连续式沉积装置制造方法及图纸

一种连续式沉积装置，其包含：第一固持腔室，其包含第一固持组件，其设置于第一固持腔室内；第一泵浦，其与第一固持腔室连接，以调整第一固持腔室的压力；第二固持腔室，其包含第二固持组件，其设置于第二固持腔室内，其中卷材的两端分别固定于第一固持组件以及第二固持组件；第二泵浦，其与第二固持腔室连接，以调整第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的反应腔室与第一固持腔室连接，下游侧的反应腔室与第二固持腔室连接，使卷材连续地通过多个反应腔室，且多个反应腔室分别提供反应物沉积于该卷材上。

【技术实现步骤摘要】
连续式沉积装置
本技术是有关一种沉积装置，特别是有关于一种连续式沉积装置。
技术介绍
气相沉积制程在各种领域中均被广泛的应用，其中，在化学气相沉积反应中，是将一种或多种不同的前驱物暴露于基材表面以产生化学反应而进行沉积，一般来说，为了获得高纯度的产物，在沉积反应中调整压力是用于将不需要的气体去除，以避免产生非必要的反应而获得杂质，因此在不同的反应物沉积过程中，常需要进行反复的抽真空/破真空步骤。然而，在沉积制程的研发中，目前有需要在同一基材上进行多种反应物的沉积反应，若以传统方法反复进行抽真空/破真空步骤，则可能需要耗费较多时间，且亦将制程步骤复杂化。若能提供一种能连续性的执行多种沉积制程的装置，应可有利于时间成本的节省并提升产率。
技术实现思路
本技术提供一种连续式沉积装置，通过将多个沉积腔室相互结合，以达到连续化制程的目的，可避免传统制程需要反复进行抽真空/破真空的步骤，因而可节省制程时间，增进经济效益。本技术提供一种连续式沉积装置，其包含：第一固持腔室，其包含第一固持组件，其设置于第一固持腔室内；第一泵浦，其与第一固持腔室连接，以调整第一固持腔室的压力；第二固持腔室，其包含第二固持组件，其设置于第二固持腔室内，其中卷材的两端分别固定于第一固持组件以及第二固持组件；第二泵浦，其与第二固持腔室连接，以调整第二固持腔室的压力；多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的反应腔室与第一固持腔室连接，下游侧的反应腔室与第二固持腔室连接，使卷材连续地通过多个反应腔室，且多个反应腔室分别提供反应物沉积于该卷材上。以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本技术的目的、
技术实现思路
、特点及其所达成的功效。【附图说明】图1为根据本技术实施例的连续式沉积装置的示意图。图2为根据本技术另一实施例的连续式沉积装置的部分示意图。图3A及图3B为根据本技术另一实施例的连续式沉积装置的示意图。【符号说明】11第一固持腔室12第二固持腔室21第一固持组件22第二固持组件23第三固持组件30、31、32、33反应腔室40卷材50温度调整单元60缓冲腔室100连续式沉积装置101第一泵浦102第二泵浦103第三泵浦301排气口302连接件303对边组件304张力控制组件305闸门【具体实施方式】以下将详述本技术的各实施例，并配合图式作为例示。除了该多个详细说明之外，本技术亦可广泛地施行于其它的实施例中，任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本技术的范围内，并以申请专利范围为准。在说明书的描述中，为了使读者对本技术有较完整的了解，提供了许多特定细节；然而，本技术可能在省略部分或全部特定细节的前提下，仍可实施。此外，众所周知的步骤或组件并未描述于细节中，以避免对本技术形成不必要的限制。图式中相同或类似的组件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是，图式仅为示意之用，并非代表组件实际的尺寸或数量，有些细节可能未完全绘出，以求图式的简洁。请参照图1，本技术一实施例的连续式沉积装置100包含第一固持腔室11、第二固持腔室12、以及多个反应室30。其中，第一固持腔室11包含第一固持组件21设置于其中，且第一固持腔室11连接有第一泵浦101以用于调整第一固持腔室11的压力。第二固持腔室12包含第二固持组件22设置于其中，且第二固持腔室12连接有第二泵浦102以用于调整第二固持腔室12的压力。其中，卷材40的两端是分别地固定于第一固持组件21及第二固持组件22，且连续式沉积装置100可更包含至少一第三固持组件23于各反应腔室31、32、33中，以支撑通过反应腔室的卷材。其中，第三固持组件23是例示性的绘示为滚轮，然本技术并不限制于此，其可为任何用于支撑卷材的形状或组件。多个反应腔室30可彼此相互连接，其中，上游侧的反应腔室30可与第一固持腔室11连接，而下游侧的反应腔室30可与第二固持腔室12连接，以使卷材40连续地通过多个反应腔室30。多个反应腔室是用于分别地提供反应物(图未示)于卷材40上。在本技术的实施例中，多个反应腔室可进行化学气相沉积反应或物理气相沉积反应。需注意的是，在图式中，反应腔室是例示性的绘示为三个，然，本技术并不以此为限制，反应腔室的数目可依制程需求而增加或减少，而有关于反应腔室数量的调整，将于后文中详加说明。需说明的是，卷材可包含由天然纤维、人造纤维、无纺布、滤网、合成皮、真皮、聚乙烯对苯二甲酸酯(PolyethyleneTerephthalate，PET)、热塑性聚胺基甲酸酯(ThermoplasticPolyurethane,TPU)、聚氯乙烯(PolyVinylChloride，PVC)、聚丙烯(Polypropylene，PP)、或聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，PTFE)等所制成的带状材料，其可连续式由第一固持腔室传送通过多个反应腔室而到达第二固持腔室。举例而言，卷材可通过轨道、滚轮等方式连续式的被传送。值得一提的是，本技术的连续式沉积装置中的反应腔室并非各自封闭，而是相互连通的，借此可用于带状材料的连续沉积。在本技术之一实施例中，多个反应腔室30的至少其中之一可包含温度调整单元50，可于卷材40连续式的通过反应腔室30时调整卷材40的温度。举例而言，温度调整单元50可为加热器或冷凝器以加热或降温卷材40。在本技术的连续式沉积装置中，多个反应腔室30所提供的反应物可相异。举例而言，当需沉积不同反应物于卷材上时，反应腔室31可提供第一反应物于卷材上，反应腔室32可提供第二反应物于卷材上，而反应腔室33可提供第三反应物于卷材上。在本技术的另一实施例中，多个反应腔室30所提供的反应物可部分相同。举例而言，反应腔室31可提供第一反应物于卷材上，反应腔室32可提供第二反应物于卷材上，而反应腔室33可提供第一反应物于卷材上。于此，反应物的种类可依使用者需求而调整。当相邻的反应腔室所提供的反应物相异时，为了防止反应物之间的污染，多个反应腔室的至少其中一个可包含排气口301，其设置于每一反应腔室的出口端，可用于排出未沉积于卷材的反应物，避免交叉污染或干扰后续制程。另外一方面，当沉积不同反应物于卷材上时，其所使用的反应条件亦可能相异，故本技术的连续式沉积装置更可包含第三泵浦103，其可连接于多个反应腔室的至少其中之一上，以用于调整多个反应腔室的至少其中之一的压力，因此，多个反应腔室的压力可相同、相异或部分相同。在本技术的连续式沉积装置中，反应腔室30可更包含连接件302，可使多个反应腔室30的每一者以可拆卸的方式连接第一固持腔室、第二固持腔室或另一反应腔室。借由上述连接件的设置，可以模块化的方式调整反应腔室的数量，因而可方便于依制程需求增加或减少反应腔室。在本技术的连续式沉积装置中，第一固持腔室11及第二固持腔室12中可各别地包含一对边组件303以使卷材40的两端相互对齐，举例而言，对边组件303可包含对边电眼；此外，在本技术的连续式沉积装置中，第一固持腔室11及第二固持腔室12各别地包含张力控制组件304以控制卷材40的张力。在本技术的另一实施例中，连续式沉积装置更本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续式沉积装置，其特征在于，包含：一第一固持腔室，其包含一第一固持组件，其设置于该第一固持腔室内；一第一泵浦，其与该第一固持腔室连接，以调整该第一固持腔室的压力；一第二固持腔室，其包含一第二固持组件，其设置于该第二固持腔室内，其中一卷材的两端分别固定于该第一固持组件以及该第二固持组件；一第二泵浦，其与该第二固持腔室连接，以调整该第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的该反应腔室与该第一固持腔室连接，下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室连接，使该卷材连续地通过该多个反应腔室，且该多个反应腔室分别提供一反应物沉积于该卷材上。

【技术特征摘要】
1.一种连续式沉积装置，其特征在于，包含：一第一固持腔室，其包含一第一固持组件，其设置于该第一固持腔室内；一第一泵浦，其与该第一固持腔室连接，以调整该第一固持腔室的压力；一第二固持腔室，其包含一第二固持组件，其设置于该第二固持腔室内，其中一卷材的两端分别固定于该第一固持组件以及该第二固持组件；一第二泵浦，其与该第二固持腔室连接，以调整该第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的该反应腔室与该第一固持腔室连接，下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室连接，使该卷材连续地通过该多个反应腔室，且该多个反应腔室分别提供一反应物沉积于该卷材上。2.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室至少其中之一包含一温度调整单元，用以调整该卷材的温度。3.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含：至少一第三泵浦，其连接于该多个反应腔室至少其中之一，以调整该多个反应腔室至少其中之一的压力。4.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室至少其中之一包含一排气口，其设置于该反应腔室之一出口端。5.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含：一缓冲腔室，其连接于该多个反应腔室之间或下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室之间。6.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该反应腔室包含一连接件，使该反应腔室以可拆卸的方式连接该第一固持腔室、该第二固持腔室或另...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏暐民，张博杰，陈明琳，
申请(专利权)人：杰有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71