一种大口径液晶光学相控阵器件制造技术

本发明专利技术公开了一种大口径液晶光学相控阵器件，包括从上到下依次层叠设置的第一基板、液晶分子层和第二基板；第一基板从上到下依次包括第一基板玻璃和第一ITO电极层，第二基板从上到下依次包括第二ITO电极层和第二基板玻璃；液晶分子层位于第一ITO电极层和第二ITO电极层之间；第二ITO电极层与第二金属导电层之间有多个TFT阵列。本发明专利技术在液晶工作区域选择ITO膜层，在非液晶工作区域的布线层，采用了一层ITO导电层，2层金属导电层，导电层之间镀有一层绝缘层做电气隔离，2层金属导电层的部分电极之间采用了过孔连同工艺设计，这种设计使得液晶周围的布线面积大大减小，增加了集成度和面积利用率，提高了偏转精度，解决了液晶光学相控阵口径小的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种大口径液晶光学相控阵器件
本专利技术涉及一种大口径液晶光学相控阵器件属液晶光电子器件技术，该液晶光电子器件可以用与基于液晶光学相控阵的激光通信、激光武器和激光雷达等领域。
技术介绍
随着科技的进步，液晶光学相控阵已经被证实是一种能够实现非机械式光束偏转和空间光调制的新方法。相对于传统的光束偏转方式，液晶光学相控阵具有体积小、功耗低、精度高、捷变等优势。随着激光雷达、大功率激光合束、空间信息中继转发、构建空间激光通信网络方向快速发展，液晶光学相控阵的口径要求也越来越高。液晶光学相控阵制备主要以透射式为主，由两块平行放置的玻璃基板，下层玻璃基板附有取向层、透明导电的ITO阵列。下层玻璃基板的ITO阵列作为电极层被加载不同电压形成光栅电极。上层玻璃基板附有取向层和透明导电的ITO膜层，上层基板的导电层作为公共电极，与下层玻璃基板之间形成电压。两层玻璃基板之间填充向液晶材料。液晶分子在上下基板之间的电场作用下发生偏转，从而实现对光束的相位控制。然而，目前传统的液晶光学相控阵的光学口径并不能满足日益增加的实际需求。在卫星激光组网通信的情况下，当前的液晶相控阵器件的口径小导致其通信机的接收视本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径液晶光学相控阵器件，包括从上到下依次层叠设置的第一基板、液晶分子层和第二基板；其特征在于，所述第一基板从上到下依次包括第一基板玻璃(1)和第一ITO电极层(2)，第二基板从上到下依次包括第二ITO电极层(8)和第二基板玻璃(9)；液晶分子层(4)位于第一ITO电极层(2)和第二ITO电极层(8)之间；液晶分子层(4)的宽度与第一ITO电极层(2)相同，长度小于ITO电极层(2)；第一ITO电极层(2)的长度与第一基板玻璃(1)相同，第一ITO电极层(2)的宽度小于第一基板玻璃(1)；第一ITO电极层(2)下方的非液晶分子投影区域设有第一金属导电层(3)，第一金属导电层(3)下平面的一...

【技术特征摘要】
1.一种大口径液晶光学相控阵器件，包括从上到下依次层叠设置的第一基板、液晶分子层和第二基板；其特征在于，所述第一基板从上到下依次包括第一基板玻璃(1)和第一ITO电极层(2)，第二基板从上到下依次包括第二ITO电极层(8)和第二基板玻璃(9)；液晶分子层(4)位于第一ITO电极层(2)和第二ITO电极层(8)之间；液晶分子层(4)的宽度与第一ITO电极层(2)相同，长度小于ITO电极层(2)；第一ITO电极层(2)的长度与第一基板玻璃(1)相同，第一ITO电极层(2)的宽度小于第一基板玻璃(1)；第一ITO电极层(2)下方的非液晶分子投影区域设有第一金属导电层(3)，第一金属导电层(3)下平面的一侧设有参考电极信号焊接焊盘；第一ITO电极层(2)被分割成独立不相连的ITO电极阵列，每个ITO电极分别通过第一金属导电层(3)上设置的ITO信号导线连接到参考电极信号焊接焊盘；第二ITO电极层(8)和第二基板玻璃(9)的尺寸相同，第二ITO电极层(8)和第二基板玻璃(9)的长度大于第一基板玻璃(1)，宽度与第一基板玻璃(1)相同；第二ITO电极层(8)上方的非液晶分子投影区域从上到下依次层叠第二金属导电层(5)、第一绝缘层(6)和第三金属导电层(7)，第二金属导电层(5)上设有参考电极驱动IC、TFT阵列驱动IC和光栅驱动IC，第一绝缘层(6)上设有多个导电孔(10)；第二ITO电极层(8)被分割成独立不相连的ITO电极阵列，每个ITO电极分别与第三金属导电层(7)上设置的ITO信号导线相连，ITO信号导线穿过导电孔(10)连接参考电极驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪相如，卓儒盛，贺晓娴，周庄奇，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51