一种多片式化学水浴镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多片式化学水浴镀膜设备，可透过输送机台的承载机构来将复数基材稳固定位于承载机构的定位区间中呈一平面，并利用输送机台来将复数基材依序运送至水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台中进行各自的作业，以具有自动化、量产化的效果，而当复数基材于镀膜作业时，可透过摆放呈平面状的复数基材，来提升镀膜均匀度、质量，进而可减少镀膜液使用，藉此降低材料、制造成本及缩短镀膜液到达化学反应的时间，且因镀膜液的使用量减少，亦可达到镀膜作业后，其废液减少产生的效果。

A multi sheet chemical water bath coating equipment

The utility model discloses a multi chip chemical bath deposition equipment, through the bearing mechanism of transport machine to be stably fixed on the positioning interval complex substrate carrying mechanism in a plane, and the conveyor station complex substrate sequentially transported to the bath and coating machine, cleaning machine machine in their operations reclaimer and with automation, mass effect, and when the complex substrate in coating operation, through a complex substrate placed flat, to improve the coating uniformity, quality, and can reduce the coating liquid, thereby reducing the cost and shorten the manufacturing material, coating liquid to chemical reaction time, and because of usage the coating liquid is reduced, can be coated after the operation, the effect of reducing waste.

【技术实现步骤摘要】
一种多片式化学水浴镀膜设备
本技术提供一种多片式化学水浴镀膜设备，尤指应用于薄膜太阳能电池制程中，且透过少量镀膜液来镀膜多片基材的镀膜设备。
技术介绍
由于现今人类能源的不断消耗，使得能源危机于近年来被广泛的讨论且寻求改善的方法，而目前常见的发电型态有水力发电、火力发电及核能发电等，其中水力发电虽可利用天然的水资源来对发电机作功而产生电能，但为了储蓄足够的水资源，则必需于山川、河谷中建造大型的水库，其水库的建造不仅需耗费高额的金钱，且会破坏周遭的大自然景观和生态环境，若利用火力来进行发电，就必须要大量进口石油、天然气、煤等燃料，而燃料为消耗型能源，所以便会提高发电成本且造成空气污染，再者，目前核能发电近年来虽逐渐取代水力及火力发电，然而，其辐射安全一直备受大众所疑虑，且发电后所产生的核能废水、核废料，均会造成周遭生态环境的污染及破坏，且核能电厂设备精密，以致于建造成本高昂，因此，核能发电亦具有污染环境及成本高昂等问题存在，所以不论是水力、火力或核能发电均有环保、安全、资源耗费或高成本等不尽理想之处。因此，世界各国开始朝向开发天然资源方向发展发电的技术，用以寻求对环境产生污染甚小的发电系统，如太阳能发电、风力发电、波浪发电或潮汐发电等，然而，太阳能电池的结构主要包括有基板、下电极层、吸收层、缓冲层、透光层、抗反射层、上电极层等，其中，该缓冲层为可用于保护电池表面，以避免于后续电浆制程中受到损伤，若缓冲层过薄即无法阻挡电浆而产生损伤，而若缓冲层过厚则会增加电阻，导致电池效率迅速下降，所以缓冲层厚度与均匀度等均会影响太阳能电池的发电效率及质量，因此，缓冲层的制程、厚薄度即必需严格控管。然而，一般太阳能电池中缓冲层的生产方式为利用化学水浴沉积法(ChemicalBathDeposition；CBD)镀膜技术，此种镀膜技术于化学水浴槽内添加镀膜液，并于镀膜液中浸泡有至少一片缓冲层的基材，再透过加热装置来对镀膜液加热，以藉由镀膜液来对基材镀膜，而这种镀膜方式因气泡排除不易，所以镀膜均匀度差，以致于制造出的太阳能电池的质量相当差，且因镀膜的过程中，亦需于化学水浴槽中添加大量镀膜液，所以待镀膜作业完成后，亦会伴随着大量的废液产生，进而对周围环境造成影响。因此，要如何解决上述问题与缺失，为从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向。
技术实现思路
申请人有鉴于上述缺失，搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，设计出本技术。本技术的主要目的在于该复数基材于镀膜作业时，可透过摆放呈平面状的复数基材，来减少使用镀膜液，藉以降低材料、制造成本，且使用少量的镀膜液亦可缩短镀膜液到达化学反应的时间，进而缩短整体制程的时间，且待镀膜完成后，亦可减少废液的产生，藉此达到降低处理废液的成本及环境影响的目的。本技术的次要目的在于该水浴镀膜机台加热时，可藉由水浴镀膜槽体来直接对复数基材进行加热，以提高对复数基材加热均匀性，藉此减少均质成核的生成及提升镀膜均匀度，且可配合摇晃装置使用，以达到提升镀膜均匀度及加速化学反应速度的目的。本技术的另一目的在于该输送机台为可透过承载机构的复数磁吸装置来于进料机台上吸取有多片基材，以使各基材稳固定位于承载机构的定位区间中，并配合输送机台的传动模块及纵向升降模块来将承载有复数基材的承载机构运送至水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台中进行各自的作业，进而具有自动化、量产化的效果，藉此达到降低制程时间及提升制程效率、产能的目的。本技术的再一目的在于该承载机构为可依不同尺寸的基材来变更复数定位区间的尺寸，即可透过更换承载机构，来供不同尺寸的复数基材置放，进而提升使用上的便利性，达到降低设备成本的目的。本技术的又一目的在于该复数基材为透过复数磁吸装置来分别稳固定位于承载机构的复数定位区间中，进而避免于运输或镀膜等过程中，产生偏移、掉落情况，藉此提升作业时的稳定、流畅性，进而达到提高作业时的精确、准确度的目的。为达到上述目的，本技术采用的技术手段为：一种多片式化学水浴镀膜设备，包括输送机台、进料机台、水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台，其中：该输送机台所具的基架上为装设有供产生水平位移的传动模块，并于传动模块一侧处设有供产生垂直位移的纵向升降模块，且纵向升降模块下方处设有取放部，而取放部下方处活动组装有承载机构，其承载机构具有一基板，并于基板底面处设有复数定位区间，且基板表面上设有供活动组装于取放部上的接合部，而该承载机构的各定位区间周围处设有供固定于基板底面处的复数磁吸装置；该进料机台为设有供摆放预设复数基材以供复数磁吸装置吸取的置物平台；该水浴镀膜机台为具有加热装置，并于加热装置上方处设有受加热装置加热以对默认复数基材镀膜的水浴镀膜槽体，且水浴镀膜槽体内部形成有供承载机构置入的容置空间，而容置空间内部添加有供覆盖预设复数基材表面的镀膜液；该清洗机台为具有供输送机台的承载机构置入的清洗槽，并于清洗槽内部形成有对承载机构上承载的预设复数基材进行清洗的清洗空间；该取料机台为设有将复数预设基材从承载机构上取下的退料部，并于退料部一侧处设有将复数预设基材表面水份去除的干燥部。优选的，该输送机台的传动模块为具有呈垂直交叉状的复数滑移轨道，并于各滑移轨道上装设有活动式滑移座，且滑移座上设有供驱动滑移座往复位移的驱动部。优选的，该输送机台的纵向升降模块为朝下延伸设有末端结合于取放部上的至少一根升降杆，而取放部具有复数横杆，且复数横杆二端连设有复数支架，而该承载机构的接合部上设有供勾持于取放部的复数横杆上的复数勾扣，再于取放部的各横杆上设有间隔排列的复数限位环，而复数限位环之间勾持有接合部的勾扣。优选的，该承载机构的复数定位区间为呈一共同平面。优选的，该承载装置的承载机构位于基板相对二侧处为设有限位部，且各限位部设有朝外延伸的凸板，并于凸板上纵向穿设有限位孔，且该置物机台的置物平台相对二侧处设有第一定位部，再于各第一定位部上设有供限位孔套设的第一定位柱，而该水浴镀膜机台的水浴镀膜槽体位于容置空间底面相对二侧处设有第二定位部，并于各第二定位部上设有供限位孔套设的第二定位柱。优选的，该置物机台的置物平台表面上为设有供吸附预设复数基材底面的复数抽风孔，且复数真空吸嘴下方处连接有至少一台使其产生吸力的抽风装置。优选的，该水浴镀膜机台的加热装置内部为穿设有复数加热棒，且水浴镀膜机台的水浴镀膜槽体的容置空间底面处为供抵贴于预设复数基材底面处，又于水浴镀膜槽体一侧枢设有供开启或盖合于容置空间开口处的盖板，再于水浴镀膜槽体一侧处设有使镀膜液产生晃动的摇晃装置，其摇晃装置位于加热装置下方处设有一底座，并于底座一侧处连设有使其产生水平摇晃的作动部。优选的，其中该清洗槽内部的清洗空间侧壁面处为设有供喷洒清洗液的至少一个喷气孔。优选的，该取料机台的退料部上为设有供运输预设复数基材的复数输送带，而取料机台的干燥部为设于复数输送带输送末端处，且复数输送带之间设有将复数预设基材从承载机构上取下的退料真空吸嘴。优选的，该取料机台的干燥部上为设有供运输预设复数基材的复数输送滚轮，且复数输送滚轮的输送路径上设有干燥装置，其干燥装置具有至少一个设置于复数输送滚轮上方处的风刀、位于复数输送滚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多片式化学水浴镀膜设备，其特征在于，包括输送机台、进料机台、水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台，其中：该输送机台所具的基架上为装设有供产生水平位移的传动模块，并于传动模块一侧处设有供产生垂直位移的纵向升降模块，且纵向升降模块下方处设有取放部，而取放部下方处活动组装有承载机构，其承载机构具有一基板，并于基板底面处设有复数定位区间，且基板表面上设有供活动组装于取放部上的接合部，而该承载机构的各定位区间周围处设有供固定于基板底面处的复数磁吸装置；该进料机台为设有供摆放预设复数基材以供复数磁吸装置吸取的置物平台；该水浴镀膜机台为具有加热装置，并于加热装置上方处设有受加热装置加热以对默认复数基材镀膜的水浴镀膜槽体，且水浴镀膜槽体内部形成有供承载机构置入的容置空间，而容置空间内部添加有供覆盖预设复数基材表面的镀膜液；该清洗机台为具有供输送机台的承载机构置入的清洗槽，并于清洗槽内部形成有对承载机构上承载的预设复数基材进行清洗的清洗空间；该取料机台为设有将复数预设基材从承载机构上取下的退料部，并于退料部一侧处设有将复数预设基材表面水份去除的干燥部。

【技术特征摘要】
1.一种多片式化学水浴镀膜设备，其特征在于，包括输送机台、进料机台、水浴镀膜机台、清洗机台及取料机台，其中：该输送机台所具的基架上为装设有供产生水平位移的传动模块，并于传动模块一侧处设有供产生垂直位移的纵向升降模块，且纵向升降模块下方处设有取放部，而取放部下方处活动组装有承载机构，其承载机构具有一基板，并于基板底面处设有复数定位区间，且基板表面上设有供活动组装于取放部上的接合部，而该承载机构的各定位区间周围处设有供固定于基板底面处的复数磁吸装置；该进料机台为设有供摆放预设复数基材以供复数磁吸装置吸取的置物平台；该水浴镀膜机台为具有加热装置，并于加热装置上方处设有受加热装置加热以对默认复数基材镀膜的水浴镀膜槽体，且水浴镀膜槽体内部形成有供承载机构置入的容置空间，而容置空间内部添加有供覆盖预设复数基材表面的镀膜液；该清洗机台为具有供输送机台的承载机构置入的清洗槽，并于清洗槽内部形成有对承载机构上承载的预设复数基材进行清洗的清洗空间；该取料机台为设有将复数预设基材从承载机构上取下的退料部，并于退料部一侧处设有将复数预设基材表面水份去除的干燥部。2.如权利要求1所述的多片式化学水浴镀膜设备，其特征在于，该输送机台的传动模块为具有呈垂直交叉状的复数滑移轨道，并于各滑移轨道上装设有活动式滑移座，且滑移座上设有供驱动滑移座往复位移的驱动部。3.如权利要求1所述的多片式化学水浴镀膜设备，其特征在于，该输送机台的纵向升降模块为朝下延伸设有末端结合于取放部上的至少一根升降杆，而取放部具有复数横杆，且复数横杆二端连设有复数支架，而该承载机构的接合部上设有供勾持于取放部的复数横杆上的复数勾扣，再于取放部的各横杆上设有间隔排列的复数限位环，而复数限位环之间勾持有接合部的勾扣。4.如权利要求1所述的多片式化学水浴镀膜设备，其特征在于，该承载机构的复数定位区间为呈一共同平面。5.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢淑日，
申请(专利权)人：台湾恒基股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71