一种旋转体镀膜夹具制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种旋转体镀膜夹具
本技术涉及一种旋转体镀膜夹具，特别是用于离子镀、PVD、CVD等靶材蒸镀或溅射表面涂镀技术专用夹具。
技术介绍
目前，旋转体类零件在进行离子镀、蒸镀、PVD、CVD等靶材类蒸镀或溅射表面技术进行应用时，零件静止放置在密闭的腔体中，腔体有一中心柱旋转，带动腔体内转盘或挂钩进行旋转。靶材受到能量激发，蒸镀或溅射在零件表面，形成表面镀层。零件在腔体中往往只能涂镀一面，存在“阴阳”面的现象。解决办法往往只能二次涂镀，即使二次涂镀对旋转体类零件在其圆周方向上也存在镀层不均匀的现象。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种解决旋转体零件涂镀不均匀问题的装置，具体技术方案如下：一种旋转体镀膜夹具，涂镀密闭空间中设置转盘，所述转盘与转轴固定，转轴与涂镀密闭空间外的电机输出轴连接；所述转盘上设置多组托盘，所述托盘的外缘均设置齿轮，其中，靠近转盘最外侧的托盘为驱动托盘，所述驱动托盘的齿轮超出转盘的外侧边缘并与档杆啮合，所述档杆固定且外侧设置与齿轮相应的齿牙，所述驱动托盘的齿轮与其它托盘的齿轮依次啮合，形成转动装置。为便于同时加工多个工件，所述托盘的中心设置固定杆，工件穿套在所述固定杆上。为合理排列转盘的平面空间及保证托盘间的啮合，所述转盘上设置多个转动装置。为调整公转一圈时托盘的自转角度，所述档杆为多个，沿转盘的圆周排列；所述档杆可以设置调整装置以保证沿转盘的径向进行调节，适应托盘不同角度的自转；所述调整装置包括沿转盘的径向设置的滑道，滑道上设置滑座，档杆固定在滑座上，所述滑座与调整杆固定；所述调整杆与设置在涂镀密闭空间外的把手固定，并沿滑道方向来回运动。本技术的优...
【技术保护点】
一种旋转体镀膜夹具，其特征在于：涂镀密闭空间中设置转盘，所述转盘与转轴固定，转轴与涂镀密闭空间外的电机输出轴连接；所述转盘上设置多组托盘，所述托盘的外缘均设置齿轮，其中，靠近转盘最外侧的托盘为驱动托盘，所述驱动托盘的齿轮超出转盘的外侧边缘并与档杆啮合，所述档杆固定且外侧设置与齿轮相应的齿牙，所述驱动托盘的齿轮与其它托盘的齿轮依次啮合，形成转动装置。
【技术特征摘要】
1.一种旋转体镀膜夹具，其特征在于：涂镀密闭空间中设置转盘，所述转盘与转轴固定，转轴与涂镀密闭空间外的电机输出轴连接；所述转盘上设置多组托盘，所述托盘的外缘均设置齿轮，其中，靠近转盘最外侧的托盘为驱动托盘，所述驱动托盘的齿轮超出转盘的外侧边缘并与档杆啮合，所述档杆固定且外侧设置与齿轮相应的齿牙，所述驱动托盘的齿轮与其它托盘的齿轮依次啮合，形成转动装置。2.根据权利要求1所述的旋转体镀膜夹具，其特征在于：所述托盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔静萍，那帅，林静，萨仁格日乐，蔡云秀，
申请(专利权)人：沈阳博帅材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。