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本实用新型涉及平板式PECVD设备，旨在提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。包括安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂，提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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