扫描型探针显微镜制造技术

本发明专利技术提供一种扫描型探针显微镜，即使是分束器能够移动的结构也能够高精度地进行观察。在确认扫描型探针显微镜(1)中的试样(S)和悬臂(4)的位置的情况下，用户使光学显微镜(10)与壳体(2)的上表面(21)的第一开口部(21a)相向配置，通过把持并旋转设置于壳体(2)的侧面(22)的操作部，来使被保持部保持的分束器(6)在壳体(2)内旋转移动，从光学显微镜(10)的视场内退出。因此，能够始终将分束器(6)配置在壳体(2)内，从而能够防止用户触碰到分束器(6)。其结果，能够防止分束器(6)损坏、污垢附着于分束器(6)。另外，能够缩短分束器(6)的移动距离。因此，能够抑制分束器(6)的位置产生偏移。

【技术实现步骤摘要】
扫描型探针显微镜
本专利技术涉及一种具备使分束器移动的机构的扫描型探针显微镜。
技术介绍
以往利用扫描型探针显微镜作为检查试样的微细的表面形状的装置。在扫描型探针显微镜中，通过使探针相对于试样的表面相对移动来对试样的表面进行扫描，由此检测在该扫描过程中作用于探针与试样表面之间的物理量(隧道电流或原子间作用力等)的变化。而且，通过对探针的相对位置进行反馈控制以使扫描过程中的上述物理量保持固定，由此能够根据其反馈量测定试样的表面形状。作为这样的扫描型探针显微镜，利用了形成有用于确认试样和探针的位置的观察窗的装置。在该扫描型探针显微镜中，以与观察窗相向的方式设置光学显微镜。然后，使用光学显微镜确认试样和探针的位置，来进行试样和探针的定位(例如，参照下述专利文献1)。在专利文献1所记载的扫描型探针显微镜中，在测定试样的表面形状的情况下，从光源射出的激光在被分束器反射之后，被探针和反射镜反射，并被光电二极管接收。另一方面，在使用光学显微镜确认试样和探针的位置的情况下，将分束器从反射位置处移走。然后，在使分束器从光学显微镜的光路上退出的状态下，通过光学显微镜来确认试样和探针的位置。由此，能够提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描型探针显微镜，其特征在于，具备：悬臂，其沿着试样的表面进行扫描；光源，其朝向所述悬臂照射光；光接收部，其接收来自所述悬臂的反射光；分束器，其设置在从所述光源到所述光接收部的光路上，用于使在该光路上通过的光反射；壳体，其至少将所述悬臂和所述分束器收纳在内部；以及旋转机构，其通过使所述分束器旋转移动，来使所述分束器在所述壳体内从所述光路上退出，其中，在所述壳体的上表面形成有用于相向地配置用于观察试样的表面的光学显微镜的开口部，所述分束器在位于所述光路上时被配置在所述光学显微镜的视场内，通过所述旋转机构使所述分束器旋转移动来使所述分束器从所述光路上退出，由此所述分束器也从所述光学显微镜的视场...

【技术特征摘要】
2016.10.19 JP 2016-005057U1.一种扫描型探针显微镜，其特征在于，具备：悬臂，其沿着试样的表面进行扫描；光源，其朝向所述悬臂照射光；光接收部，其接收来自所述悬臂的反射光；分束器，其设置在从所述光源到所述光接收部的光路上，用于使在该光路上通过的光反射；壳体，其至少将所述悬臂和所述分束器收纳在内部；以及旋转机构，其通过使所述分束器旋转移动，来使所述分束器在所述壳体内从所述光路上退出，其中，在所述壳体的上表面形成有用于相向地配置用于观察试样的表面的光学显微镜的开口部，所述分束器在位于所述光路上时被配置在所述光学显微镜的视场内，通过所述旋转机构使所述分束器旋转移动来使所述分束器从所述光路上退出，由此所述分束器也从所述光学显微镜的视场内退出，所述旋转机构具备供用户在使所述分束器旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林宽治，平出雅人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP