一种晶砣冷却装置制造方法及图纸

技术编号:17685022 阅读:56 留言:0更新日期:2018-04-12 05:20
本实用新型专利技术提供了一种晶砣冷却装置,包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内,所述导热板上对应晶砣设置有向所述托盘方向凸出的凹槽,所述导热板的周围设置有挡水板,正常状态下所述导热板的底部处于所述托盘内水面以下。该晶砣冷却装置具有设计科学、实用性强、结构简单、使用方便、冷却速度快的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种晶砣冷却装置
本技术涉及一种冷却装置,具体的说,涉及了一种晶砣冷却装置。
技术介绍
石英晶片在粘砣时,需要将蜡加热至200度左右,待蜡融化后才能将垒好的晶片粘在一起,因此刚粘好的晶砣温度很高。而晶砣降在进行下一道工序之前,需要将晶砣的温度降至室温,否则影响后一道工序的进行。为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种设计科学、实用性强、结构简单、使用方便、冷却速度快的晶砣冷却装置。为了实现上述目的,本技术所采用的技术方案是:一种晶砣冷却装置,包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。基于上述,所述导热板上对应晶砣设置有向所述托盘方向凸出的凹槽,所述导热板的周围设置有挡水板,正常状态下所述导热板的底部处于所述托盘内水面以下。基于上述,所述托盘一侧设置有风扇,所述风扇朝向所述导热板设置。基于上述,还包括铰接在所述导热板一侧的导热盖,所述导热盖上分别设置有盖进水口和盖出水口,所述盖进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盖出水口连通所述降温池;所述导热盖上还设置有多个散热通孔。基于上述,还包括MCU控制器、设置在所述凹槽内的温度传感器和设置在所述托盘内的液位传感器,所述MCU控制器根据所述温度传感器检测的温度信息和所述液位传感器检测的液位信息控制所述水泵。本技术相对现有技术具有实质性特点和进步,具体的说,本技术通过在托盘内设置导热板,将晶砣放置在导热板上,并在托盘内注入循环凉水,晶砣通过导热板与凉水发生热交换,实现晶砣的快速降温,其具有设计科学、实用性强、结构简单、使用方便、冷却速度快的优点。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术导热板的侧视结构示意图。图中:1.托盘;2.导热板;3.凹槽;4.挡水板;5.支脚。具体实施方式下面通过具体实施方式,对本技术的技术方案做进一步的详细描述。如图1、图2所示,一种晶砣冷却装置,包括托盘1、至少一块导热板2、降温池和水泵,所述托盘1上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板2的底部设置有支脚5,所述导热板2通过所述支脚5设置在所述托盘1内。使用时,向所述托盘1内注入凉水,将晶砣放置在所述导热板2上,晶砣通过所述导热板2与所述托盘1内的凉水发生热交换,实现晶砣的降温。所述托盘1内的水通过所述盘出水口流入所述降温池,所述降温池内的凉水再通过所述水泵泵入所述托盘1内,形成冷却循环水。实际中可以根据托盘1的大小,设置多块导热板2。所述导热板2上对应晶砣设置有向所述托盘1方向凸出的凹槽3,所述导热板2的周围设置有挡水板4,正常状态下所述导热板2的底部处于所述托盘1内水面以下。使用时将晶砣放置在所述凹槽3内,所述凹槽3凸向所述托盘1,使所述凹槽3的底部和侧壁均与所述托盘1内的水接触,以增加换热面积,提高换热效率。优选地,所述托盘1一侧设置有风扇,所述风扇朝向所述导热板2设置,在风扇作用下加强空气流通,提高晶砣的降温效率。优选地,该晶砣冷却装置还包括铰接在所述导热板2一侧的导热盖,所述导热盖上分别设置有盖进水口和盖出水口,所述盖进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盖出水口连通所述降温池。将晶砣放入所述凹槽3后,将所述导热盖盖在所述导热板2上,在所述导热盖内通入循环凉水,以提高晶砣的降温效率。优选地,该晶砣冷却装置还包括MCU控制器、设置在所述凹槽3内的温度传感器和设置在所述托盘1内的液位传感器,所述MCU控制器根据所述温度传感器检测的温度信息和所述液位传感器检测的液位信息控制所述水泵。所述温度传感器检测到所述凹槽3的温度高于预设温度时,控制所述水泵泵水,所述温度传感器检测到所述凹槽3的温度低于预设温度时,控制所述水泵停止泵水。所述MCU控制器根据所述液位传感器的检测信息控制所述水泵的泵水速度。最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非对其限制;尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解:依然可以对本技术的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本技术技术方案的精神,其均应涵盖在本技术请求保护的技术方案范围当中。本文档来自技高网...
一种晶砣冷却装置

【技术保护点】
一种晶砣冷却装置,其特征在于:包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。

【技术特征摘要】
1.一种晶砣冷却装置,其特征在于:包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。2.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置,其特征在于:所述导热板上对应晶砣设置有向所述托盘方向凸出的凹槽,所述导热板的周围设置有挡水板,正常状态下所述导热板的底部处于所述托盘内水面以下。3.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置,其特征在于:所述托盘一...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵鹏程郑许生李健
申请(专利权)人:济源石晶光电频率技术有限公司
类型:新型
国别省市:河南,41

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