减压干燥装置制造方法及图纸

在既进行基板上的溶剂的减压干燥处理又进行溶剂捕获部上的溶剂的脱离处理的减压干燥装置中，以简单的装置结构缩短上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间。减压干燥装置(1)使收纳在腔室(10)内的基板(W)上的溶液在减压状态下干燥，包括由网状板构成的、暂时地捕获从基板(W)汽化的溶液中的溶剂的溶剂捕获部(30)，溶剂捕获部(30)以与基板(W)相对的方式设置在腔室(10)内，构成溶剂捕获部(30)的网状板的开口率为60％以上80％以下，单位面积的热容为850J/K·m

Pressure reducing and drying device

In the decompression drying device for solvent desiccant drying and solvent separation on the substrate, the drying time and the time of the above treatment are shortened by a simple device structure. Vacuum drying device (1) that is contained in the chamber (10) of the substrate (W) on the solution in vacuum state of drying, comprises a mesh plate, temporarily captured from the substrate (W) in the solution of vaporization of the solvent, solvent capturing part (30), (30) to capture with the substrate (W) relative to the set in the chamber (10), (30) a solvent capturing part mesh plate opening rate is more than 60% below 80%, heat capacity per unit area of 850J/K - M

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置
本专利技术涉及使收纳于腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置。
技术介绍
一直以来，利用了有机EL(Electroluminescence，电致发光)的发光的发光二极管也就是有机发光二极管(OLED：OrganicLightEmittingDiode)已为人所知。使用该有机发光二极管的有机EL显示器除了薄型轻量且低耗电之外，还具有在响应速度、视角、对比度方面性能优异之优点，因此近年来作为下一代平板显示器(FPD)倍受关注。有机发光二极管具有在基板上的阳极与阴极之间夹着有机EL层的结构。有机EL层例如通过从阳极侧起依次层叠空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层而形成。在形成有机EL层的这些各个层(尤其是空穴注入层、空穴传输层和发光层)时，例如使用通过喷墨方式将有机材料的液滴喷出到基板上的方法。通过喷墨方式喷出到基板上的有机材料中包含大量的溶剂。因此，出于除去溶剂之目的，进行使基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥处理(参照专利文献1～3)。具体而言，专利文献1的干燥装置包括可抽真空的处理容器，在处理容器内支承基板的载置台，与支承在载置台上的基板相对设置的、用于捕获从基板上的有机材料膜挥发的溶剂的溶剂捕获部。该专利文献1的干燥装置的溶剂捕获部具有与基板的表面大致平行地配置的金属制的捕获板，在该捕获板上形成有贯通开口。并且，专利文献1的干燥装置具有溶剂脱离装置，其用于在干燥处理结束后，使捕获板所捕获的溶剂再次汽化而从捕获板脱离。此外，专利文献1的干燥装置为了调节捕获板的温度还具有由帕尔贴元件等构成的温度调整装置。在专利文献2的干燥装置中，以与基板相对的方式配置有用于吸附干燥时蒸发的溶液中的溶剂的多孔质的吸附部件。并且，在专利文献2中，在吸附基板上的溶液中的溶剂来进行干燥处理的干燥装置之外，还另设有使吸附部件干燥的干燥装置。在该另设的干燥装置中，在载置吸附部件的载置台上设置有用于进行温度控制的温度控制部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-199806号公报专利文献2：日本特开2010-169308号公报专利文献3：日本专利第5701782号
技术实现思路
专利技术想要解决的技术问题为了缩短干燥装置中的处理时间——包括溶剂捕获部所捕获/吸附的溶剂的脱离处理所需的时间在内的时间，需要提高溶剂捕获部对溶剂的捕获效率，或者提高溶剂捕获部上的溶剂的汽化效率。然而，在专利文献1的干燥装置中，为了提高溶剂捕获部即捕获板对溶剂的捕获效率或捕获板上的溶剂的汽化效率，使用了对捕获板进行冷却或加热的温度调节装置，装置的结构较为复杂。另外，在专利文献2公开的技术中，为了促进溶剂捕获部即吸附部件上的溶剂的蒸发，也在载置基板的载置台上使用了温度控制部，装置的结构较为复杂。并且，在专利文献2公开的技术中，为了使吸附部件干燥使用了在基板的干燥装置之外另设的干燥装置。专利文献3对于这一点没有任何的公开和暗示。本专利技术鉴于这一点而提出，目的在于提供一种减压干燥装置，其既进行基板上的溶剂的减压干燥处理又进行溶剂捕获部上的溶剂的脱离处理，上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间得到缩短，并且装置的结构较为简单。用于解决技术问题的技术方案为达到上述目的，本专利技术的减压干燥装置使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，其特征在于，包括由网状板构成的、暂时地捕获从上述基板汽化的上述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，上述溶剂捕获部以与上述基板相对的方式设置在上述腔室内，在上述腔室内的压力被减压至上述基板的温度下的上述溶剂的蒸气压以下的时刻，上述溶剂捕获部的温度，被因减压而发生了绝热膨胀的上述腔室内的气体冷却至该时刻的上述腔室的压力下的上述溶剂的露点以下，在上述基板上的溶液的溶剂完成蒸发前的期间，该溶剂捕获部的温度被维持在各时刻的上述腔室内的压力下的上述溶剂的露点以下，在上述基板上的溶液的溶剂完成蒸发后的5分钟以内，该溶剂捕获部的温度因来自上述腔室的辐射热而达到该时刻的上述腔室的压力下的上述溶剂的露点以上。另一方面的本专利技术的减压干燥装置，使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，包括由网状板构成的、暂时地捕获从上述基板汽化的上述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，上述溶剂捕获部以与上述基板相对的方式设置在上述腔室内，上述网状板的开口率为60％以上80％以下，每1m2的热容为850J/K以下。另一方面的本专利技术的减压干燥装置，使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，包括由网状板构成的、暂时地捕获从上述基板汽化的上述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，上述溶剂捕获部以与上述基板相对的方式设置在上述腔室内，从上述基板至上述溶剂捕获部为止的距离为从上述基板至上述溶剂捕获部的上部的结构物为止的距离的40％以上60％以下。专利技术效果根据本专利技术，能够以简单的装置结构在短时间内进行基板上的溶剂的减压干燥处理和溶剂捕获部上的溶剂的脱离处理。并且，根据本专利技术，能够使基板上的溶剂的干燥时间在同一基板内变得均匀。附图说明图1是表示本专利技术第一实施方式的减压干燥装置的概略结构的图。图2是用于说明溶剂捕获部的安装结构的图。图3是使用了图1的减压干燥装置的减压干燥处理的说明图。图4是表示基板W上涂覆的溶液的溶剂的蒸气压曲线的图。图5是表示减压干燥装置的腔室内的状况的图。图6是对用于构成溶剂捕获网的网状板之适宜的加工方法进行说明的截面图。图7是表示本专利技术第二实施方式的减压干燥装置的概略结构的纵截面图。图8是表示本专利技术第三实施方式的减压干燥装置的概略结构的图。图9是表示本专利技术第四实施方式的减压干燥装置的概略结构的图。图10是表示本专利技术第五实施方式的减压干燥装置的概略结构的图。图11是表示第一参考实施方式的减压干燥装置的概略结构的纵截面图。图12是说明具有冷却加热机构的制干用捕获部的示例的图。图13是表示第二参考实施方式的减压干燥装置的概略结构的纵截面图。图14是表示第三参考实施方式的减压干燥装置的概略结构的纵截面图。图15是表示实施例1中的溶剂捕获网中央附近的温度和腔室内的压力随时间的变化的图。图16是表示实施例1中的溶剂捕获网中央附近的温度和腔室内的压力随时间的变化的图。图17是表示实施例1中的溶剂捕获网中央附近的温度和腔室内的压力随时间的变化的图。图18是表示实施例1中的溶剂捕获网的各部分的温度随时间的变化以及腔室内的压力随时间的变化的图。附图标记说明1……减压干燥装置10……腔室11……本体部12……顶板13……底板13a……排气口隙缝20……载置台30……溶剂捕获部(基板干燥用捕获部)31……该溶剂捕获网31……溶剂捕获网31a……拉制金属网32……框体32a……耳部33……脚部40……排气装置42……APC阀50……红外线辐射体50……该红外线辐射体70……另外的溶剂捕获部(制干用捕获部)。具体实施方式以下参照附图对本专利技术实施方式进行说明。在本说明书和附图中，对于实质上具有相同功能结构的构成要素，标注相同标记以省略重复的说明。并且，本专利技术并不限定于以下所示的实施方式。(第一实施方式)图1是表示本专利技术第一实施方式的减压干燥装置的概略结构的图，其中图1的(A)是表示减压干燥装置的结构的概要的截面图，图1的(B)是表示减压干燥装置内的结构的概要的俯视本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥装置，其使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置的特征在于：包括由网状板构成的、暂时地捕获从所述基板汽化的所述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，所述溶剂捕获部以与所述基板相对的方式设置在所述腔室内，并且，在所述腔室内的压力被减压至所述基板的温度下的所述溶剂的蒸气压以下的时刻，所述溶剂捕获部的温度，被因减压而发生了绝热膨胀的所述腔室内的气体冷却至该时刻的所述腔室的压力下的所述溶剂的露点以下，在所述基板上的溶液的溶剂完成蒸发前的期间，该溶剂捕获部的温度被维持在各时刻的所述腔室内的压力下的所述溶剂的露点以下，在所述基板上的溶液的溶剂完成蒸发后的5分钟以内，该溶剂捕获部的温度因来自所述腔室的辐射热而达到该时刻的所述腔室的压力下的所述溶剂的露点以上。

【技术特征摘要】
2016.09.30 JP 2016-192668;2017.04.14 JP 2017-080481.一种减压干燥装置，其使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置的特征在于：包括由网状板构成的、暂时地捕获从所述基板汽化的所述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，所述溶剂捕获部以与所述基板相对的方式设置在所述腔室内，并且，在所述腔室内的压力被减压至所述基板的温度下的所述溶剂的蒸气压以下的时刻，所述溶剂捕获部的温度，被因减压而发生了绝热膨胀的所述腔室内的气体冷却至该时刻的所述腔室的压力下的所述溶剂的露点以下，在所述基板上的溶液的溶剂完成蒸发前的期间，该溶剂捕获部的温度被维持在各时刻的所述腔室内的压力下的所述溶剂的露点以下，在所述基板上的溶液的溶剂完成蒸发后的5分钟以内，该溶剂捕获部的温度因来自所述腔室的辐射热而达到该时刻的所述腔室的压力下的所述溶剂的露点以上。2.一种减压干燥装置，其使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置的特征在于：包括由网状板构成的、暂时地捕获从所述基板汽化的所述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，所述溶剂捕获部以与所述基板相对的方式设置在所述腔室内，所述网状板的开口率为60％以上80％以下，每1m2的热容为850J/K以下。3.如权利要求2所述的减压干燥装置，其特征在于：所述网状板的厚度为0.05mm以上0.2mm以下。4.如权利要求2或3所述的减压干燥装置，其特征在于：所述网状板是通过对金属板进行冷切拉伸而制造的拉制金属网。5.如权利要求2～4中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述网状板是不锈钢制的。6.如权利要求2～5中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：从所述基板至所述溶剂捕获部为止的距离为从所述基板至所述腔室的顶板的距离的40％以上60％以下。7.如权利要求2～6中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：在所述腔室内设置有红外线辐射体。8.一种减压干燥装置，其使收纳在腔室内的基板上的溶液在减压状态下干燥，所述减压干燥装置的特征在于：包括由网状板构成的、暂时地捕获从所述基板汽化的所述溶液中的溶剂的溶剂捕获部，所述溶剂捕获部以与所述基板相对的方式设置在所述腔室内，从所述基板至所述溶剂捕获部为止的距离为从所述基板至所述溶剂捕获部的上部的结构物为止的距离的40％以上60％以下。9.如权利要求8所述的减压干燥...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛村名典，林辉幸，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP