The utility model discloses an automatic filling system for the production of high purity six tungsten fluoride, including automatic filling cabinet, automatic control system of finished tank, pipe pumping unit and PLC control system. There are filled steel bottles in the automatic filling cabinet, steel bottle filling valve and pressure sensor for filling pipeline on the outlet pipe of the filled steel bottle. After connecting to the total filling valve, the filling total valve is connected with the total pneumatic valve of the filling pipeline, and the pipeline evacuation device includes the high pure helium gas cylinder, the vacuum pump group, the pipe and the valve. The finished storage tank automatic control system includes the finished storage tank, the gas liquid separation control valve, the vaporizer, the material pumping and replay device and the PLC control system. The tank, gas and liquid separation control valve, vaporizer and material evacuation replay device form the upper entry loop through the pipe and valve to form the finished storage tank, and the downstream of the carburetor is connected with the one-way valve to control the flow direction of the material. The system can automatically maintain the pressure balance of finished product tanks, and the material is free from loss during filling process.
【技术实现步骤摘要】
一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统
本技术涉及六氟化钨制备领域,特别涉及成品灌装设备。
技术介绍
六氟化钨(WF6)是一种电子工业用气体,主要在电子工业中用作金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料。用WF6制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。随着电子工业产品精密化程度的提高,也对作为原材料的WF6的纯度提出了极高的要求,当要求纯度达到99.999%以上时,WF6的精制和成品灌装都会出现极大的困难。高纯WF6中的主要杂质指标为氧、氮、HF等轻组分和金属杂质等重组分。金属杂质一经去除后不易再引入,但若成品灌装系统设计不完善,会导致成品灌装系统中残存水分、氧、氮等杂质和少量WF6,而WF6又极易与水反应生成HF,这样高纯WF6灌装至钢瓶的过程中就极易引入HF和氧、氮等轻组分杂质,导致灌装品不合格。WF6具有气液固三相极易转换的特性,且常温下为液态,不同于其他高纯气体常态下多为高压气态可以通过压力差进行各单元间操作,WF6工业生产中的传动力主要依靠各级储罐的加热和冷冻操作,能耗较大且有一定的安全隐患。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统。该系统无需高纯气源补气管路就能够实现自动调节成品储罐压力维持成品储罐压力自平衡,降低量耗的同时,还能保证成品储罐物料状态的稳定均一。灌装完成后,灌装管路中的物料抽空回放至成品储罐中,实现灌装过程物料无损耗。为解决现有技术问题,本技术的技术方案是:一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统,包括自动灌装柜1、成品储罐自控系统5、管路抽空处理装置和PLC控制系统;自动灌装柜 ...
【技术保护点】
一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统,包括自动灌装柜(1)、成品储罐自控系统(5)、管路抽空处理装置和PLC控制系统;自动灌装柜内有灌装钢瓶(2),灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀n、灌装管路压力传感器(12),之后连接于灌装总阀1上,灌装总阀1与灌装管路总气动阀k相连通;管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶(13)、真空泵组(14)、管道及阀门,用于抽空和吹扫灌装管路;成品储罐自控系统(5)包括成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)、物料抽空回放装置(11)和PLC控制系统,成品储罐内有冷却盘管,上有进口阀,还安装有液位显示装置(8)和成品储罐压力传感器(9),成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)和物料抽空回放装置(11)通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路,汽化器(10)下游接有单向阀控制物料流向。
【技术特征摘要】
1.一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统,包括自动灌装柜(1)、成品储罐自控系统(5)、管路抽空处理装置和PLC控制系统;自动灌装柜内有灌装钢瓶(2),灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀n、灌装管路压力传感器(12),之后连接于灌装总阀1上,灌装总阀1与灌装管路总气动阀k相连通;管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶(13)、真空泵组(14)、管道及阀门,用于抽空和吹扫灌装管路;成品储罐自控系统(5)包括成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)、物料抽空回放装置(11)和PLC控制系统,成品储罐内有冷却盘管,上有进口阀,还安装有液位显示装置(8)和成品储罐压力传感器(9),成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)和物料抽空回放装置(11)通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路,汽化器(10)下游接有单向阀控制物料流向。2.根据权利要求1所述的自动灌装系统,其特征是所述物料抽空回放装置(11...
【专利技术属性】
技术研发人员:李立远,黄晓磊,张金彪,李金勇,许福胜,李贤武,吴旭飞,
申请(专利权)人:黎明化工研究设计院有限责任公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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