霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块制造技术

提供一种能够抑制霍尔元件的偏移电压的变动的霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块。具备：基板(10)；感磁部(20)，其形成于基板(10)的上表面(10a)侧；第一电极(31)和第二电极(32)，该第一电极(31)和该第二电极(32)形成于上表面(10a)侧并与感磁部(20)电连接，该第一电极(31)和该第二电极(32)在第一方向上彼此相向；以及第三电极(33)和第四电极(34)，该第三电极(33)和该第四电极(34)形成于上表面(10a)侧并与感磁部(20)电连接，该第三电极(33)和该第四电极(34)在俯视时与第一方向交叉的第二方向上彼此相向。第一电极(31)、第二电极(32)、第三电极(33)以及第四电极(34)分别从感磁部(20)的周边区域向感磁部(20)的中央区域延伸。

Holzer element and Holzer sensor and lens module

A Holzer element and a Holzer sensor and a lens module capable of suppressing the variation of the offset voltage of the Holzer element are provided. A substrate (10); a magnetic sensing unit (20) formed on an upper surface (10a) side of a substrate (10); a first electrode (31) and a second electrode (32); the first electrode (31) and the second electrode (32) are formed on the upper surface (10A) side and electrically connected to the magnetic sensing unit (20), and the first electrode (31) and the second electrode (32) are mutually opposite in the first direction; and A third electrode (33) and a fourth electrode (34), the third electrode (33) and the fourth electrode (34) are formed on the upper surface (10a) side and electrically connected to the magnetic sensing unit (20), and the third electrode (33) and the fourth electrode (34) are opposite to each other up to each other at the top of the first direction at the time of overlooking. The first electrode (31), the second electrode (32), the third electrode (33), and the fourth electrode (34) extend from the peripheral region of the magnetic field (20) to the central region of the magnetic sensing unit (20), respectively.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块
本专利技术涉及一种霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块。
技术介绍
以往以来，磁传感器应用于电流检测装置、位置检测装置等大量磁传感器产品。作为磁传感器的代表例，有利用霍尔效应的霍尔元件。一般来说，霍尔元件具有感磁部、用于使电流流过感磁部的电流电极对、用于检测霍尔电动势的输出电极对，而且，根据由输出电极对检测出的霍尔电动势来检测施加到感磁部的磁的大小和朝向。在专利文献1中公开了一种如下的霍尔元件：具备半绝缘性GaAs基板、N型动作层、N+接触层、欧姆接合用金属膜、接合用金属膜以及绝缘膜。在专利文献2中公开了一种如下的霍尔元件：将十字型的霍尔元件的四个位置的内角部分不是设为直角，而是设为倾斜地实施了取角的形状。在专利文献3中公开了一种如下的霍尔传感器：具备小片、配置于小片的周围的多个引线端子、将小片所具有的多个电极部与各引线端子分别电连接的多个金属细线、将小片的背面覆盖的绝缘膏、以及将小片和多个金属细线覆盖的模制树脂，其中，绝缘膏的至少一部分和各引线端子的背面的至少一部分分别从模制树脂露出。在专利文献4中公开了一种如下的霍尔传感器：该霍尔传感器使用在基板上形成有十字形的感磁部且在该十字形的臂分别形成有电极的霍尔芯片，使相邻的电极间的对置部平行，将这些对置部的平行的长度设定为从40μm减去对置部间的距离所得到的值以上的尺寸。专利文献1：日本特开昭60-175471号公报专利文献2：日本特开平1-298354号公报专利文献3：国际公开第2014/091714号小册子专利文献4：日本特开2000-294853号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在以往的技术中，存在霍尔元件的偏移电压发生变动的情况。本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制偏移电压的变动的霍尔元件和霍尔传感器、镜头模块。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本专利技术的一个方式所涉及的霍尔元件的特征在于，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧；第一电极和第二电极，该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向；以及第三电极和第四电极，该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上相互相向，其中，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别从所述感磁部的周边区域延伸到所述感磁部的中央区域。本专利技术的其它方式所涉及的霍尔元件的特征在于，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧；第一电极和第二电极，该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向；以及第三电极和第四电极，该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上相互相向，其中，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极的俯视时的形状分别为矩形，所述第一电极所具有的第一角部、所述第二电极所具有的第二角部、所述第三电极所具有的第三角部以及所述第四电极所具有的第四角部分别位于所述感磁部的上方。本专利技术的其它方式所涉及的霍尔元件的特征在于，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧，俯视时的形状为矩形；第一电极和第二电极，该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向；第三电极和第四电极，该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相向，其中，在俯视时，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极各自的外周位于比所述感磁部的外周靠内侧的位置。本专利技术的一个方式所涉及的霍尔传感器的特征在于，具备：上述的霍尔元件；第一端子部；第二端子部；第三端子部；第四端子部；第一金属细线，其将所述第一电极与所述第一端子部连接；第二金属细线，其将所述第二电极与所述第二端子部连接；第三金属细线，其将所述第三电极与所述第三端子部连接；以及第四金属细线，其将所述第四电极与所述第四端子部连接，其中，所述第一电极至所述第四电极各自具有分别接合所述第一金属细线至所述第四金属细线的区域，以及所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部接触的区域，所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部接触的区域在从所述感磁部的中心观察时位于比接合所述第一金属细线至所述第四金属细线的接合区域的中心靠外侧的位置。本专利技术的其它方式所涉及的霍尔传感器的特征在于，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧；绝缘膜，其形成在所述感磁部上；电极，其形成在所述绝缘膜上；金属细线，在所述电极的上表面接合该金属细线的一端；以及端子部，其与所述金属细线的另一端连接，其中，所述感磁部的形状为形成在所述基板上的台阶形状，在所述电极的上表面的接合所述金属细线的接合区域的下方，所述绝缘膜介于所述电极与所述感磁部之间，所述电极在接合所述金属细线的接合区域之外与所述感磁部连接。本专利技术的其它方式所涉及的霍尔传感器的特征在于，具备：上述的霍尔元件；第一端子部；第二端子部；第三端子部；第四端子部；第一金属细线，其将所述第一电极与所述第一端子部连接；第二金属细线，其将所述第二电极与所述第二端子部连接；第三金属细线，其将所述第三电极与所述第三端子部连接；第四金属细线，其将所述第四电极与所述第四端子部连接；以及模制构件，其将所述霍尔元件的至少一部分、所述第一端子部至所述第四端子部的至少一部分以及所述第一金属细线至所述第四金属细线密封。本专利技术的其它方式所涉及的霍尔传感器的特征在于，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧；第一电极和第二电极，该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向；第三电极和第四电极，该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相向；绝缘膜，在以截面观察时，该绝缘膜配置于所述感磁部与所述第一电极至所述第四电极之间；多个端子部；以及金属细线，其将所述第一电极至所述第四电极与所述多个端子部连接，其中，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极各自具有接合所述金属细线的区域以及与所述感磁部接触的区域，与所述感磁部接触的区域在从所述感磁部的中心观察时位于比接合所述金属细线的区域的中心靠外侧的位置，在以截面观察时，所述绝缘膜在接合所述金属细线的区域介于所述第一电极至所述第四电极与所述感磁部之间，所述绝缘膜在与所述感磁部接触的区域具有开口部。本专利技术的一个方式所涉及的镜头模块的特征在于，具备：上述的霍尔传感器；镜头保持件，其安装有磁体；以及驱动线圈，其基于从所述霍尔传感器的所述多个端子部输出的输出信号来使所述磁体移动。专利技术的效果根据本专利技术的各方式，能够抑制偏移电压的变动。附图说明图1是示出第一实施方式所涉及的霍尔元件100的结构例的图。图2是以A1-A’1和B1-B’1线将图1所示的霍尔元件100切断后的图。图3是示出第一实施方式所涉及的感磁部20的结构例的图。图4是例示出第一实施方式中的中央本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种霍尔元件，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧；第一电极和第二电极，该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向；以及第三电极和第四电极，该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相向，其中，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别从所述感磁部的周边区域延伸到所述感磁部的中央区域。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.24 JP 2015-187334;2015.09.24 JP 2015-187331.一种霍尔元件，具备：基板；感磁部，其形成于所述基板的一面侧；第一电极和第二电极，该第一电极和该第二电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第一电极与该第二电极在第一方向上彼此相向；以及第三电极和第四电极，该第三电极和该第四电极形成于所述一面侧并与所述感磁部电连接，该第三电极与该第四电极在俯视时与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相向，其中，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别从所述感磁部的周边区域延伸到所述感磁部的中央区域。2.根据权利要求1所述的霍尔元件，其特征在于，在俯视时，所述第一电极至所述第四电极的在中央区域上的总面积相对于所述感磁部的中央区域的面积的比例为10％以上且小于100％。3.根据权利要求1或2所述的霍尔元件，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极的俯视时的形状分别为矩形，所述第一电极所具有的第一角部、所述第二电极所具有的第二角部、所述第三电极所具有的第三角部以及所述第四电极所具有的第四角部分别位于所述感磁部的上方，所述第一角部与所述第二角部在所述第一方向上彼此相向，所述第三角部与所述第四角部在所述第二方向上彼此相向。4.根据权利要求3所述的霍尔元件，其特征在于，在俯视时，被所述第一角部、所述第二角部、所述第三角部以及所述第四角部包围的区域的中心部与所述感磁部的中心部重叠。5.根据权利要求3或4所述的霍尔元件，其特征在于，所述基板的俯视时的形状为矩形，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极分别配置于所述基板的矩形的四角，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极以及所述第四电极各自的外周的各边分别与所述基板的外周的四边中的两个边平行。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的霍尔元件，其特征在于，在俯视时，所述第一电极至所述第四电极中的邻接的电极之间的最小距离为2μm以上且11μm以下。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的霍尔元件，其特征在于，还具备绝缘膜，在以截面观察时，该绝缘膜配置于所述感磁部与所述第一电极至所述第四电极之间，所述绝缘膜在与所述感磁部的矩形的四角重叠的位置分别具有开口部，所述感磁部与所述第一电极至所述第四电极在所述开口部接触。8.一种霍尔传感器，具备：根据权利要求1至权利要求7中的任一项所述的霍尔元件；第一端子部；第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：古屋贵明，赤木刚，
申请(专利权)人：旭化成微电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP