【技术实现步骤摘要】
一种全啮合变壁厚涡旋真空泵
本专利技术属于涡旋真空泵
,尤其涉及一种适用于无油润滑真空系统的全啮合变壁厚涡旋真空泵的动涡旋和静涡旋。
技术介绍
涡旋真空泵是一种容积式流体机械,由于其结构简单,零部件少,运转平稳,振动噪声低,已被广泛应用于无油真空环境、半导体行业、科学仪器行业、医疗设备行业。现有涡旋真空泵通常采用圆渐开线作为涡旋齿型线,且在工作时动涡旋齿和静涡旋齿最外圈的型线不能全部参与啮合,造成涡旋盘结构尺寸较大,结构不紧凑;当涡旋真空泵内容积比要求较高时,单一型线涡旋齿所需的涡旋圈数较多,泄漏线较长,会泄漏量增加;专利CN106989020A提出了一种动涡旋齿和静涡旋齿最外侧型线都能参与啮合的涡旋齿结构,使吸气量增大,并通过切齿法和特殊排气口开设手段实现了高压腔气体提前排出,来保证涡旋真空泵的两组吸气腔和最小封闭工作腔容积比相等,解决排气开始后不同压力的气体混合造成效率降低的问题,但是通过切齿所获得的涡旋结构在动涡旋的齿头处存在尖点,在工作的过程中会划伤静涡旋齿的内表面,增加齿头磨损,造成泄漏,且切齿的具体位置不易确定,造成加工难度增大。本专利技术针对现 ...
【技术保护点】
一种全啮合变壁厚涡旋真空泵,包括静涡旋(I)、动涡旋(II)、防自转机构(9)、机架(10)、曲轴(11)和电机(12),其特征是:静涡旋(I)包括静涡旋齿(1)、静涡旋齿槽(2)、排气口(3)、吸气口(4)和静涡旋盘(5),静涡旋齿(1)包括内侧型线(101)和外侧型线(102),静涡旋齿槽(2)是由静涡旋齿(1)的内侧型线(101)和外侧型线(102)形成的,吸气口(4)在静涡旋齿槽(2)的外圈末端位置;动涡旋(II)包括动涡旋齿(6)和动涡旋盘(7),动涡旋齿(6)包括内侧啮合型线(601)和外侧啮合型线(602);在公转中心O,静涡旋(I)的回转中心O1和动涡旋(I ...
【技术特征摘要】
1.一种全啮合变壁厚涡旋真空泵,包括静涡旋(I)、动涡旋(II)、防自转机构(9)、机架(10)、曲轴(11)和电机(12),其特征是:静涡旋(I)包括静涡旋齿(1)、静涡旋齿槽(2)、排气口(3)、吸气口(4)和静涡旋盘(5),静涡旋齿(1)包括内侧型线(101)和外侧型线(102),静涡旋齿槽(2)是由静涡旋齿(1)的内侧型线(101)和外侧型线(102)形成的,吸气口(4)在静涡旋齿槽(2)的外圈末端位置;动涡旋(II)包括动涡旋齿(6)和动涡旋盘(7),动涡旋齿(6)包括内侧啮合型线(601)和外侧啮合型线(602);在公转中心O,静涡旋(I)的回转中心O1和动涡旋(II)的回转中心O2重合,静涡旋齿(1)的内侧型线(101)和动涡旋齿(6)外侧啮合型线(602)是相互啮合的,静涡旋齿(1)的外侧型线(102)和动涡旋齿(6)内侧啮合型线(601)是相互啮合的;动涡旋齿(6)与静涡旋齿(1)相互啮合的型线是法向等距关系,且相互啮合的型线之间存在一条各点处连续光滑的涡旋中线(8);将涡旋中线(8)分别向两侧法向等距回转半径的一半Ror/2后得到各点处连续光滑的内侧型线(101)、外侧型线(102)、内侧啮合型线(601)和外侧啮合型线(602);在工作过程中,动涡旋齿(6)的内侧啮合型线(601)与静涡旋齿(1)的外侧型线(102)、动涡旋齿(6)的外侧啮合型线(602)与静涡旋齿(1)的内侧型线(101)都能全部参与啮合;涡旋中线(8)包括右侧中线ea1b1c1d1和左侧中线ea2b2c2d2;右侧中线ea1b1c1d1由第一连接圆弧ea1、第一内圈圆渐开线a1b1、第一高阶连续曲线b1c1和第一外圈圆渐开线c1d1组成;左侧中线ea2b2c2d2由第二连接圆弧ea2、第二内圈圆渐开线a2b2,第二高阶连续曲线b2c2和第二外圈圆渐开线c2d2组成;在涡旋中线(8)中心处的第一连接圆弧ea1的半径Rm1和第二连接圆弧ea2的半径Rm2不相等,且第一连接圆弧ea1和第二连接圆弧ea2的连接点e不通过公转中心O,即第一连接圆弧ea1和第二连接圆弧ea2关于公转中心O不对称。2.如权利要求1所述,涡旋中线(8)各段曲线的方程如下:第一内圈圆渐开线a1b1与第二内圈圆渐开线a2b2的方程为式中,“+”表示第一内圈圆渐开线a1b1,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王君,曹晨燕,崔淑洁,魏蜀红,杨舒然,赵峰,
申请(专利权)人:中国石油大学华东,
类型:发明
国别省市:山东,37
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