The utility model discloses a water spray device for a silicon wafer cutting machine, including a pipe, a filter net is installed inside the pipe, and a plurality of baffles are installed vertically on one side of the filter net, and a plurality of spaces are formed between the multiple groups of baffles, and the filter net is far away from the baffle with a nozzle connected with the pipe, and the inside of the nozzle. The push rod motor is installed with a push rod motor, and the push rod motor is connected to the inner wall of the nozzle. The output shaft of the push rod motor is equipped with a piston. The outer wall of the pipe is welded with a first pipe. The first pipe is close to the one side of the pipe and a number of nozzles are installed. The water pipe is open with a slide and a groove far away from the outer wall of the first water pipe. Two sets of slide blocks are installed in the inner slide, and second water pipes are connected at one end of the two slide blocks extending out of the chute. The utility model has the advantages of simple structure and novel design, which can clean the filter network inside, reduce the accumulation of impurities, improve the service life of the filter net, and reduce the economic loss by replacing the water spray device.
【技术实现步骤摘要】
一种硅片切割机用喷水装置
本技术涉及硅片切割机应用
,尤其涉及一种硅片切割机用喷水装置。
技术介绍
硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片,直径有6英寸、8英寸、12英寸等规格,主要用来生产集成电路,硅片只是原料,而芯片则是成品,由硅片制成的芯片是有名的“神算子”,主要应用于微电子行业,特别是当今急速发展的电子行业,其需求量更大,高速发展的电子行业带动了硅片产业的发展,在硅片生产成芯片之前,需要对硅片进行切割,而切割就会用到专业的硅片切割机。目前,市场上用来切割硅片的切割机是用一种特制的金刚线带水切割,其中加水可以对金刚线起到冷却的作用,避免金刚线与硅片之间摩擦产生大量热量而是金刚线断裂,而这种切割方式对水质的要求要很高,特别是水中不能含有固体小颗粒,因此在喷水之前需要对水进行过滤处理,而过滤机构一般安装在喷水装置的内部,因此长时间过滤容易导致过滤机构堵塞,而且不方便对其内部进行清洗,由此需要更换整个装置,这就带来了经济损失,为此我们提出了一种硅片切割机用喷水装置来解决以上问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片切割机用喷水装置。 ...
【技术保护点】
一种硅片切割机用喷水装置,包括通水管(1),其特征在于,所述通水管(1)的内部安装有过滤网(2),所述过滤网(2)的一侧表面垂直安装有多组挡板(3),且多组挡板(3)之间形成多个空格,所述过滤网(2)远离挡板(3)的一侧安装有与通水管(1)连接的喷头(4),所述喷头(4)的内部安装有推杆电机(5),且推杆电机(5)通过支架与喷头(4)的内壁连接,所述推杆电机(5)的输出轴安装有活塞(6),所述通水管(1)的一侧外壁焊接有第一水管(7),所述第一水管(7)靠近通水管(1)的一侧安装有多组喷嘴(8),所述通水管(1)远离第一水管(7)的一侧外壁开设有滑槽(15),所述滑槽(15 ...
【技术特征摘要】
1.一种硅片切割机用喷水装置,包括通水管(1),其特征在于,所述通水管(1)的内部安装有过滤网(2),所述过滤网(2)的一侧表面垂直安装有多组挡板(3),且多组挡板(3)之间形成多个空格,所述过滤网(2)远离挡板(3)的一侧安装有与通水管(1)连接的喷头(4),所述喷头(4)的内部安装有推杆电机(5),且推杆电机(5)通过支架与喷头(4)的内壁连接,所述推杆电机(5)的输出轴安装有活塞(6),所述通水管(1)的一侧外壁焊接有第一水管(7),所述第一水管(7)靠近通水管(1)的一侧安装有多组喷嘴(8),所述通水管(1)远离第一水管(7)的一侧外壁开设有滑槽(15),所述滑槽(15)内滑动安装有两组滑块,两组所述滑块伸出滑槽(15)的一端连接有第二水管(12),所述第二水管(12)远离通水管(1)的一侧安装有移动装置(11),所述移动装置(11)远离第二水管(12)的一端安装有轨道(10),所述轨道(10)的外部套接有与通水管(1)连接的固定壳体(9)。2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用喷水装置,其特征在于,所述移动装置(11)包括驱动电机、移动轮和安装板,所述驱动电...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪昌伟,陆昌忠,
申请(专利权)人:浙江华友电子有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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