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沉积金刚石涂层的装置和沉积金刚石涂层的制备方法制造方法及图纸
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文档序号:17771210
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本发明公开了一种沉积金刚石涂层的装置和沉积金刚石涂层的制备方法。本发明沉积金刚石涂层的装置包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的样品台,所述样品台包括传动杆和若干夹具,每一所述夹具包括夹持部和与所述夹持部固定连接的连杆,在所述连杆上设有从动轮...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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