下载一种面板缺陷检查装置的技术资料

文档序号:17777739

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本发明涉及面板光学检测装置结构技术领域,具体地指一种面板缺陷检查装置。包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜和光源,其特征在于:还包括X向滑移机构和Y向滑移机构;所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构;所述的显微镜与光源滑动连接于所述...
该专利属于苏州精濑光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州精濑光电有限公司授权不得商用。

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