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本实用新型提供一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，所述冷却装置包括：空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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