一种大束流注入机电弧室制造技术

本实用新型专利技术涉及大束流注入机技术领域，为解决螺纹孔绝缘子易破碎报销，难以重复使用的问题，公开了一种大束流注入机电弧室，其特点是：它包括两根反射极螺丝、单头通孔绝缘子A、单头通孔绝缘子B、单头通孔绝缘子C、双头绝缘子螺母、双头通孔绝缘子、灯丝护板、两根灯丝螺丝、反射极石墨、反射极护板、两个端板、后板、前板、灯丝、顶板和底板。本实用新型专利技术采用单头通孔绝缘子、双头通孔绝缘子和双头绝缘子螺母用于反射极螺丝和灯丝螺丝的绝缘保护，起到良好的绝缘保护作用，同时螺纹的去除能够防止其在高温条件下烧结至螺丝上，降低螺丝的使用寿命；拆接方便，能够保证绝缘材料的完整性，保证其重复使用性，增加使用寿命；降低了材料成本，同时也降低了返工率。

【技术实现步骤摘要】
一种大束流注入机电弧室
本技术涉及大束流注入机
，具体涉及一种大束流注入机电弧室。
技术介绍
大束流注入机是利用高能量粒子轰击杂质原子或分子,使被掺杂的元素原子或分子电离,通过加速后，将离子直接打进半导体内部去，形成PN结。目前，较为常用的NV10-160、NV10-80以及GSD-A80大束流注入机，其电弧室采用多个单头螺丝陶瓷绝缘子和双头螺纹孔陶瓷绝缘子，在高达1200℃的电弧室高温下容易烧结在螺丝上，保养拆卸过程中极易出现碎裂报废，难以重复使用；碎裂的陶瓷附着在反射极螺丝上，造成反射极螺丝的不可重复使用。
技术实现思路
针对现有技术中的问题，本技术提供一种大束流注入机的电弧室，解决螺旋孔绝缘子易损坏，难以重复使用的问题，大大提高了拆接方便性，提高了使用寿命，降低了返工率。为实现以上技术目的，本技术的技术方案是：一种大束流注入机电弧室，其特点是：它包括两根反射极螺丝、单头通孔绝缘子A、单头通孔绝缘子B、单头通孔绝缘子C、双头绝缘子螺母、双头通孔绝缘子、灯丝护板、两根灯丝螺丝、反射极石墨、反射极护板、两个端板、后板、前板、灯丝、顶板和底板；所述两个端板、后板和前板合围成矩形框架，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大束流注入机电弧室，其特征在于：它包括两根反射极螺丝(1)、单头通孔绝缘子A(2)、单头通孔绝缘子B(3)、单头通孔绝缘子C(4)、双头绝缘子螺母(5)、双头通孔绝缘子(6)、灯丝护板(7)、两根灯丝螺丝(8)、反射极石墨(9)、反射极护板(10)、两个端板(11)、后板(12)、前板(13)、灯丝(14)、顶板(15)和底板(16)；所述两个端板(11)、后板(12)和前板(13)合围成矩形框架，所述矩形框架与顶板(15)和底板(16)形成电弧室框架，所述两个端板(11)分为左侧端板(11‑1)和右侧端板(11‑2)，所述左侧端板(11‑1)右侧依次设置有反射极护板(10)和反射极石墨(...

【技术特征摘要】
1.一种大束流注入机电弧室，其特征在于：它包括两根反射极螺丝(1)、单头通孔绝缘子A(2)、单头通孔绝缘子B(3)、单头通孔绝缘子C(4)、双头绝缘子螺母(5)、双头通孔绝缘子(6)、灯丝护板(7)、两根灯丝螺丝(8)、反射极石墨(9)、反射极护板(10)、两个端板(11)、后板(12)、前板(13)、灯丝(14)、顶板(15)和底板(16)；所述两个端板(11)、后板(12)和前板(13)合围成矩形框架，所述矩形框架与顶板(15)和底板(16)形成电弧室框架，所述两个端板(11)分为左侧端板(11-1)和右侧端板(11-2)，所述左侧端板(11-1)右侧依次设置有反射极护板(10)和反射极石墨(9)，所述反射极护板(10)两端卡接在后板(12)和前板(13)上，所述两根反射极螺丝(1)均向左依次穿过左侧端板(11-1)及反射极护板(10)，与反射极石墨(9)固定相接，所述反射极螺丝(1)与左侧端板(11-1)之间通过对接固定的单头通孔绝缘子A(2)和单头通孔绝缘子B(3)绝缘固定；所述右侧端板(11-2)左侧设置有灯丝护板(7)，所述灯丝螺丝(8)包括第一灯丝螺丝(8-1)和第二灯丝螺丝(8-2)，所述第一灯丝螺丝(8-1)依次穿过灯丝护板(7)上部和右侧端板(11-2)上部，所述第一灯丝螺丝(8-1)位于右侧端板(11-2)一侧的杆部套接...

【专利技术属性】
技术研发人员：马东，
申请(专利权)人：无锡小迪电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32