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当金属氧化物被包含在膜内时，非晶形硬碳膜从滑动开始便具有低摩擦系数。膜与基底的粘附力由于ＲＦ等离子体增强ＣＶＤ方法的低温处理也被提高。该膜能用于许多在恶劣条件下使用的滑动件上，如活塞环，压缩机翼片和燃油喷射泵柱塞。...
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