多蒸发离化源离子镀膜机制造技术

一种多蒸发离化源离子镀膜机，由镀膜室、转动架、电机及减速机构、上盖、底座、蒸发离化源、加热器、工件架和真空排气系统组成，其特征在于镀膜室为筒形结构，室壁与底座相焊接；电机及减速机构安装在上盖上，转动架与减速机构相联，工件架装在转动架上；蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向等距离布置在室壁四周；加热器焊封在底座上，真空排气系统与镀膜室相联；所述的蒸发离化源由冷却水嘴、磁铁、磁铁调节螺杆、靶材、靶材调节螺母、电磁组件、法兰盘、冷却水套、弹簧组件、引弧丝和屏蔽套组成，其中的靶材调节螺母、磁铁调节螺杆、磁铁、冷却水套和靶材依次同轴安装，电磁组件安装在离化源体一侧，引弧丝一端置于靶材下方，另一端与弹簧组件相联，弹簧组件与法兰盘绝缘并相对固定，靶材的周围置有屏蔽套，离化蒸发源整体通过法兰盘固定在镀膜室壁上。（*该技术在2004年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多蒸发离化源离子镀膜机，属于离子镀表面沉积技术。离子镀表面沉积技术，可在各种建筑五金、工艺美术、钢木家具、工业洁具、钟表首饰、制笔、餐具以及建筑材料等物品表面上镀复仿金膜和各种装饰膜，保护膜层。目前，现有技术中的离子镀膜机多为钟罩式，镀膜室取钟罩形，转动架和工件架装在镀膜室底座上。镀膜室底座内装真空系统，这种系统不宜制成大型设备。筒形侧开门结构，顶上装有上盖，上盖上装有转动架和工件架(如中国技术专利多弧离子镀膜机，申请号89200748.6)能降低镀膜机的高度，无需大型特殊厂房，但镀制大型工件时，侧门尺寸庞大，结构复杂，可靠性差。本技术的目的是对镀膜机的结构进行改进，使其能用于镀制大型镀件，而且结构简单，可靠性好。本技术设计的多蒸发离化源离子镀膜机由镀膜室、转动架、电机及减速机构、上盖、底座、蒸发离化源、加热器、工件架和真空排气系统组成。镀膜室为筒形结构，室壁与底座相焊接。电机及减速机构安装在上盖上，转动架与减速机构相联，工件架装在转动架上。蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向等距离布置在室壁四周。加热器焊封在底座上，真空排气系统与镀膜室相联。蒸发离化源由冷却水嘴、磁铁、磁铁调节螺杆、靶材、靶材调节螺母、电磁组件、法兰盘、冷却水套、弹簧组件、引弧丝和屏蔽套组成。其中的靶材调节螺母、磁铁调节螺杆、磁铁、冷却水套和靶材依次同轴安装。电磁组件安装在离化源体一侧，引弧丝一端置于靶材下方，另一端与弹簧组件相联，弹簧组件与法兰盘绝缘并相对固定，靶材的周围置有屏蔽套，离化蒸发源整体通过法兰盘固定在镀膜室壁上。本技术设计的多蒸发离化源离子镀膜机可以采取上述的立式，也可设计成卧式，其结构包括镀膜室、侧盖、底座、电机及减速机构、转动架、工件架、蒸发离化源、加热器、真空排气系统，密封门和小车。镀膜室为筒式结构，镀膜室卧于底座上。镀膜室的一侧为侧盖，另一侧为密封门。电机及减速系统安装在侧盖的中央，加热器焊封在侧盖的四周。转动架与电机减速机构相联。工件架置于小车上，小车通过导轨进出镀膜室，小车进入镀膜室时，支撑在镀膜室的导轨上，密封门关闭，小车上的工件架与转动架相联，电机减速机构带动工件架和转动架作自转或公转运动。真空排气系统与镀膜室相联。蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向距离布置在室壁的四周，其蒸发离化源的结构与立式相同。在上述卧式或立式镀膜机中，蒸发离化源在镀膜室壁上的布置，最上和最下的离化源分别离上盖和底座的距离小于中间任意两源之间的距离。 附图说明图1是本技术设计的立式镀膜机的结构示意图。图2是镀膜机中蒸发离化源的结构示意图。图3是加热器焊封在底座或侧盖上的位置示意图。图4是本技术设计的卧式镀膜机的结构示意图。以下结合附图，详细介绍本技术的内容。图1中，1是镀膜室，2是转动架，3是电机及减速机构，4是上盖，5是蒸发离化源，6和9是加热器，7是工件架，8是真空排气系统，10是镀膜室底座。图2中，11是蒸发离化源的冷却水嘴，12是调节螺母，用以调节靶材位置，使其与屏蔽环保持在同一平面，以使电弧稳定。13是电磁组件，14是法兰盘，蒸发离化源通过该法兰盘固定在镀膜室壁上。15是磁铁调节螺杆，用以调节磁铁的位置，以保证靶材表面的磁场强度保持在要求范围之内。16是镀膜室壁，17是弹簧组件，18是磁铁，19是冷却水套，20是引弧丝，21是靶材，22是屏蔽套，23是屏蔽环，24是绝缘组件。图3是加热器焊封的位置示意图。图中，9是加热器，10是立式镀膜机的底座或卧式镀膜机的侧盖，25是法兰盘，加热器通过法兰盘与底座或侧盖焊封。图4是卧式镀膜机，其中，1是镀膜室壁，2是转动架，3是电机及减速机构，5是蒸发离化源，6是焊封在侧盖上的加热器，7是工件架，8是真空排气系统，10是镀膜室底座，26是密封门，27是侧盖，28是小车。本技术设计的镀膜机，其工作过程是，首先，工件架7和转动架2随镀膜室上盖4吊出在镀膜室外，将被镀工件挂在工件架7上，然后将上盖4架到镀膜室上，启动电机及减速机构3的电源，通过转动架、工件架带动工件转动正常后，启动加热器6的电源。利用真空排气系统，将镀膜室抽至真空，对工件架施加负偏压，再启动蒸发离化源的电源，电源电压使电磁组件13动作，吸合引弧丝20，与靶材21的表面相接触。此时电源电压开始下降，使电磁力下降，因而弹簧组件17的弹簧力使引弧丝离开靶材表面，引燃靶材到镀膜室壳体的电弧，靶材开始蒸发离化，并镀到工件上。本技术设计的镀膜机构简单、通用性强，可以用于大型工件镀层。权利要求1.一种多蒸发离化源离子镀膜机，由镀膜室、转动架、电机及减速机构、上盖、底座、蒸发离化源、加热器、工件架和真空排气系统组成，其特征在于镀膜室为筒形结构，室壁与底座相焊接；电机及减速机构安装在上盖上，转动架与减速机构相联，工件架装在转动架上；蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向等距离布置在室壁四周；加热器焊封在底座上，真空排气系统与镀膜室相联；所述的蒸发离化源由冷却水嘴、磁铁、磁铁调节螺杆、靶材、靶材调节螺母、电磁组件、法兰盘、冷却水套、弹簧组件、引弧丝和屏蔽套组成，其中的靶材调节螺母、磁铁调节螺杆、磁铁、冷却水套和靶材依次同轴安装，电磁组件安装在离化源体一侧，引弧丝一端置于靶材下方，另一端与弹簧组件相联，弹簧组件与法兰盘绝缘并相对固定，靶材的周围置有屏蔽套，离化蒸发源整体通过法兰盘固定在镀膜室壁上。2.一种多蒸发离化源离子镀膜机，包括镀膜室、侧盖、底座、电机及减速机构、转动架、工件架、蒸发离化源、加热器、真空排气系统，其特征在于还包括密封门和小车；所述的镀膜室为筒式结构，镀膜室卧于底座上，镀膜室的一侧为侧盖，另一侧为密封门；电机及减速系统安装在侧盖的中央，加热器焊封在侧盖的四周；转动架与电机减速机构相联；工件架置于小车上，小车通过导轨进出镀膜室，小车进入镀膜室时，支撑在镀膜室的导轨上，密封门关闭，其上的工件架与转动架相联；真空排气系统与镀膜室相联；蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向等距离布置在室壁的四周，蒸发离化源由冷却水嘴、磁铁、磁铁调节螺杆、靶材、靶材调节螺母、电磁组件、法兰盘、冷却水套、弹簧组件、引弧丝和屏蔽套组成，其中的靶材调节螺母、磁铁调节螺杆、磁铁、冷却水套和靶材依次同轴安装，电磁组件安装在离化源体一侧，引弧丝一端置于靶材下方，另一端与弹簧组件相联，弹簧组件与法兰盘绝缘并相对固定，靶材的周围置有屏蔽套，离化蒸发源整体通过法兰盘固定在镀膜室壁上。3.如权利要求1或2所述的镀膜机，其特征在于其中所述的蒸发离化源，最上和最下两个蒸发离化源分别距上盖和底座的距离小于中间任意两源之间的间隔。专利摘要本技术涉及一种多蒸发离化源离子镀膜机，属于离子镀表面沉积技术。该镀膜室为筒式结构，室壁与镀膜室底座焊接或螺接，镀膜室置于底座上。加热器焊封在镀膜室底座或侧盖的中心或四周。镀膜室的另一端有密封盖或门。多个(二个以上)蒸发离化源沿筒体轴线方向等距离布置在室壁的四周。真空排气系统与镀膜室相联。蒸发离化源由磁铁、靶材、引弧丝、冷却水套等组成。本技术设计的镀膜机构简单、通用性强，可以用于大型工件镀层。文档编号C23C14/32GK2205392SQ9424333公开日1995年8月16日 申本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王殿儒，遇衍澄，
申请(专利权)人：北京长城钛金技术联合开发公司，
类型：实用新型
国别省市：