带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置，包括原料储存罐、干燥器、预冷冷凝器、精馏塔体、主冷凝器、再沸器、产品储存罐、回收冷凝器、回收储存罐、在线分析设备以及电控系统，原料储存罐与干燥器连通，干燥器与预冷冷凝器连通，预冷冷凝器与精馏塔体连通，精馏塔体分别与主冷凝器和再沸器连通，主冷凝器经第一阀门与精馏塔体的液相回流口连通，主冷凝器经第二阀门与产品储存罐连通，主冷凝器与回收冷凝器的气相入口连通，回收冷凝器与回收储存罐连通，再沸器的气相出口与精馏塔体的气相回流口连通，再沸器的重组分出口与回收储存罐连通。在制作电子级八氟环丁烷的同时你，回收轻重组分。

Preparation device of high purity eight fluoro butane with recovery function

The utility model discloses a preparation device for high purity eight fluorine butane with recovery function, including a raw material storage tank, a dryer, a pre cooling condenser, a distillation column, a main condenser, a reboiler, a product storage tank, a recycling condenser, a recovery storage tank, an on-line analysis equipment and an electronic control system, a storage tank and a dry material. The dryer is connected with the pre cooling condenser, the pre cooling condenser is connected with the rectifying tower body, the distillation column is connected with the main condenser and the reboiler respectively. The main condenser is connected with the liquid reflux port of the distillation column through the first valve. The main condenser is connected with the product storage tank through the second valve, the main condenser and the recycling condenser are connected. The gas phase entrance is connected, the recovery condenser is connected with the recovery storage tank, the gas phase exit of the reboiler is connected with the gas phase reflux port of the rectifying tower body, and the reboiler of the reboiler is connected with the recovery storage tank. In the production of electronic grade eight fluoro butane at the same time, you recover light reorganization points.

【技术实现步骤摘要】
带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置
本技术涉及八氟环丁烷提纯领域，具体涉及一种带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置。
技术介绍
电子级八氟环丁烷用作半导体等生产工艺中的蚀刻或清洁气体，以便由CVD方法、溅射方法或气相淀积方法得到的薄膜或厚膜形成电路图案，还可以替代CFC-12的混合制冷剂、稳定无毒的药品气雾喷射剂、食品气雾喷射剂、介质气体。随着电子或电气设备的性能更高、尺寸更小、缠绕密度更高的趋势、电路图案变的更细，和获得高精度的电路图案，对八氟环丁烷的纯度要求也越来越高。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种制备电子级八氟环丁烷的带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置，包括原料储存罐、干燥器、预冷冷凝器、精馏塔体、主冷凝器、再沸器、产品储存罐、回收冷凝器、回收储存罐、在线分析设备以及电控系统，所述原料储存罐与所述干燥器的气相入口连通；所述干燥器的气相出口与所述预冷冷凝器的气相入口连通；所述预冷冷凝器的液相出口与所述精馏塔体的液相入口连通；所述精馏塔体的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器的气相入口和所述再本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置，其特征在于，包括原料储存罐（1）、干燥器（2）、预冷冷凝器（3）、精馏塔体（4）、主冷凝器（5）、再沸器（6）、产品储存罐（7）、回收冷凝器（8）、回收储存罐（9）、在线分析设备（10）以及电控系统（11），所述原料储存罐（1）与所述干燥器（2）的气相入口连通；所述干燥器（2）的气相出口与所述预冷冷凝器（3）的气相入口连通；所述预冷冷凝器（3）的液相出口与所述精馏塔体（4）的液相入口连通；所述精馏塔体（4）的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器（5）的气相入口和所述再沸器（6）的液相出口连通；所述主冷凝器（5）的液相出口经第一阀门（12）与所述精馏塔体...

【技术特征摘要】
1.一种带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置，其特征在于，包括原料储存罐（1）、干燥器（2）、预冷冷凝器（3）、精馏塔体（4）、主冷凝器（5）、再沸器（6）、产品储存罐（7）、回收冷凝器（8）、回收储存罐（9）、在线分析设备（10）以及电控系统（11），所述原料储存罐（1）与所述干燥器（2）的气相入口连通；所述干燥器（2）的气相出口与所述预冷冷凝器（3）的气相入口连通；所述预冷冷凝器（3）的液相出口与所述精馏塔体（4）的液相入口连通；所述精馏塔体（4）的气相出口和液相出口分别与所述主冷凝器（5）的气相入口和所述再沸器（6）的液相出口连通；所述主冷凝器（5）的液相出口经第一阀门（12）与所述精馏塔体（4）的液相回流口连通，所述主冷凝器（5）的液相出口还经第二阀门（13）与所述产品储存罐（7）连通，所述主冷凝器（5）的轻组分出口与所述回收冷凝器（8）的气相入口连通，所述回收冷凝器（8）的液相出口与所述回收储存罐（9）连通；所述再沸器（6）的气相出口与所述精馏塔体（4）的气相回流口连通，所述再沸器（6）的重组分出口与所述回收储存罐（9）连通；所述在线分析设备（10）设于所述主冷凝器（5）的液相出口输出侧且设于所述第一，二阀门（12,13）的输入侧；所述电控系统（11）的输入端与所述在线分析设备（10）通讯，所述电控系统（11）的输出端与所述第一，二阀门（12,13）通讯。2.根据权利要求1所述的带回收功能的高纯八氟环丁烷的制备装置，其特征在于，所述主冷凝器（5）设于所述精馏塔体（4）顶部，所述再沸器（6）设于所述精馏塔体（4）底部。3.根据权利要求1所述的带回收功能的高纯八...

【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，孙猛，夏致远，金小贤，唐璐，周珽，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32