The utility model discloses a tool for improving the grinding of a silicon carbide rod end face, which comprises an upper disc, a threaded cylinder and a lower disc. The middle of the upper disc is provided with a column mounting hole, and a fixed hole is provided evenly on the side of the upper disc, and the inside of the fixed hole is installed with a stud structure, and under the stud structure, the lower circle is installed under the lower circle. The inside of the screw hole on the disc is connected with the cylinder body installed in the middle of the middle disc and the screw cylinder together, and the silicon carbide crystal rod is installed inside the groove opened above the thread cylinder. The tool to improve the end surface grinding of the silicon carbide rod is to stick the end face of the silicon carbide rod in the groove on the end of the cylinder with the glue. It not only avoids the collapse angle in the clamping process, but also improves the quality and good rate of the product, and the orientation precision of the end face will not appear to the traditional crystal bar during the end face grinding process. It is difficult to clamp and slide easily, and the orientation accuracy has also been effectively improved.
【技术实现步骤摘要】
一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具
本技术涉及晶棒端面研磨
,具体为一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具。
技术介绍
碳化硅是继第一代半导体Si、第二代半导体GaAs,InP等之后发展起来的重要的第三代半导体材料,具有禁带宽度大,热导率高、电子饱和漂移速率大、临界击穿电场高和相对介电常数低等的特点,在高温、高频、大功率、微电子器件等方面和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势,因此,碳化硅是微电子、电力电子和光电子等高新技术进入21世纪后赖以持续发展的重要半导体材料之一,近年来迅速渗透到照明,电力器件,微波射频等,已成为国际关注的焦点,在下一代功率器件的制造和外延生长中,对单晶材料最终的表面质量有严格的要求,想得到一片完整的碳化硅衬底,需要经过很多道工序进行加工,因此,切割前对碳化硅晶棒端面进行定向和研磨是必不可少的,然而由于碳化硅晶棒很短(8-25mm),采用治具装夹到碳化硅晶棒时,容易导致晶棒边缘出现崩角或夹不住状况,现有寻找碳化硅端面和端面研磨的方法,主要是将碳化硅晶棒放在三爪卡盘上夹住,然后将三爪卡盘放在定向仪可调节X向和Y向的治具上,进行碳化硅晶棒端面的定向,但是由于碳化硅本身晶棒较短(8-25mm),采用三爪卡盘固定碳化硅晶棒圆边,一方面很难将晶棒有效夹住,另一方面在夹住的过程由于碳化硅晶棒很硬,容易在夹紧的过程中造成崩边,影响碳化硅晶棒的品质。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具,以解决上述
技术介绍
中提出的采用三爪卡盘固定碳化硅晶棒圆边,一方面很难将晶棒有效夹住,另一方面在夹住的过程由于碳化硅晶棒很硬,容易在 ...
【技术保护点】
一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具,包括上圆盘(1)、螺纹圆柱体(3)和下圆盘(4),其特征在于:所述上圆盘(1)中部开设有柱体安装孔(6),且上圆盘(1)侧面均匀开设有固定孔(7),所述固定孔(7)内部安装有螺柱结构(5),且螺柱结构(5)下方安装在下圆盘(4)上开设的螺纹孔(12)内部,所述固定孔(7)下方中部开设有定位孔(11),所述上圆盘(1)中部开设的柱体安装孔(6)与螺纹圆柱体(3)螺接在一起,且螺纹圆柱体(3)上方开设的凹槽(10)内部安装有碳化硅晶棒(2)。
【技术特征摘要】
1.一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具,包括上圆盘(1)、螺纹圆柱体(3)和下圆盘(4),其特征在于:所述上圆盘(1)中部开设有柱体安装孔(6),且上圆盘(1)侧面均匀开设有固定孔(7),所述固定孔(7)内部安装有螺柱结构(5),且螺柱结构(5)下方安装在下圆盘(4)上开设的螺纹孔(12)内部,所述固定孔(7)下方中部开设有定位孔(11),所述上圆盘(1)中部开设的柱体安装孔(6)与螺纹圆柱体(3)螺接在一起,且螺纹圆柱体(3)上方开设的凹槽(10)内部安装有碳化硅晶棒(2)。2.根据权利要求1所述的一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具,其特征在于:所述上圆盘(1)内部的固定孔(7)上安装的螺柱结构(5)有螺柱体(9)和固定螺母(8)共同组成,且螺柱体(9)穿过固定孔(7)中部通过固定螺母(8)紧箍在一起,同时螺柱体(9)底部螺接在下圆盘(4)上开设的螺纹孔(12)内部。3.根据权利要求1所述的一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖柏帆,苏双图,
申请(专利权)人:福建北电新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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