温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基板检查设备，包括：支架，包括托盘和支撑件，托盘用于承载待检查的基板，在竖直方向上可旋转地支撑在支撑件上；光源，设于托盘斜上方，用于朝托盘上的基板表面照射光线；镜头组，设于托盘上方，并朝向托盘，用于在托盘转动的过程中拍摄托盘...
该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。