一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，所述冷却装置包括：空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。本实用新型专利技术的有益效果：将罩体内原有的风扇去除，用空气喷送组件替代原有的风扇，通过空气喷送组件向石英锅上方喷洒预定温度的空气，通过预定温度的空气均匀的流到石英锅外表面，使石英锅能得到均匀的冷却效果，使石英锅温差问题得到极大改善，同时石英锅内控片的微粒数据也得到改善。

【技术实现步骤摘要】
一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置
本技术涉及物理气相沉积
，尤其涉及一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置。
技术介绍
物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)制程在进入膜制备(filmdep)制程前，都会用到预清理(Pre-clean)制程去除晶圆表面氧化物。Pre-clean反应腔也成为PVD机台的标准配置。如图1所示，现有Pre-clean设备对石英锅2(Bell-jar)采用顶部风扇1冷却，由于风扇1普遍存在中心区没有气流的缺陷，直接导致跑货时石英锅2顶部温度上升比其他区域快，当连续用还原式跑货时，该现象尤其明显。根据实验显示，随着跑货进行，石英锅2上的温差越来越大，石英锅2内表面的石英是采用喷砂的方式镀上去，当温差增大，应力也会增大，造成内表面脱落，石英锅2内有晶元(wafer)，当连续跑三批货时，石英锅2顶部和其它区域温差能达到20摄氏度，石英锅2内表面膨胀系数不一样，会有石英砂脱落，掉落到产品表面造成产品缺陷，严重时会直接造成产品报废。因此，亟需设计一种简单且低成本化的方法，通过对Pre-clean机台冷却系统的改良，提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，其特征在于，所述冷却装置包括：空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。

【技术特征摘要】
1.一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，其特征在于，所述冷却装置包括：空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述空气喷送组件包括：空气输送管，所述空气输送管用于输送所述预定...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙俊舟，杨弘，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42