【技术实现步骤摘要】
一种晶砣冷却装置
本技术涉及一种冷却装置,具体的说,涉及了一种晶砣冷却装置。
技术介绍
石英晶片在粘砣时,需要将蜡加热至200度左右,待蜡融化后才能将垒好的晶片粘在一起,因此刚粘好的晶砣温度很高。而晶砣降在进行下一道工序之前,需要将晶砣的温度降至室温,否则影响后一道工序的进行。为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种设计科学、实用性强、结构简单、使用方便、冷却速度快的晶砣冷却装置。为了实现上述目的,本技术所采用的技术方案是:一种晶砣冷却装置,包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。基于上述,所述导热板上对应晶砣设置有向所述托盘方向凸出的凹槽,所述导热板的周围设置有挡水板,正常状态下所述导热板的底部处于所述托盘内水面以下。基于上述,所述托盘一侧设置有风扇,所述风扇朝向所述导热板设置。基于上述,还包括铰接在所述导热板一侧的导热盖,所述导热盖上分别设置有盖进水口和盖出水口,所述盖进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盖出水口连通所述降温池;所述导热盖上还设置有多个散热通孔。基于上述,还包括MCU控制器、设置在所述凹槽内的温度传感器和设置在所述托盘内的液位传感器,所述MCU控制器根据所述温度传感器检测的温度信息和所述液位传感器检测的液位信息控制所述水泵。本技术相对现有技术具有实质性特点和进步,具体的说,本技术通过 ...
【技术保护点】
一种晶砣冷却装置,其特征在于:包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。
【技术特征摘要】
1.一种晶砣冷却装置,其特征在于:包括托盘、至少一块导热板、降温池和水泵,所述托盘上分别设置有盘进水口和盘出水口,所述盘进水口通过所述水泵连通所述降温池,所述盘出水口连通所述降温池;所述导热板的底部设置有支脚,所述导热板通过所述支脚设置在所述托盘内。2.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置,其特征在于:所述导热板上对应晶砣设置有向所述托盘方向凸出的凹槽,所述导热板的周围设置有挡水板,正常状态下所述导热板的底部处于所述托盘内水面以下。3.根据权利要求1所述的晶砣冷却装置,其特征在于:所述托盘一...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵鹏程,郑许生,李健,
申请(专利权)人:济源石晶光电频率技术有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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