【技术实现步骤摘要】
一种面板缺陷检查装置
本专利技术涉及面板光学检测装置结构
,具体地指一种面板缺陷检查装置。
技术介绍
面板微观缺陷检查是基于光学原理来对制造业生产中遇到的常见缺陷进行检测的技术。在显示面板制造中,由于环境、设备、材料以及其它因素等的影响,生产的显示面板可能存在一些缺陷。其中面板缺陷包括面板上难以被人肉眼所观测到的微观缺陷,对于微观缺陷的检测需要使用显微镜对面板进行详细查看。通常检测方式是将面板放置到灯箱上,通过灯箱上方的显微镜镜头对沿面板的X向和Y向扫描,将面板上所有点的信息传递到显示设备上,人工观察或是数据处理分析是否存在缺陷。微观缺陷需要为显微镜提供足够强度的光线,使显微镜能够清晰分辨出面板上的缺陷,现有技术的灯箱通常是在灯箱内部布设多个光源,通过成片的光源提供足够强度的光线照射面板,即检测过程中面板上所有点均被光源照亮。这种方式虽然能够一定程度上降低面板检测的难度,但是灯箱中需要设置多颗光源,大幅度提高了灯箱的造价,另外多颗光源常亮会造成大量的电能的损耗,提高使用成本。而且面板上所有的点都被光源照射,面板上的缺陷部分可能会因为光线产生散射,形成阴影而干 ...
【技术保护点】
一种面板缺陷检查装置,包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜(1)和光源(2),其特征在于:还包括X向滑移机构和Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构;所述的显微镜(1)与光源(2)滑动连接于所述Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜(1)与光源(2)沿Y向移动过程中保持显微镜(1)与光源(2)始终处于两两相对的同步状态的联动机构;所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。
【技术特征摘要】
1.一种面板缺陷检查装置,包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜(1)和光源(2),其特征在于:还包括X向滑移机构和Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构;所述的显微镜(1)与光源(2)滑动连接于所述Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜(1)与光源(2)沿Y向移动过程中保持显微镜(1)与光源(2)始终处于两两相对的同步状态的联动机构;所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。2.如权利要求1所述的一种面板缺陷检查装置,其特征在于:所述的联动机构包括固定在Y向滑移机构上的光源滑轨(3);所述的光源滑轨(3)沿Y向水平布置;所述的光源(2)滑动连接于光源滑轨(3)上,通过第一电机驱动沿光源滑轨(3)移动。3.如权利要求2所述的一种面板缺陷检查装置,其特征在于:所述的光源(2)与光源滑轨(3)之间设置有在光源(2)滑移到超出面板检测范围时控制第一电机停止驱动光源(2)移动的到位机构。4.如权利要求3所述的一种面板缺陷检查装置,其特征在于:所述的到位机构包括固定在光源(2)X向侧部的感应片(4)和固定在光源滑轨(3)上与感应片(4)同侧的底座(5);所述的底座(5)上安装有两片沿X向间隔布置的竖板(6);所述的两块竖板(6)之间布置有传感器;所述的感应片(4)在跟随光源(2)滑移到超出面板检测范...
【专利技术属性】
技术研发人员:王文,杨慎东,郭连俊,
申请(专利权)人:苏州精濑光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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