本发明专利技术提供喷嘴板及使用了该喷嘴板的液体喷出头以及记录装置。本公开的喷嘴板的特征在于，具有：基材(31a)，其具有成为喷嘴(喷出孔(8))的贯通孔(8a)；以及金属膜(31aa)，其配置于基材(31a)的至少贯通孔(8a)的内壁，基材(31a)以镍为主成分，金属膜(31aa)以镍以及钯为主成分，包括基材(31a)以及金属膜(31aa)在内的剖面中的、沿着基材(31a)与金属膜(31aa)的界面的假想线(A)上的、金属膜(31a)的钯含有率的偏差为4原子％以下。
Nozzle plate and liquid ejection head using the nozzle plate and recording device
The invention provides a nozzle plate and a liquid ejection head using the nozzle plate and a recording device. The disclosed nozzle plate is characterized by a substrate (31a) having a perforation hole (8a) as a nozzle (8), and a metal film (31aa) arranged at the inner wall of a at least through hole (8a) of a substrate (31a), a base material (31a) as a nickel based component, a metal film (31aa) based on nickel and palladium, including a substrate (31a), and a metal film (31a), and a metal film (31aa). The deviation of the palladium content of the metal film (31aa) along the interface between the base material (31a) and the metal membrane (31aa) and the metal film (31a) is below 4 atom%.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】喷嘴板及使用了该喷嘴板的液体喷出头以及记录装置
本专利技术涉及喷嘴板及使用了该喷嘴板的液体喷出头以及记录装置。
技术介绍
作为液体喷出头所使用的喷嘴板，已知有以镍为主成分的喷嘴板(例如，参照专利文献1。)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-131949号公报
技术实现思路
本公开的喷嘴板的特征在于，具有：基材，其具有成为喷嘴的贯通孔；以及金属膜，其配置于该基材的至少所述贯通孔的内壁，所述基材以镍为主成分，所述金属膜以镍以及钯为主成分，包括所述基材以及所述金属膜在内的剖面中的、沿着所述基材与所述金属膜的界面的假想线A上的、所述金属膜的钯含有率的偏差为4原子％以下。另外，本公开的液体喷出头的特征在于，具备：所述喷嘴板；多个加压室，它们与所述多个贯通孔分别相连；以及多个加压部，它们对该多个加压室分别施加压力。另外，本公开的记录装置的特征在于，具备：所述液体喷出头；输送部，其将记录介质相对于所述液体喷出头进行输送；以及控制部，其对所述液体喷出头进行控制。附图说明图1(a)是包括本公开的一实施方式所涉及的液体喷出头的记录装置的侧视图，(b)是俯视图。图2是构成图1的液体喷出头的头主体的俯视图。图3是由图2的单点划线包围的区域的放大图，且是为了说明而省略了一部分的流路的俯视图。图4是由图2的单点划线包围的区域的放大图，且是为了说明而省略了一部分的流路的俯视图。图5(a)是沿着图3的V-V线的纵剖视图，(b)是(a)的喷出孔的放大纵剖视图，(c)是将(b)的一部分进一步放大的纵剖视图。具体实施方式图1(a)是包括本公开的一实施方式所涉及的液体喷出头2的记录装置亦即彩色喷墨打印机1(以下有时简称为打印机)的简略的侧视图，图1(b)是简略的俯视图。打印机1通过将作为记录介质的印刷纸张P从引导辊82A朝输送辊82B输送，使印刷纸张P相对于液体喷出头2相对地移动。控制部88基于图像、文字的数据对液体喷出头2进行控制，朝向印刷纸张P喷出液体，使液滴喷落于印刷纸张P，对印刷纸张P进行印刷等的记录。在本实施方式中，液体喷出头2相对于打印机1固定，打印机1是所谓的行式打印机。作为本公开的记录装置的其他实施方式，可举出如下的所谓串行打印机，该串行打印机交替地进行使液体喷出头2在与印刷纸张P的输送方向交叉的方向例如大致正交的方向上往复等而移动的动作、以及印刷纸张P的输送。在打印机1以与印刷纸张P大致平行的方式固定有平板状的头搭载框架70(以下有时简称为框架)。在框架70设置有未图示的20个孔，20个液体喷出头2搭载于各个孔的部分，液体喷出头2的喷出液体的部位面对印刷纸张P。液体喷出头2与印刷纸张P之间的距离例如为0.5～20mm左右。五个液体喷出头2构成一个头组72，打印机1具有四个头组72。液体喷出头2具有在从图1(a)的近前侧朝向里侧的方向、图1(b)的上下方向上细长的长条形状。有时将该长的方向称作长边方向。在一个头组72内，三个液体喷出头2沿着与印刷纸张P的输送方向交叉的方向、例如大致正交的方向排列，其他两个液体喷出头2在沿着输送方向偏离的位置处，在三个液体喷出头2之间分别排列一个。液体喷出头2以可由各液体喷出头2印刷的范围在印刷纸张P的宽度方向(与印刷纸张P的输送方向交叉的方向)上相连的方式或者以端部重复的方式配置，能够进行在印刷纸张P的宽度方向上没有间隙的印刷。四个头组72沿着印刷纸张P的输送方向配置。从未图示的液体箱向各液体喷出头2供给液体、例如墨水。向属于一个头组72的液体喷出头2供给相同颜色的墨水，能够利用四个头组72印刷四种颜色的墨水。从各头组72喷出的墨水的颜色例如为品红色(M)、黄色(Y)、青色(C)以及黑色(K)。如果利用控制部88对这样的墨水进行控制来进行印刷，则能够印刷彩色图像。如果以单色印刷可由一个液体喷出头2印刷的范围，则搭载于打印机1的液体喷出头2的个数也可以为一个。能够根据要印刷的对象、印刷条件，适当变更头组72所包括的液体喷出头2的个数或头组72的个数。例如，此外也可以为了进行多色的印刷而增加头组72的个数。另外，如果配置多个以相同颜色进行印刷的头组72，且在输送方向上交替印刷，则即便使用相同性能的液体喷出头2也能够加快输送速度。由此，能够增大单位时间的印刷面积。另外，也可以准备多个以相同颜色进行印刷的头组72，在与输送方向交叉的方向上错开配置，从而提高印刷纸张P的宽度方向的分辨率。此外，除了印刷带有颜色的墨水以外，还可以为了进行印刷纸张P的表面处理而印刷涂布剂等液体。打印机1对作为记录介质的印刷纸张P进行印刷。印刷纸张P成为卷绕于供纸辊80A的状态，在通过两个引导辊82A之间后，通过搭载于框架70的液体喷出头2的下侧，之后通过两个输送辊82B之间，最终由回收辊80B回收。当进行印刷时，通过使输送辊82B旋转而以一定速度输送印刷纸张P，利用液体喷出头2进行印刷。回收辊80B对从输送辊82B送出的印刷纸张P进行卷绕。输送速度例如为75m/分。各辊可以由控制部88控制，也可以由人通过手动进行操作。记录介质除了印刷纸张P以外，还可以是卷状的布等。另外，打印机1也可以代替直接输送印刷纸张P，转而直接对输送带进行输送，将记录介质放置于输送带进行输送。如此一来，能够将单片纸或裁断的布、木材、瓷砖等作为记录介质。此外，也可以从液体喷出头2喷出包含导电性粒子的液体，来印刷电子设备的布线图案等。此外，也可以从液体喷出头2朝向反应容器等喷出规定量的液体的化学药剂或包含化学药剂的液体，使之反应等，由此制作化学药品。另外，也可以在打印机1安装位置传感器、速度传感器、温度传感器等，控制部88与根据来自各传感器的信息获知的打印机1各部的状态相应地对打印机1的各部进行控制。例如，在液体喷出头2的温度、液体箱的液体的温度、液体箱的液体施加于液体喷出头2的压力等对喷出的液体的喷出量、喷出速度等的喷出特性造成影响的情况下等，也可以与这些信息相应地改变使液体喷出的驱动信号。接着，对本公开的一实施方式所涉及的液体喷出头2进行说明。图2是示出图1所示的液体喷出头2的主要部分亦即头主体13的俯视图。图3是由图2的单点划线包围的区域的放大俯视图，且是示出头主体13的一部分的图。图4是与图3相同位置的放大俯视图。在图3以及图4中，为了容易理解附图而省略一部分的流路进行描绘。另外，在图3以及图4中，为了容易理解附图，将位于压电致动器基板21的下方的应当用虚线来描绘的加压室10、节流部12以及喷出孔8等用实线来描绘。图5(a)是沿着图3的V-V线的纵剖视图，图5(b)是形成于喷嘴板31的喷出孔8的放大纵剖视图，图5(c)是将喷嘴板31进一步放大的纵剖视图。头主体13具有平板状的流路构件4，在流路构件4上具有压电致动器基板21。流路构件4通过将具有喷出孔的喷嘴板31、层叠有板22～30的流路构件主体进行层叠而构成。压电致动器基板21具有梯形形状，以该梯形的一对平行对置边与流路构件4的长边方向平行的方式配置于流路构件4的上表面。另外，沿着与流路构件4的长边方向平行的两条假想直线各配置两个、即合计四个压电致动器基板21整体上在流路构件4上排列成交错状。在流路构件4上相互邻接的压电致动器基板21的斜边彼此在流路构件4的短边方向上局部重本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种喷嘴板，其特征在于，所述喷嘴板具有：基材，其具有成为喷嘴的贯通孔；以及金属膜，其配置于该基材的至少所述贯通孔的内壁，所述基材以镍为主成分，所述金属膜以镍以及钯为主成分，包括所述基材以及所述金属膜在内的剖面中的、沿着所述基材与所述金属膜的界面的假想线A上的、所述金属膜的钯含有率的偏差为4原子％以下。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.28 JP 2015-1898961.一种喷嘴板，其特征在于，所述喷嘴板具有：基材，其具有成为喷嘴的贯通孔；以及金属膜，其配置于该基材的至少所述贯通孔的内壁，所述基材以镍为主成分，所述金属膜以镍以及钯为主成分，包括所述基材以及所述金属膜在内的剖面中的、沿着所述基材与所述金属膜的界面的假想线A上的、所述金属膜的钯含有率的偏差为4原子％以下。2.根据权利要求1所述的喷嘴板，其特征在于，所述金属膜的厚度为0.1～5μm。3.根据权利要求1或2所述的喷嘴板，其特征在于，在所述基材的所述界面侧存在与所述基材的中央部的氧含有率相比氧含有率高的富氧层。4.根据权利要求3所述的喷嘴板，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：东别府诚，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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