用于平板式PECVD设备的盖板开启机构制造技术

本实用新型专利技术涉及平板式PECVD设备，旨在提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。包括安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂，提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂与提升拉臂安装座相接触，该两个接触位置各设置一组电气‑机械限位保护组件；每组电气‑机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，前者通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵。该产品的结构非常紧凑，工作效率高；通过设置有限位保护装置，能保证盖板完全开启或关闭后自动切断液压系统，保护液压系统和机械结构不被损坏；采用液压缸作为动力源，成本优势明显。

Cover plate opening mechanism for flat PECVD equipment

The utility model relates to a flat PECVD device, which aims to provide a cover plate opening mechanism for a flat type PECVD device. Includes the installation of the lift arm mounting seat lift arm, lift arm through the movable hinge and central lift arm mounting seat is connected to the connection, and as the lifting arm pull rotation axis; when the lift arm are respectively positioned on the rotating stroke initiation and termination position, lift arm and lift arm install seat contact, the two contact positions are respectively provided with a group of electrical mechanical limit protection components; each electrical mechanical limit protection component comprises an electrical limit switch and at least one mechanical limit block, the former is connected to the driving hydraulic pump double acting hydraulic cylinder through the wire. The structure of the product is very compact, high working efficiency; by setting the limit protection device can automatically cut off the hydraulic system to ensure the cover fully open or fully closed, the protection of hydraulic system and mechanical structure can not be damaged; the hydraulic cylinder as the power source, the cost advantage is obvious.

【技术实现步骤摘要】
用于平板式PECVD设备的盖板开启机构
本技术涉及平板式PECVD设备，具体涉及一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。
技术介绍
近年来，为了降低太阳能电池的成本，硅片的厚度不断降低，但是随着硅片厚度的减薄，少数载流子的扩散长度可能接近或大于硅片的厚度，部分少数载流子将会扩散到电池背面而产生复合，这将对电池效率产生重要影响。因此，为了提高电池片的转换效率，需要在电池片表面镀减反射膜。目前镀减反射膜主要采用PECVD方法(等离子体增强化学气相沉积技术，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)。PECVD方法能起到钝化的作用，降低电池片背面复合速率。PECVD方法是制备减反膜方法中最为成熟，操作也较为简单，能够实现全自动化生产。目前的PECVD设备主要有两种，一种是管式PECVD设备，这种设备采用的工作方法是在单一腔室内连续实现镀减反膜的一系列过程；另一种是板式PECVD设备，这种设备能够实现连续生产，产能也很高。平板式PECVD盖板重量大，开启过程非连续动作，且开启机构安装空间紧凑，为开启机构的设计安装带来麻烦。因此需设计合适的开启机构，既满足本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于平板式PECVD设备的盖板开启机构，包括双作用液压缸，以及安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂；双作用液压缸的推杆与提升拉臂、提升板和盖板依次连接，连接处设活动铰链；其特征在于，提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂分别与位于提升拉臂安装座两侧的接触位置相接，在该两个接触位置处各设置一组电气‑机械限位保护组件；每组电气‑机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，电气限位开关通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵；在提升拉臂转动并接近提升拉臂安装座的过程中，将先触发电气限位开关，再与...

【技术特征摘要】
1.用于平板式PECVD设备的盖板开启机构，包括双作用液压缸，以及安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂；双作用液压缸的推杆与提升拉臂、提升板和盖板依次连接，连接处设活动铰链；其特征在于，提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂分别与位于提升拉臂安装座两侧的接触位置相接，在该两个接触位置处各设置一组电气-机械限位保护组件；每组电气-机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，电气限位开关通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵；在提升拉臂转动并接近提升拉臂安装座的过程中，将先触发电气限位开关，再与机械限位块接触。2.根据权利要求1所述的盖板开启机构，其特征在于，所述电气限位开关和机械限位块安装方式是下述的任意一种：(1)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂上；(2)电气限位开关和一个机械限位块均...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，石刚，洪昀，高振波，王伟星，祝广辉，吴威，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33