下载连续式沉积装置的技术资料

文档序号:17367102

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一种连续式沉积装置,其包含:第一固持腔室,其包含第一固持组件,其设置于第一固持腔室内;第一泵浦,其与第一固持腔室连接,以调整第一固持腔室的压力;第二固持腔室,其包含第二固持组件,其设置于第二固持腔室内,其中卷材的两端分别固定于第一固持组件以...
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