非晶形硬碳膜,机械部件及生产非晶形硬碳膜的方法技术

当金属氧化物被包含在膜内时，非晶形硬碳膜从滑动开始便具有低摩擦系数。膜与基底的粘附力由于ＲＦ等离子体增强ＣＶＤ方法的低温处理也被提高。该膜能用于许多在恶劣条件下使用的滑动件上，如活塞环，压缩机翼片和燃油喷射泵柱塞。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,机械部件及生产的方法
本专利技术涉及一种用于滑动件和类似物的防护涂层，该涂层的目的是增强耐磨性和减少摩擦系数。尤其是，本专利技术涉及作为防护涂层的硬碳膜及生产硬碳膜的方法。此外，本专利技术还涉及涂有非晶形(amorphous)硬碳膜的机械部件，该机械部件用于汽车和家用电器。在本专利技术中，术语“硬”是根据一般的摩擦学术语而被使用的(例如“摩擦学”(日文)1999，44卷，9号，小专刊“硬质材料”)。特别地，比对应件更硬的滑动件被认为达到硬特性。特别是，硬膜的硬度是Hv1000或更多(显微维氏硬度值)，最好是Hv1500或更多。应用的多个例子已在1996，41卷，9号，第760-771页的摩擦学中被评论。传统的用于增强耐磨性和抗擦伤(scuffing)性的金属材料表面处理方法包括渗氮，PVD(物理汽相沉积)和CVD(化学汽相沉积)。金属碳化物，例如TiC，或金属氮化物，例如TiN用后两种方法作为硬膜被涂覆在如工具，金属压模和类似物的金属材料表面上。由于这种涂层硬度为Hv2000-3000，但是摩擦系数近于0.2至0.8的范围内，相应较高，因而对应(opposite)材料滑动阻力随本文档来自技高网...

【技术保护点】
主要含有碳和氢的非晶形硬碳膜，其特征在于该膜内还含有金属氧化物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：诸贯正树，
申请(专利权)人：株式会社理研，
类型：发明
国别省市：JP[日本]