辊到辊制造设备和处理柔性膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种辊到辊制造设备和一种处理柔性膜的方法，该辊到辊制造设备包括：真空室，其具有安装室和工艺室；在安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性；在工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕膜；在工艺室中的工艺处理单元，通过对卷绕在工艺筒上的膜进行CVD工艺来形成层；以及在安装室和工艺室中的多个加热器，用于逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度，以防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。

Roll to roll manufacturing equipment and method of handling flexible membrane

The invention discloses a roll to roll manufacturing device and a method for processing a flexible membrane, which includes a vacuum chamber with an installation room and a process chamber; a preprocessing unit in the installation room is used to process the surface of the transmitted film to enhance the film characteristics in the subsequent CVD process; in the process chamber. A process tube, used in a winding film on it; a process unit in a process chamber, forming a layer by a CVD process winding the membrane on the process barrel; and a number of heaters in the installation room and process chamber to gradually increase the temperature of the film winding on the process cylinder to prevent the Mo Shi from the high temperature process cylinder. Heat shock.

【技术实现步骤摘要】
辊到辊制造设备和处理柔性膜的方法相关申请的交叉引用本申请要求于2016年11月28日提交的韩国申请第10-2016-0159702号的在先申请日的权益以及该韩国申请的优先权的权利，以上申请的全部内容通过引用并入本文中。
本说明书涉及能够快速且连续地执行工艺并且能够防止热冲击被施加到韧性基底的辊到辊制造设备。
技术介绍
近来，正在开发使用诸如塑料基底的韧性基底的柔性显示装置，以增强便携性和便利性。这种柔性显示装置以下述方式制造。首先，将由诸如聚酰亚胺的塑料材料形成的基底附接到由玻璃形成的母基底上。然后，通过包括TFT工艺的各种工艺在母基底上形成多个显示面板，然后以显示面板为单元切割母基底并且将塑料基底与母基底分离。然而，制造这种柔性显示装置的常规方法具有以下问题。近来，积极进行研究以降低通过连续的内联工艺来制造显示装置而带来的昂贵的显示装置的制造成本。然而，在将塑料基底附接到玻璃母基底上的情况下，需要大面积的昂贵的玻璃基底。这可能会使制造成本增加，并且由于塑料基底和玻璃基底应当彼此附接并且随后彼此分离因此需要额外的装备和工艺。因此，整个制造成本增加。此外，即使在大的母玻璃基底上形成有多个显示面板，在母基底的单个单元中仍执行工艺。因此，不能执行连续的内联工艺。
技术实现思路
因此，详细描述的一个方面提供了一种能够通过在膜上形成显示面板而快速且连续地执行内联工艺的辊到辊制造设备，其中，膜在辊之间进行传送。详细描述的另一个方面是提供一种能够通过逐渐增加卷绕在高温工艺筒上的膜的温度来防止由于从工艺筒施加到膜上的热冲击而在膜上出现褶皱的辊到辊制造设备。为了实现这些及其他优点并且根据本说明书的目的，如本文中所实施和广泛描述的，提供了一种辊到辊制造设备，该辊到辊制造设备包括具有安装室和工艺室的真空室。预处理单元被布置在安装室中并且被配置成处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性。工艺筒被设置在工艺室中并且被配置成在其上卷绕有膜。工艺处理单元设置在工艺室中并且被配置成通过对卷绕在工艺筒上的膜执行CVD工艺来形成层。多个加热器被设置在安装室和工艺室中并且被配置成逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度，从而防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。加热器可以以一个或多个安装在安装室中，并且可以以多个安装在工艺室中。安装室的预处理单元通过等离子气体处理膜的表面。第一真空泵和第二真空泵分别设置在安装室和工艺室处，以使得预处理等离子体气体仅在安装室中流动，而不被引入工艺室。这可以防止由预处理等离子体气体与用于CVD的等离子体气体的混合引起的劣化的CVD工艺。在本公开内容的辊到辊制造设备中，所有的工艺可以是连续的内联辊到辊工艺，每个辊到辊工艺都连接至先前的工艺和下一个工艺。在这种情况下，安装室包括：入口，通过该入口实时输入从先前的工艺区域传送的膜；以及出口，已经经历了处理的膜通过该出口实时输出到下一个工艺区域。在根据本公开内容的辊到辊制造设备中，仅相应的工艺可以是与先前的工艺和下一个工艺分离的辊到辊工艺。在这种情况下，安装室包括：膜供应辊，用于向工艺室供应膜；膜收集辊，用于收集从工艺室传送的膜；保护膜分离辊，用于分离附接到膜上的保护膜；保护膜收集辊，用于收集分离的保护膜；保护膜供应辊，用于向从工艺室传送的膜供应保护膜；以及保护膜附接辊，用于将所供应的保护膜附接到膜上。本公开的效果在本公开内容中，在通过多个加热器逐渐增加膜的温度后，将膜卷绕在高温工艺筒上。这大大降低了对膜的热冲击，从而防止了由于这种热冲击而在膜上出现褶皱。此外，第一真空泵和第二真空泵分别设置在安装室和工艺室中，以使得供应到安装室的预处理等离子体气体不被引入工艺室，而是仅通过第一真空泵被排放到外部。由于预处理等离子体气体不与处理等离子体气体混合，所以可以防止由于气体混合而引起的劣质膜。根据下文给出的详细描述，本申请的另外的适用范围将变得更加明显。然而，应当理解的是，尽管指出了本公开内容的优选实施方式，但是详细描述和具体示例仅仅是以示例的方式给出的，因为对于本领域技术人员而言，在本公开内容的精神和范围内的各种改变和修改将从详细的描述中变得明显。附图说明被包括以提供对本公开内容的进一步理解并且被并入本说明书中且构成本说明书的一部分的附图示出了示例性实施方式，并且附图与说明书一起用于解释本公开内容的原理。在附图中：图1是示出用于制造有机电致发光装置的方法的流程图；图2是示出用于制造有机电致发光装置的薄膜晶体管(TFT)的方法的流程图；图3是示出根据本公开内容的第一实施方式的辊到辊制造设备的图；图4A和图4B是示出图3的辊到辊制造设备的预处理单元的图；图5是示出图3的辊到辊制造设备的热处理单元的图；图6是示出使用图3的辊到辊制造设备的制造工艺的流程图；以及图7是示出根据本公开内容的第二实施方式的辊到辊制造设备的图。具体实施方式在下文中，将参照所附附图对本公开内容进行更详细的说明。在本公开内容中，不是以依赖于将诸如塑料基底的韧性基底附接到由玻璃形成的母基底上的方式而是以辊到辊的方式来制造柔性显示装置。即，柔性显示装置是通过实施呈膜形式的塑料韧性基底、将膜卷绕在两个辊上、并且然后在辊之间传送膜来制造。由于在本公开内容中不需要将韧性基底附接到昂贵的玻璃母基底上的工艺以及将韧性基底与玻璃母基底分离的工艺，因此可以降低制造成本并且可以简化制造工艺。此外，由于可以在膜被连续传送的同时执行制造工艺，因此可以在狭窄的空间中快速执行内联工艺。在下文中，将以具体的显示装置为例对根据本公开内容的辊到辊制造设备进行说明。然而，根据本公开内容的辊到辊制造设备可以适用于所有类型的显示装置以及这种具体的显示装置。此外，根据本公开内容的辊到辊制造设备可以适用于所有设备，甚至使用或形成金属图案的设备，比如包括有机发光装置的照明设备。图1是示意性地示出了用于制造有机电致发光装置的方法的流程图。如图1所示，使限定像素区域的多条栅极线和数据线沿长度方向形成在膜上，在该膜中，显示面板形成为单行或多行。使薄膜晶体管(TFT)、连接至栅极线和数据线的驱动装置形成在每个像素区域处(S101)。然后，将诸如铟锡氧化物(ITO)或铟锌氧化物(IZO)的透明金属氧化物层压在每个像素区域上并对该透明金属氧化物进行蚀刻，从而形成阳极(S102)。然后，将有机发光材料沉积在整个显示面板上，从而形成有机发光层(S103)。然后，将金属层压在有机发光层上并对该金属进行蚀刻，从而形成阴极并形成有机发光装置(S104)。然后，将密封剂层压以完成有机电致发光装置。这样的有机电致发光装置可以通过借助于单个辊到辊工艺线以连续的内联方式执行制造工艺来制造，或者通过借助于单个辊到辊工艺线以连续的内联方式执行一些制造工艺来制造。替代性地，这样的有机电致发光装置可以以单一的内联方式制造，这是因为用于执行各个工艺的多个辊到辊工艺线被彼此组合。图2是示出在图1所示的制造工艺中的用于制造有机电致发光装置的薄膜晶体管(TFT)的方法的流程图。如图2所示，通过诸如溅射的沉积方法在基底上层压金属层，然后对该金属层进行蚀刻，从而形成栅电极(S201)。然后，在形成有栅电极的整个基底上层压诸如SiOx或SiNx的无机绝缘材料，从而形成栅极绝缘层(S202)。然本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种辊到辊制造设备，包括：真空室，所述真空室具有安装室和工艺室；在所述安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面；在所述工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕所述膜；在所述工艺室中的工艺处理单元，用于处理卷绕在所述工艺筒上的所述膜；以及在所述安装室和所述工艺室中的至少一个中的多个加热器，用于逐渐地增加卷绕在所述工艺筒上的所述膜的温度。

【技术特征摘要】
2016.11.28 KR 10-2016-01597021.一种辊到辊制造设备，包括：真空室，所述真空室具有安装室和工艺室；在所述安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面；在所述工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕所述膜；在所述工艺室中的工艺处理单元，用于处理卷绕在所述工艺筒上的所述膜；以及在所述安装室和所述工艺室中的至少一个中的多个加热器，用于逐渐地增加卷绕在所述工艺筒上的所述膜的温度。2.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述加热器包括：在所述安装室中的至少一个第一加热器；以及在所述工艺室中的至少一个第二加热器。3.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述加热器包括红外线灯。4.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，还包括在所述工艺筒处的筒加热器。5.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述工艺处理单元是使用等离子气体的CVD加工器。6.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述预处理单元通过使用等离子体气体处理膜的表面。7.根据权利要求6所述的辊到辊制造设备，还包括：在所述安装室中的第一真空泵，用于使所述安装室内部为真空；以及在所述工艺室中的第二真空泵，用于使所述工艺室内部为真空，其中，所述预处理单元使用的所述等离子体气体被引入到所述安装室中并且通过所述第一真空泵排放到外部。8.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述安装室包括：入口，通过所述入口实时输入从先前的工艺区域传送的膜；以及出口，已经经历了处理的膜通过所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆升炫，鞠允镐，崔诚祐，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR