搭在滑动件2上，且基板在基板支撑结构的带动下上升而与上方的散热板(图中未示出)碰撞时，基板会向下挤压滑动件2，从而使滑动件2向下挤压定位件3，此时定位件3会允许滑动件2向下滑动，直至滑动件2的顶端低于或平齐于支撑件1的支撑面A，进而使基板下落至支撑件1的支撑面A(基板正常搭载的位置)上，进而避免了破片，也就避免了掩膜版损伤而影响正常生产的问题。定位件3的实施方式较多，例如，定位件3可以包括支撑于滑动件2下方的定位块(图中未示出)，定位块的侧面通过弹性件(图中未示出)与支撑件1连接，当滑动件2未向下挤压定位块时，定位块可支撑住滑动件2，从而对滑动件2进行定位，当滑动件2向下挤压定位块时，定位块可压缩一侧的弹性件并从滑动件2的下方移出，从而允许滑动件2向下滑动；而本实施例优选定位件3为弹簧，弹簧一端与滑动件2连接，另一端与支撑件1连接，当弹簧呈原长状态时，弹簧可对滑动件2进行定位，当滑动件2向下挤压弹簧时，弹簧可发生弹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板支撑结构，其特征在于，包括支撑件，所述支撑件用于支撑基板的边缘，所述支撑件上设有滑动件和定位件，所述滑动件与所述支撑件沿竖直方向滑动连接，所述定位件用于对所述滑动件进行定位，以使所述滑动件的顶端高于所述支撑件的支撑面，当所述滑动件向下挤压所述定位件时，所述定位件可允许所述滑动件向下滑动，随着所述滑动件的向下滑动，所述滑动件的顶端可低于或平齐于所述支撑件的支撑面。

【技术特征摘要】
1.一种基板支撑结构，其特征在于，包括支撑件，所述支撑件用于支撑基板的边缘，所述支撑件上设有滑动件和定位件，所述滑动件与所述支撑件沿竖直方向滑动连接，所述定位件用于对所述滑动件进行定位，以使所述滑动件的顶端高于所述支撑件的支撑面，当所述滑动件向下挤压所述定位件时，所述定位件可允许所述滑动件向下滑动，随着所述滑动件的向下滑动，所述滑动件的顶端可低于或平齐于所述支撑件的支撑面。2.根据权利要求1所述的基板支撑结构，其特征在于，所述定位件为弹簧，所述弹簧一端与所述滑动件连接，另一端与所述支撑件连接，当所述弹簧呈原长状态时，所述弹簧可对所述滑动件进行定位，当所述滑动件向下挤压所述弹簧时，所述弹簧可发生弹性形变，以允许所述滑动件向下滑动。3.根据权利要求2所述的基板支撑结构，其特征在于，所述支撑面上开设有安装槽，所述弹簧沿竖直方向设于所述安装槽内，所述弹簧的底端与所述安装槽连接，顶端与所述滑动件连接。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷春生，关立伟，张金中，王利娜，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古,15