沉积金刚石涂层的装置和沉积金刚石涂层的制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种沉积金刚石涂层的装置和沉积金刚石涂层的制备方法。本发明专利技术沉积金刚石涂层的装置包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。所述沉积金刚石涂层的制备方法是利用本发明专利技术沉积金刚石涂层的装置对模具表面特别是在微孔拉丝模具的微孔内生长均匀的金刚石涂层，而且提高了金刚石涂层与模具结合强度。

【技术实现步骤摘要】
沉积金刚石涂层的装置和沉积金刚石涂层的制备方法
本专利技术属于超硬复合材料和设备
，具体涉及一种沉积金刚石涂层的装置和沉积金刚石涂层的制备方法。
技术介绍
随着高端制造业的发展，传统切削工具和机械元件无论是使用寿命，精度还是加工表面完整性等指标均难以满足精密高端制造业的要求。金刚石是已知物质中硬度最高的物质，不仅具有较低的摩擦系数和最高的弹性模量，而且还具有最高的热导率以及良好的化学稳定性，在精密高端制造领域极具前景。天然金刚石数量小，尺寸有限，且价格异常昂贵，不适合应用在制造领域，而高温高压制备人工金刚石复合片等制备成本高，工艺复杂，更重要的是其极难加工成为特定形状尺寸的机械件。这些都限制了金刚石在现代高端制造领域的应用发展。化学气相沉积技术如热丝辅助化学气相沉积技术是目前常用制备金刚石涂层方法。热丝化学气相沉积制备金刚石涂层的优势是其设备简单，成本低廉，其能够在特殊形状机械工件表面制备金刚石涂层，可以使得机械工件同时兼具基体和金刚石的特性。目前热丝气相沉积在复杂工件表面制备金刚石涂层所需要解决的问题主要存在二个：第一是由于金刚石的热膨胀系数与基体相差较大导致的涂层与基体结合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积金刚石涂层的装置，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，其特征在于：所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。

【技术特征摘要】
1.一种沉积金刚石涂层的装置，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台，其特征在于：所述样品台包括传动杆和若干夹具，每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆，在所述连杆上设有从动轮，所述传动杆驱动所述从动轮转动实现所述夹持部的旋转。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述样品台还包括若干热交换器件，每一所述热交换器件具有两端开口的通管状腔体，每一或每一对所述夹具的所述夹持部设置在所述通管状腔体内。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述热交换器件为双层通管，所述夹持部设置在所述双层通管的管腔内，在所述双层通管的双层管壁之间填充有热量吸收剂，且若干所述热交换器件所含的所述热量吸收剂通过管道连通。4.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于：还包括承载台，所述承载台包括动力驱动系统和动力输出连杆，所述动力驱动系统驱动所述动力输出连杆旋转，所述动力输出连杆驱动所述传动杆连移动或旋转。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述承载台设置在所述样品台的下方，且所述承载台还包括升降部件，所述升降部件控制所述承载台的升降。6.一种沉积金刚石涂层的制备方法，包括如下步骤：将经过表面预处理和植晶处理后的模具夹设在权利要求1-5任一所述的沉积金刚石涂层的装置所含的夹持部上；再按照生长金刚石涂层的方法在所述模具表面上生长金刚石涂层；然后驱动所述装置所含的所述传动杆旋转或移...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，黄磊，王陶，杨扬，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44