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本发明提供一种扫描型探针显微镜，即使是分束器能够移动的结构也能够高精度地进行观察。在确认扫描型探针显微镜(1)中的试样(S)和悬臂(4)的位置的情况下，用户使光学显微镜(10)与壳体(2)的上表面(21)的第一开口部(21a)相向配置，通过...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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