The utility model proposes a connection structure of MFC and PCB. The MFC is transmitted to PCB by a signal line. The input end of the signal line is connected to MFC. The signal line is characterized by two parallel output terminals connected to the signal line, one output terminal connected to the corresponding connection of the MFC on the PCB, and the other output terminal when the device is in the wrong way. The maintenance stage is spatio-temporal and the external monitoring equipment is in the maintenance stage. Without satisfying the normal production of equipment, the hot plug times of MFC and PCB interfaces are greatly reduced for routine maintenance. At the same time, for the multi MFC platform, the utility model changes the measurement mode of the hot plug and disassembly of each MFC and PCB in the existing technology: as long as each original vacant output end is connected with the external monitoring equipment to complete the simple measurement, thus the protection of the MFC and the PCB board is realized, and the measurement of electricity is greatly saved. Time to press and improve the efficiency of routine maintenance.
【技术实现步骤摘要】
一种MFC和PCB的连接结构
本专利技术涉及集成电路
,特别涉及一种MFC和PCB的连接结构。
技术介绍
目前,作为日常MFC(massflowcontroller)维护必要的一环,需要定期实施零点漂移监控,即需要定时量测MFC的电压。设备正常工作时,MFC的信号线直接与PCB(printedcircuitboard)连接。需要量测MFC电压时,需外接一根有一个输入端及两个输出端的bypass信号线。使用螺丝刀把MFC信号线从MFC的接头拧下后连接到该信号线的输入端,并将该bypass线替代MFC信号线,将一个输出端与PCB相连,然后将另一个输入端串连到万用表上。这样就能测量并在万用表上显示当前这颗MFC的实际电压。然后将bypass信号线与MFC和PCB的连接拆开,重新将MFC信号线的接头再次安装PCB上原来的位置,随后分别将连接用螺丝刀拧紧。这一连串的动作只完成一个MFC的电压量测,其中需要对MFC接头和PCB上对应的接口各进行2次带电的热插拔,这会缩短MFC及PCB的使用寿命。而且每个机台有均有多个MFC(因机台而异),以13个MFC为例,完成MFC电压监控需要热插拔MFC和PCB共26次,只要其中出现一点问题,就会对MFC和PCB造成损伤,影响设备正常生产。因此,需要通过重新设计MFC与PCB的连接结构,较少量测MFC电压过程中,因拆装信号线对MFC和PCB接口进行热插拔,节省花费在量测MFC电压上的时间,最终实现保护MFC和PCB,延长其使用寿命的最终目的。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是通过重新设计MFC与PCB的连接结构,较少 ...
【技术保护点】
一种MFC和PCB的连接结构,MFC通过信号线实现将其信号传送至PCB,所述信号线的输入端连接MFC,其特征在于,所述信号线有两个并联的输出端,一个输出端连接PCB上所述MFC的对应接口,另一个输出端当设备处于非维护阶段时空置,处于维护阶段时外接监控设备。
【技术特征摘要】
1.一种MFC和PCB的连接结构,MFC通过信号线实现将其信号传送至PCB,所述信号线的输入端连接MFC,其特征在于,所述信号线有两个并联的输出端,一个输出端连接PCB上所述MFC的对应接口,另一个输出端当设备处于非维护阶段时空置,处于维护阶段时外接监控设备。2.如权利要求1所述的一种MFC...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚健敏,杨培林,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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