A detection device comprises a base, an annular process, a horizontal adjusting component, a supporting ring body, a first image capturing device and a two image capturing device. The ring process is set on the base. The ring process is used to fix a one to be measured. The horizontal adjustment module comprises a fixed seat, a movable seat and a horizontal adjusting element. The fixed seat is fixed on the base and is positioned below the annular process. The movable seat is locked to the fixed seat through a horizontal adjusting piece. The support ring body is fixed to the movable seat. The support ring body is used to support the object to be measured. The first image capturing device and the second image capturing device are respectively fixed above and below the annular process. Second the image capturing device faces the first image acquisition device through the supporting ring body. Wherein, at least one horizontal adjusting piece can rotate relative to the fixed seat to adjust the level of the movable seat.
【技术实现步骤摘要】
检测设备
本专利技术涉及一种检测设备,特别涉及一种双检测镜头的检测设备。
技术介绍
在一般的半导体工艺中,当晶圆表面形成多个芯片后,通常会继续对芯片进行点测、检测与分类等工艺。其中,检测工艺主要是利用检测镜头来扫描芯片,并依据撷取到的影像来判断芯片本身是否存在有缺陷。晶圆检测依需求分为单向检测及双向检测。单向检测的部分是将晶圆平放于承载平台上,且通过位于晶圆上方的检测镜头来撷取晶圆上表面的影像。由于晶圆整面皆受到承载平台的支撑,故晶圆呈平坦而不会影响到检测品质。双向检测的部分为通过工艺夹住晶圆的外缘,且通过位于晶圆上下两侧的检测镜头来分别撷取晶圆上、下表面的影像。由于晶圆仅外缘受到支撑,中央处并未受到支撑,故晶圆的中央处会略为下凹,使得晶圆不再呈平坦而会影响检测品质。因此,如何避免晶圆不平坦而影响检测品质的状况发生,则为研发人员应解决的问题之一。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种检测设备,藉以解决现有双向检测时,晶圆不再呈平坦而会影响检测品质的问题。本专利技术的一实施例所揭露的检测设备包含一基座、一环形工艺、一水平调整组件、一支撑环体、一第一影像撷取装置及一第二影像撷取装置。环形工艺可活动地设置于基座。环形工艺用以固定一待测物。水平调整组件包含一固定座、一活动座及至少三个水平调整件。固定座固定于基座并位于环形工艺下方。活动座通过至少三个水平调整件锁附于固定座。支撑环体固定于活动座。支撑环体远离活动座的一侧用以支撑待测物,并具有一透光口。第一影像撷取装置固定于环形工艺上方。第二影像撷取装置固定于环形工艺下方。第二影像撷取装置通过支撑环体的透光口朝向第一 ...
【技术保护点】
一种检测设备,其特征在于,包含:一基座;一环形工艺,能够活动地设置于该基座,该环形工艺用以固定一待测物;一水平调整组件,包含一固定座、一活动座及至少三个水平调整件,该固定座固定于该基座并位于该环形工艺下方,该活动座通过该至少三个水平调整件锁附于该固定座;一支撑环体,固定于该活动座,该支撑环体远离该活动座的一侧用以支撑该待测物,并具有一透光口;一第一影像撷取装置,固定于该环形工艺上方;以及一第二影像撷取装置,固定于该环形工艺下方,该第二影像撷取装置通过该支撑环体的该透光口朝向该第一影像撷取装置;其中,该至少三个水平调整件的至少之一能够相对该固定座转动,以调整该活动座的水平。
【技术特征摘要】
1.一种检测设备,其特征在于,包含:一基座;一环形工艺,能够活动地设置于该基座,该环形工艺用以固定一待测物;一水平调整组件,包含一固定座、一活动座及至少三个水平调整件,该固定座固定于该基座并位于该环形工艺下方,该活动座通过该至少三个水平调整件锁附于该固定座;一支撑环体,固定于该活动座,该支撑环体远离该活动座的一侧用以支撑该待测物,并具有一透光口;一第一影像撷取装置,固定于该环形工艺上方;以及一第二影像撷取装置,固定于该环形工艺下方,该第二影像撷取装置通过该支撑环体的该透光口朝向该第一影像撷取装置;其中,该至少三个水平调整件的至少之一能够相对该固定座转动,以调整该活动座的水平。2.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,该至少三个水平调整件包含二第一水平调整件及一第二水平调整件,每一该第一水平调整件包含一第一固定螺栓及一弹性件,该第一固定螺栓穿设该活动座并锁合于该固定座,该弹性件夹设于该固定座与该活动座之间,该第二水平调整件包含一第二固定螺栓、一第一万向接头及一第二万向接头,该第二固定螺栓穿设该活动座并锁合于该固定座,该第一万向接头固定于该第二固定螺栓,该第二万向接头固定于该活动座并能够转动地连接于该第一万向接头。3.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,该第一影像撷取装...
【专利技术属性】
技术研发人员:林唯修,王胜弘,林裕超,孙皓格,
申请(专利权)人:致茂电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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