柱状靶等离子镀膜机制造技术

本实用新型专利技术是一种柱状靶等离子镀膜机。主要是采用在柱状靶与真空室之间通入低电压大电流电源，在一定真空条件下通入氩气或反应气体，引弧装置使引弧丝与柱靶侧面短时间接触，产生火花，使气体电离形起柱靶产生电弧，并环绕柱靶内磁场环绕柱靶侧面作斑点状加速旋转放电，电弧环并能随靶内磁场沿靶轴来回移动，使靶镀料金属气化蒸发，在工作架负偏压作用下离化的镀料离子在工件上成膜。加入不同的反应气体能作多种反应性离子镀。经试验被镀工件膜层均匀牢固。（*该技术在2001年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种镀膜机，特别是适合于柱状靶式的等离子镀膜机。现有镀膜机的等离子加速器蒸发离化源是采用靶的端面蒸发，由于蒸发面定点在靶的端面，所以使被镀工件的膜层正反面不均匀，为此目前只能采用多个蒸发源来弥补这一不足，因而成本将大大增加。另一种是磁控溅射离子镀膜机，它虽然采用柱状靶的侧面蒸发，但需要采用高电压(400伏——600伏)蒸发，由于离化率很低，绕射性也极差，所以不适应在几何形状复杂的工件上镀膜。本技术的任务就是提供一种被镀工件膜层均匀牢固可作多种反应性离子镀的柱状靶等离子镀膜机。本技术是这样实现的等离子镀膜机抽真空系统，钟形罩、宽量程测量规管，进气管、轰偏源，工件架，工件架旋转机，观察窗、弧电源、引弧装置，引弧丝、柱状靶、限流电阻，永久性磁铁，电机，永久性磁铁牵引索，柱靶冷却水管，机座等组成。抽真空系统由机械泵和油扩散泵组成，它向钟形罩内抽真空，由宽量程测量规管检拾真空度讯号，进气管联接氩气及反应气体，轰偏源给工件架提供一个负偏压，工件架由工件架旋转电机带动旋转，观察窗可观察真空室内的情况，弧电源是一个低电压大电源的直流电源(9)它的正端与钟形罩或机座连接，负端与柱状靶联接，在一定真空条件下，当引弧装置带动引弧丝向柱状靶移动并由柱状靶接触和分离时，引起引弧丝和柱状靶之间短时间的接触短路，因为引弧丝是通过限流电阻和弧电源正端联接的，为此，引弧丝由柱靶接触和分离时产生电火花，使气体电离，柱状靶弧被点燃，在柱状靶内永久性磁铁磁场的作用下，使之形成一个环状电弧，使靶镀料蒸化离化，在工件架负偏压作用下，蒸发的镀料在工件上成膜，柱靶内永久性磁铁在柱靶芯内沿柱靶轴作来回移动，同时环状电弧跟随靶内永久性磁铁的磁场沿靶作来回移动，柱靶冷却水管接通水源时，对柱状靶作冷却。本技术的优点是被镀工件膜层均匀牢固，加入不同的反应气体能作多种反应性离子镀，本技术的性能相当于多靶式等离子镀膜机，成本等于单靶等离子镀膜机。附图为本技术的结构原理附图说明图1.抽真空系统2.钟形罩3.宽量程测量管4.进气管5.轰偏源6.工作架7.工件架旋转电机8.观察窗9.低电压大电源输出器10.柱状靶11.引弧装置12.引弧丝13.限流电阻14.永久性磁铁15.电机16.引牵带17.柱状靶冷却水管18.机座下面参照附图，对本技术作进一步的说明抽真空系统(1)向钟形罩(2)内抽真空，宽量程测量管(3)可配真空计测钟形罩(2)内的真空度，进气管(4)联接所需气体及气体控制阀，轰偏源(5)正端接钟形罩(2)外壳，负端接工件架(6)，工作架旋转电机(7)带动工作架(6)的旋转，观察窗(8)可以观察钟形罩(2)内的情况，低电压大电流输出器(9)可选用ZQX－160型直流电焊机，其正端接钟形罩(2)，负端接柱状靶(10)，引弧装置(11)作用于引弧丝(12)同柱状靶(10)作短时间接触短路，形起电火花，使柱状靶(10)弧点燃，短路电流经限流电阻(13)形成一个回路。此时永久性磁铁(14)限位于点弧放电区，柱状靶(10)电弧在磁场作用下环绕柱靶加速旋转形成环状电弧，使靶金属气化并离化，在工作负偏压作用下，在工体上成膜，同时此环状弧，跟随永久性磁铁(14)沿柱状靶来回移动。牵引带(16)连接永久性磁铁(14)和电机(15)，柱靶冷却水管(17)安装于柱状靶(10)上部，机座(18)。权利要求1.一种柱状靶等离子膜镆机，由低电压大电流输出器、柱状靶、钟形罩、机座等部件组成，其特征在于所述镀膜机采用的低电压大电流输出器负端与柱状靶联接，正端与钟形罩或与机座联接。2.根据权利要求(1)所述的镀膜机、其特征在于柱靶内采用单块永久性磁铁并能被电机(15)牵引作沿靶轴来回移动。专利摘要本技术是一种柱状靶等离子镀膜机。主要是采用在柱状靶与真空室之间通入低电压大电流电源，在一定真空条件下通入氩气或反应气体，引弧装置使引弧丝与柱靶侧面短时间接触，产生火花，使气体电离形起柱靶产生电弧，并环绕柱靶内磁场环绕柱靶侧面作斑点状加速旋转放电，电弧环并能随靶内磁场沿靶轴来回移动，使靶镀料金属气化蒸发，在工作架负偏压作用下离化的镀料离子在工件上成膜。加入不同的反应气体能作多种反应性离子镀。经试验被镀工件膜层均匀牢固。文档编号C23C14/24GK2099135SQ9123084公开日1992年3月18日 申请日期1991年10月26日 优先权日1991年10月26日专利技术者陆国民 申请人:陆国民本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柱状靶等离子膜镆机，由低电压大电流输出器、柱状靶、钟形罩、机座等部件组成，其特征在于所述镀膜机采用的低电压大电流输出器负端与柱状靶联接，正端与钟形罩或与机座联接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陆国民，
申请(专利权)人：陆国民，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]