The utility model discloses a multi chip chemical bath deposition equipment, through the bearing mechanism of transport machine to be stably fixed on the positioning interval complex substrate carrying mechanism in a plane, and the conveyor station complex substrate sequentially transported to the bath and coating machine, cleaning machine machine in their operations reclaimer and with automation, mass effect, and when the complex substrate in coating operation, through a complex substrate placed flat, to improve the coating uniformity, quality, and can reduce the coating liquid, thereby reducing the cost and shorten the manufacturing material, coating liquid to chemical reaction time, and because of usage the coating liquid is reduced, can be coated after the operation, the effect of reducing waste.
【技术实现步骤摘要】
一种多片式化学水浴镀膜设备
本技术提供一种多片式化学水浴镀膜设备,尤指应用于薄膜太阳能电池制程中,且透过少量镀膜液来镀膜多片基材的镀膜设备。
技术介绍
由于现今人类能源的不断消耗,使得能源危机于近年来被广泛的讨论且寻求改善的方法,而目前常见的发电型态有水力发电、火力发电及核能发电等,其中水力发电虽可利用天然的水资源来对发电机作功而产生电能,但为了储蓄足够的水资源,则必需于山川、河谷中建造大型的水库,其水库的建造不仅需耗费高额的金钱,且会破坏周遭的大自然景观和生态环境,若利用火力来进行发电,就必须要大量进口石油、天然气、煤等燃料,而燃料为消耗型能源,所以便会提高发电成本且造成空气污染,再者,目前核能发电近年来虽逐渐取代水力及火力发电,然而,其辐射安全一直备受大众所疑虑,且发电后所产生的核能废水、核废料,均会造成周遭生态环境的污染及破坏,且核能电厂设备精密,以致于建造成本高昂,因此,核能发电亦具有污染环境及成本高昂等问题存在,所以不论是水力、火力或核能发电均有环保、安全、资源耗费或高成本等不尽理想之处。因此,世界各国开始朝向开发天然资源方向发展发电的技术,用以寻求对环境产生污染甚小的发电系统,如太阳能发电、风力发电、波浪发电或潮汐发电等,然而,太阳能电池的结构主要包括有基板、下电极层、吸收层、缓冲层、透光层、抗反射层、上电极层等,其中,该缓冲层为可用于保护电池表面,以避免于后续电浆制程中受到损伤,若缓冲层过薄即无法阻挡电浆而产生损伤,而若缓冲层过厚则会增加电阻,导致电池效率迅速下降,所以缓冲层厚度与均匀度等均会影响太阳能电池的发电效率及质量,因此,缓冲层的制程 ...
【技术保护点】
一种多片式化学水浴镀膜设备,其特征在于,包括输送机台、进料机台、水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台,其中:该输送机台所具的基架上为装设有供产生水平位移的传动模块,并于传动模块一侧处设有供产生垂直位移的纵向升降模块,且纵向升降模块下方处设有取放部,而取放部下方处活动组装有承载机构,其承载机构具有一基板,并于基板底面处设有复数定位区间,且基板表面上设有供活动组装于取放部上的接合部,而该承载机构的各定位区间周围处设有供固定于基板底面处的复数磁吸装置;该进料机台为设有供摆放预设复数基材以供复数磁吸装置吸取的置物平台;该水浴镀膜机台为具有加热装置,并于加热装置上方处设有受加热装置加热以对默认复数基材镀膜的水浴镀膜槽体,且水浴镀膜槽体内部形成有供承载机构置入的容置空间,而容置空间内部添加有供覆盖预设复数基材表面的镀膜液;该清洗机台为具有供输送机台的承载机构置入的清洗槽,并于清洗槽内部形成有对承载机构上承载的预设复数基材进行清洗的清洗空间;该取料机台为设有将复数预设基材从承载机构上取下的退料部,并于退料部一侧处设有将复数预设基材表面水份去除的干燥部。
【技术特征摘要】
1.一种多片式化学水浴镀膜设备,其特征在于,包括输送机台、进料机台、水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台,其中:该输送机台所具的基架上为装设有供产生水平位移的传动模块,并于传动模块一侧处设有供产生垂直位移的纵向升降模块,且纵向升降模块下方处设有取放部,而取放部下方处活动组装有承载机构,其承载机构具有一基板,并于基板底面处设有复数定位区间,且基板表面上设有供活动组装于取放部上的接合部,而该承载机构的各定位区间周围处设有供固定于基板底面处的复数磁吸装置;该进料机台为设有供摆放预设复数基材以供复数磁吸装置吸取的置物平台;该水浴镀膜机台为具有加热装置,并于加热装置上方处设有受加热装置加热以对默认复数基材镀膜的水浴镀膜槽体,且水浴镀膜槽体内部形成有供承载机构置入的容置空间,而容置空间内部添加有供覆盖预设复数基材表面的镀膜液;该清洗机台为具有供输送机台的承载机构置入的清洗槽,并于清洗槽内部形成有对承载机构上承载的预设复数基材进行清洗的清洗空间;该取料机台为设有将复数预设基材从承载机构上取下的退料部,并于退料部一侧处设有将复数预设基材表面水份去除的干燥部。2.如权利要求1所述的多片式化学水浴镀膜设备,其特征在于,该输送机台的传动模块为具有呈垂直交叉状的复数滑移轨道,并于各滑移轨道上装设有活动式滑移座,且滑移座上设有供驱动滑移座往复位移的驱动部。3.如权利要求1所述的多片式化学水浴镀膜设备,其特征在于,该输送机台的纵向升降模块为朝下延伸设有末端结合于取放部上的至少一根升降杆,而取放部具有复数横杆,且复数横杆二端连设有复数支架,而该承载机构的接合部上设有供勾持于取放部的复数横杆上的复数勾扣,再于取放部的各横杆上设有间隔排列的复数限位环,而复数限位环之间勾持有接合部的勾扣。4.如权利要求1所述的多片式化学水浴镀膜设备,其特征在于,该承载机构的复数定位区间为呈一共同平面。5.如权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢淑日,
申请(专利权)人:台湾恒基股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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