基板检查设备及基板检查方法技术

本发明专利技术公开了一种基板检查设备，包括：支架，包括托盘和支撑件，托盘用于承载待检查的基板，在竖直方向上可旋转地支撑在支撑件上；光源，设于托盘斜上方，用于朝托盘上的基板表面照射光线；镜头组，设于托盘上方，并朝向托盘，用于在托盘转动的过程中拍摄托盘上的基板的图像；观察台，在水平方向上与托盘间隔设置，供操作者观察托盘上的基板的表面；监视器，设于观察台旁，用于显示镜头组拍摄的基板的图像。本发明专利技术还公开了一种基板检查方法。在托盘转动过程中可以通过人眼观察基板表面以检查外观完好情况，也可以通过监视器检查拍摄的基板的图像而检查是否有暗影不良的现象发生，对检查人员的经验并无特别要求，作业时间短、效率高。

【技术实现步骤摘要】
基板检查设备及基板检查方法
本专利技术涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种基板检查设备及基板检查方法。
技术介绍
在液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)的制造工序中，存在用目视检查在各制造工序中制造的透明基板的外观的检查工序，称为宏观检查。在该宏观检查工序中，通常采用Macro(宏观检查机)设备对基板制品进行宏观不良检查，通过将保持玻璃基板的基板保持器(Stage)立起成预定角度的状态下从上方照射宏观照明光，就能够进行该玻璃基板上的缺陷检查。宏观检查的大致流程如下：上游端将玻璃基板传至Macro的Stage，然后由检查人员通过操作平台上下左右摇晃玻璃基板，同时用人眼辨别Mura(暗影)，再由机械手取出玻璃基板，使其进入下一工序。玻璃基板Mura的检测，主要是通过人员肉眼检查，对人员的熟练度、经验等要求较高，作业时间较长，且易出现漏检等情况。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种检查方便、效率高的基板检查设备及基板检查方法。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种基板检查设备，包括：支架，包括托盘和支撑件，所述托盘用于承载待检查的基板，在竖直方向上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检查设备，其特征在于，包括：支架(10)，包括托盘(11)和支撑件(12)，所述托盘(11)用于承载待检查的基板(P)，在竖直方向上可旋转地支撑在所述支撑件(12)上；光源(20)，设于所述托盘(11)斜上方，用于朝所述托盘(11)上的所述基板(P)表面照射光线；镜头组(30)，设于所述托盘(11)上方，并朝向所述托盘(11)，用于在所述托盘(11)转动的过程中拍摄所述托盘(11)上的所述基板(P)的图像；观察台(40)，在水平方向上与所述托盘(11)间隔设置，用以承载操作者观察所述托盘(11)上的所述基板(P)的表面；监视器(50)，设于所述观察台(40)旁，用于显示所述镜头组(30...

【技术特征摘要】
1.一种基板检查设备，其特征在于，包括：支架(10)，包括托盘(11)和支撑件(12)，所述托盘(11)用于承载待检查的基板(P)，在竖直方向上可旋转地支撑在所述支撑件(12)上；光源(20)，设于所述托盘(11)斜上方，用于朝所述托盘(11)上的所述基板(P)表面照射光线；镜头组(30)，设于所述托盘(11)上方，并朝向所述托盘(11)，用于在所述托盘(11)转动的过程中拍摄所述托盘(11)上的所述基板(P)的图像；观察台(40)，在水平方向上与所述托盘(11)间隔设置，用以承载操作者观察所述托盘(11)上的所述基板(P)的表面；监视器(50)，设于所述观察台(40)旁，用于显示所述镜头组(30)拍摄的所述基板(P)的图像。2.根据权利要求1所述的基板检查设备，其特征在于，所述支撑件(12)还包括第一支撑件(121)和第二支撑件(122)，所述托盘(11)在竖直方向上可旋转地支撑在第一支撑件(121)上，所述第一支撑件(121)沿竖直方向上可移动地设于所述第二支撑件(122)上。3.根据权利要求2所述的基板检查设备，其特征在于，所述第二支撑件(122)上设有液压缸(122a)，所述液压缸(122a)的活塞杆(121a)固定在所述第一支撑件(121)上。4.根据权利要求1所述的基板检查设备，其特征在于，所述支架(10)还包括底座(13)，所述支撑件(12)沿水平方向可转动地设于所述底座(13)上。...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱秋虹，裴龙，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42