连续式沉积装置制造方法及图纸

一种连续式沉积装置，其包含：第一固持腔室，其包含第一固持组件，其设置于第一固持腔室内；第一泵浦，其与第一固持腔室连接，以调整第一固持腔室的压力；第二固持腔室，其包含第二固持组件，其设置于第二固持腔室内，其中卷材的两端分别固定于第一固持组件以及第二固持组件；第二泵浦，其与第二固持腔室连接，以调整第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的反应腔室与第一固持腔室连接，下游侧的反应腔室与第二固持腔室连接，使卷材连续地通过多个反应腔室，且多个反应腔室分别提供反应物沉积于该卷材上。

【技术实现步骤摘要】
连续式沉积装置
本技术是有关一种沉积装置，特别是有关于一种连续式沉积装置。
技术介绍
气相沉积制程在各种领域中均被广泛的应用，其中，在化学气相沉积反应中，是将一种或多种不同的前驱物暴露于基材表面以产生化学反应而进行沉积，一般来说，为了获得高纯度的产物，在沉积反应中调整压力是用于将不需要的气体去除，以避免产生非必要的反应而获得杂质，因此在不同的反应物沉积过程中，常需要进行反复的抽真空/破真空步骤。然而，在沉积制程的研发中，目前有需要在同一基材上进行多种反应物的沉积反应，若以传统方法反复进行抽真空/破真空步骤，则可能需要耗费较多时间，且亦将制程步骤复杂化。若能提供一种能连续性的执行多种沉积制程的装置，应可有利于时间成本的节省并提升产率。
技术实现思路
本技术提供一种连续式沉积装置，通过将多个沉积腔室相互结合，以达到连续化制程的目的，可避免传统制程需要反复进行抽真空/破真空的步骤，因而可节省制程时间，增进经济效益。本技术提供一种连续式沉积装置，其包含：第一固持腔室，其包含第一固持组件，其设置于第一固持腔室内；第一泵浦，其与第一固持腔室连接，以调整第一固持腔室的压力；第二固持腔室，其包含本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续式沉积装置，其特征在于，包含：一第一固持腔室，其包含一第一固持组件，其设置于该第一固持腔室内；一第一泵浦，其与该第一固持腔室连接，以调整该第一固持腔室的压力；一第二固持腔室，其包含一第二固持组件，其设置于该第二固持腔室内，其中一卷材的两端分别固定于该第一固持组件以及该第二固持组件；一第二泵浦，其与该第二固持腔室连接，以调整该第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的该反应腔室与该第一固持腔室连接，下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室连接，使该卷材连续地通过该多个反应腔室，且该多个反应腔室分别提供一反应物沉积于该卷材上。

【技术特征摘要】
1.一种连续式沉积装置，其特征在于，包含：一第一固持腔室，其包含一第一固持组件，其设置于该第一固持腔室内；一第一泵浦，其与该第一固持腔室连接，以调整该第一固持腔室的压力；一第二固持腔室，其包含一第二固持组件，其设置于该第二固持腔室内，其中一卷材的两端分别固定于该第一固持组件以及该第二固持组件；一第二泵浦，其与该第二固持腔室连接，以调整该第二固持腔室的压力；以及多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的该反应腔室与该第一固持腔室连接，下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室连接，使该卷材连续地通过该多个反应腔室，且该多个反应腔室分别提供一反应物沉积于该卷材上。2.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室至少其中之一包含一温度调整单元，用以调整该卷材的温度。3.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含：至少一第三泵浦，其连接于该多个反应腔室至少其中之一，以调整该多个反应腔室至少其中之一的压力。4.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室至少其中之一包含一排气口，其设置于该反应腔室之一出口端。5.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含：一缓冲腔室，其连接于该多个反应腔室之间或下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室之间。6.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该反应腔室包含一连接件，使该反应腔室以可拆卸的方式连接该第一固持腔室、该第二固持腔室或另...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏暐民，张博杰，陈明琳，
申请(专利权)人：杰有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71